ลิ่ม SiC ชนิด N 4" 6" 8"

ข้อมูลจำเพาะแท่ง SiC ชนิด N ขนาด 4 นิ้ว

รายการ

เกรดการผลิต

เกรดจำลอง

โพลีไทป์

4ชม

สารเจือปน

ไนโตรเจนชนิด n

ความต้านทาน

0.015~0.025 โอห์ม ·ซม

0.015~0.028 โอห์ม ·ซม

เส้นผ่านศูนย์กลาง

100.25±0.25 มม

ความหนา

≥15 มม

ข้อผิดพลาดในการวางแนวพื้นผิว

4°ไปทาง<11-20>±0.2°

ปฐมนิเทศแนวราบ

[1- 100]±5.0°

ความยาวแบนหลัก

32.5±1.5 มม

แฟลตรอง

90.0°CW จากหลัก ±5.0°, ซิลิคอนหงายขึ้น

ความยาวแบนรอง

18±1.5 มม

ความหนาแน่นของไมโครไพพ์

≤0.5 ตัว/cm2

≤10 ตัว/cm2

บีพีดี

≤2000 ตัว/cm2

-

ศูนย์รับฝาก

≤500 ตัว/cm2

-

ขอบแตก

≤3ของ, ≤1มม./ครั้ง

≤5ของ, ≤3มม./ครั้ง

พื้นที่โพลีไทป์

ไม่มี

พื้นที่ ≤5%

เยื้องขอบ

≤3ea ความกว้างและความลึก ≤1มม

≤5ea ความกว้างและความลึก ≤2มม

ฉลาก

หน้าซี

บรรจุภัณฑ์

ตลับโลหะหน่วย, บรรจุภัณฑ์สูญญากาศ

ข้อมูลจำเพาะแท่ง SiC ชนิด N ขนาด 6 นิ้ว

รายการ

เกรดการผลิต

เกรดจำลอง

โพลีไทป์

4ชม

สารเจือปน

ไนโตรเจนชนิด n

ความต้านทาน

0.015~0.025

0.015~0.028

เส้นผ่านศูนย์กลาง

150.25±0.25 มม

ความหนา

≥15 มม

ข้อผิดพลาดในการวางแนวพื้นผิว

4°ไปทาง<11-20>±0.2°

ปฐมนิเทศแนวราบ

[1- 100]±5.0°

ความยาวแบนหลัก

47.5±1.5 มม

ความหนาแน่นของไมโครไพพ์

≤0.5 ตัว/cm2

≤10 ตัว/cm2

บีพีดี

≤2000 ตัว/cm2

-

ศูนย์รับฝาก

≤500 ตัว/cm2

-

ขอบแตก

≤3ของ, ≤1มม./ครั้ง

≤5ของ, ≤3มม./ครั้ง

พื้นที่โพลีไทป์

ไม่มี

พื้นที่ ≤5%

เยื้องขอบ

≤3ea ความกว้างและความลึก ≤1มม

≤5ea ความกว้างและความลึก ≤2มม

ฉลาก

หน้าซี

บรรจุภัณฑ์

ตลับโลหะหน่วย, บรรจุภัณฑ์สูญญากาศ

ข้อมูลจำเพาะแท่ง SiC ชนิด N ขนาด 8 นิ้ว

รายการ

เกรดการผลิต

เกรดการวิจัย

เกรดจำลอง

โพลีไทป์

4ชม

สารเจือปน

ไนโตรเจนชนิด n

ความต้านทาน

0.015~0.028

0.01~0.04

ที่

เส้นผ่านศูนย์กลาง

200.25±0.25 มม

ความหนา

ที่

ข้อผิดพลาดในการวางแนวพื้นผิว

4°ไปทาง <11-20>±0.5°

การวางแนวรอยบาก

[1- 100]±5.0°

ความลึกของรอยบาก

1~1.5 มม

ความหนาแน่นของไมโครไพพ์

≤2 อีเอ/ซม2

≤10 ตัว/cm2

≤50 ตัว/ซม.2

บีพีดี

≤2000 ตัว/cm2

≤500 ตัว/cm2

-

ศูนย์รับฝาก

≤500 ตัว/cm2

≤1,000 ตัว/cm2

-

ขอบแตก

≤3ของ, ≤1มม./ครั้ง

≤4ของ, ≤2มม./ครั้ง

≤5ของ, ≤3มม./ครั้ง

พื้นที่โพลีไทป์

ไม่มี

พื้นที่ ≤20%

พื้นที่ ≤30%

เยื้องขอบ

≤3ea ความกว้างและความลึก ≤1มม

≤4ea ความกว้างและความลึก ≤2มม

≤5ea ความกว้างและความลึก ≤2มม

ฉลาก

หน้าซี

บรรจุภัณฑ์

ตลับโลหะหน่วย, บรรจุภัณฑ์สูญญากาศ