แท่ง SiC กึ่งฉนวนความบริสุทธิ์สูง 4" 6"

ข้อมูลจำเพาะ SiC Ingot กึ่งฉนวนขนาด 4 นิ้ว

รายการ

เกรดการผลิต

เกรดจำลอง

โพลีไทป์

4ชม

ความต้านทาน/โอห์ม ·ซม

ที่

เส้นผ่านศูนย์กลาง

100.25±0.25 มม

ความหนา

≥15 มม

ข้อผิดพลาดในการวางแนวพื้นผิว

0 ± 0.2 °

ปฐมนิเทศแนวราบ

[1- 100]±5.0°

ความยาวแบนหลัก

32.5±1.5 มม

แฟลตรอง

90.0°CW จากหลัก ±5.0°, ซิลิคอนหงายขึ้น

ความยาวแบนรอง

17±1.5 มม

ความหนาแน่นของไมโครไพพ์

≤1 อีเอ/ซม.2

≤10 ตัว/cm2

ขอบแตก

≤3ของ, ≤1มม./ครั้ง

≤5ของ, ≤3มม./ครั้ง

พื้นที่โพลีไทป์

ไม่มี

พื้นที่ ≤5%

เยื้องขอบ

≤3ea ความกว้างและความลึก ≤1มม

≤5ea ความกว้างและความลึก ≤2มม

ฉลาก

หน้าซี

บรรจุภัณฑ์

ตลับโลหะหน่วย, บรรจุภัณฑ์สูญญากาศ

ข้อมูลจำเพาะ SiC Ingot กึ่งฉนวนขนาด 6 นิ้ว

รายการ

เกรดการผลิต

เกรดจำลอง

โพลีไทป์

4ชม

ความต้านทาน/โอห์ม ·ซม

ที่

เส้นผ่านศูนย์กลาง

150.25±0.25 มม

ความหนา

≥10 มม

ข้อผิดพลาดในการวางแนวพื้นผิว

0 ± 0.25°

การวางแนวรอยบาก

[1- 100]±5.0°

ความลึกของรอยบาก

1~1.25 มม

ความหนาแน่นของไมโครไพพ์

≤1 อีเอ/ซม.2

≤10 ตัว/cm2

ขอบแตก

≤3ของ, ≤1มม./ครั้ง

≤5ของ, ≤3มม./ครั้ง

พื้นที่โพลีไทป์

ไม่มี

พื้นที่ ≤5%

เยื้องขอบ

≤3ea ความกว้างและความลึก ≤1มม

≤5ea ความกว้างและความลึก ≤2มม

ฉลาก

หน้าซี

บรรจุภัณฑ์

ตลับโลหะหน่วย, บรรจุภัณฑ์สูญญากาศ