กราไฟท์ที่เคลือบ TaC สร้างขึ้นโดยการเคลือบพื้นผิวของซับสเตรตของกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงด้วยชั้นละเอียดของแทนทาลัมคาร์ไบด์โดยกระบวนการตกตะกอนด้วยไอสารเคมี (CVD) ที่เป็นกรรมสิทธิ์
แทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) เป็นสารประกอบที่ประกอบด้วยแทนทาลัมและคาร์บอน มีค่าการนำไฟฟ้าของโลหะและมีจุดหลอมเหลวสูงเป็นพิเศษ ทำให้เป็นวัสดุเซรามิกทนไฟที่ขึ้นชื่อเรื่องความแข็งแรง ความแข็ง ความร้อนและความต้านทานการสึกหรอ จุดหลอมเหลวของแทนทาลัมคาร์ไบด์จะมีจุดสูงสุดที่ประมาณ 3880°C ขึ้นอยู่กับความบริสุทธิ์ และมีจุดหลอมเหลวที่สูงที่สุดจุดหนึ่งในบรรดาสารประกอบไบนารี ทำให้เป็นทางเลือกที่น่าสนใจเมื่อความต้องการอุณหภูมิสูงเกินขีดความสามารถที่ใช้ในกระบวนการ epitaxx ของเซมิคอนดักเตอร์ผสม เช่น MOCVD และ LPE
ข้อมูลวัสดุของการเคลือบ Semicorex TaC
โครงการ |
พารามิเตอร์ |
ความหนาแน่น |
14.3 (กรัม/ซม.) |
การแผ่รังสี |
0.3 |
ซีทีอี (×10-6/เค) |
6.3 |
ความแข็ง (ฮ่องกง) |
2000 |
ความต้านทาน (โอห์ม-ซม.) |
1×10-5 |
เสถียรภาพทางความร้อน |
<2500 ℃ |
การเปลี่ยนแปลงขนาดกราไฟท์ |
-10~-20um (ค่าอ้างอิง) |
ความหนาของการเคลือบ |
≥20umค่าทั่วไป (35um ± 10um) |
|
|
ข้างต้นเป็นค่าทั่วไป |
|
แหวนนำเคลือบ Semicorex TaC ซึ่งเป็นจุดสุดยอดของนวัตกรรมในเตาเติบโตผลึกเดี่ยว SiC (ซิลิคอนคาร์ไบด์) ออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ วงแหวนนำทางนี้สัญญาว่าจะกำหนดกระบวนการการเติบโตของคริสตัลใหม่ด้วยความแม่นยำและความน่าเชื่อถือที่เหนือชั้น
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามตัวรับกราไฟท์เคลือบ TaC ที่ล้ำสมัยของ Semicorex เป็นส่วนประกอบปฏิวัติวงการที่ออกแบบมาเพื่อยกระดับกระบวนการเอพิเทแอกเซียลของเวเฟอร์ไปสู่อีกระดับของประสิทธิภาพและความแม่นยำ สร้างขึ้นด้วยความเชี่ยวชาญที่เหนือชั้นและการใช้เทคโนโลยีล้ำสมัย Semicorex TaC Coated Graphite Susceptor ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อตอบสนองความต้องการที่แน่นอนของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex นำเสนอชิ้นส่วนกราไฟท์เคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์คุณภาพสูงพร้อมบริการที่ปรับแต่งตามความต้องการ Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex นำเสนอตัวรับกราไฟท์เคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์พร้อมบริการที่ปรับแต่งตามความต้องการ Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามกราไฟท์มีรูพรุนเคลือบ Semicorex TaC เป็นวัสดุขั้นสูงที่มีความบริสุทธิ์สูงในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์ชิ้นสำคัญนี้มีบทบาทสำคัญในกระบวนการการเติบโตของ SiC ผลึกเดี่ยว Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามในฐานะผู้ผลิตมืออาชีพ เราต้องการจัดหาแหวนเคลือบ TaC ให้กับคุณ ขอแนะนำ CVD Tac Coated Ring ซึ่งเป็นโซลูชันล้ำสมัยสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ผลิตภัณฑ์ล้ำสมัยนี้มีการเคลือบไอสารเคมี (CVD) ขั้นสูงที่ให้ความทนทานและทนทานต่อการสึกหรอและการฉีกขาดเป็นพิเศษ
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม