เรือ SiC ขนาด 6 นิ้ว

Semicorex SiC Boat ขนาด 6 นิ้วเป็นตัวพาเวเฟอร์ขั้นสูงที่ออกแบบมาเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพและประสิทธิภาพของการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ที่อุณหภูมิสูง โดยเฉพาะสำหรับการใช้งาน เช่น ออกซิเดชัน การแพร่กระจาย และกระบวนการทางความร้อนอื่นๆ ผลิตภัณฑ์นี้ผลิตจากซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) คุณภาพสูง นำเสนอโซลูชันที่แข็งแกร่งสำหรับการยึดเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ในระหว่างการทำงานที่อุณหภูมิสูงที่สำคัญ โดยให้ความเสถียรทางความร้อนที่เหนือกว่า ต้านทานการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม และมีความเสี่ยงต่อการปนเปื้อนน้อยที่สุด

เรือ SiC ขนาด 6 นิ้วผลิตขึ้นโดยใช้ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งเป็นวัสดุที่ขึ้นชื่อเรื่องคุณสมบัติทางความร้อนที่โดดเด่น ทนทานต่อสารเคมี และความทนทานในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง SiC ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากมีจุดหลอมเหลวสูง (ประมาณ 2,700°C) ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานที่อุณหภูมิสูง เช่น การประมวลผลแผ่นเวเฟอร์ในเตาออกซิเดชันและเตาแพร่ การออกแบบของเรือทำให้มั่นใจในความสมบูรณ์ของโครงสร้างที่ดีเยี่ยมและการกระจายความร้อนที่สม่ำเสมอ ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการบรรลุผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอในการเติบโตของผลึกเซมิคอนดักเตอร์ ออกซิเดชัน และการบำบัดความร้อนอื่นๆ

คุณสมบัติหลักและคุณประโยชน์

เสถียรภาพทางความร้อนสูง

การนำความร้อนที่ยอดเยี่ยมของ SiC ช่วยให้มั่นใจได้ว่าเรือ SiC ขนาด 6 นิ้วสามารถทนต่ออุณหภูมิที่สูงมากได้โดยไม่บิดเบี้ยวหรือเสื่อมคุณภาพ คุณสมบัตินี้มีคุณค่าอย่างยิ่งในระหว่างกระบวนการออกซิเดชันและการแพร่กระจาย ซึ่งการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำเป็นสิ่งจำเป็นสำหรับการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์อย่างสม่ำเสมอ

ทนต่อสารเคมีได้ดีเยี่ยม

ความต้านทานโดยธรรมชาติของซิลิคอนคาร์ไบด์ต่อการกัดกร่อนของสารเคมีทำให้เรือเหมาะสำหรับใช้ในสภาพแวดล้อมที่ต้องสัมผัสกับก๊าซที่มีฤทธิ์รุนแรง เช่น ออกซิเจน ไนโตรเจน หรือองค์ประกอบที่เกิดปฏิกิริยาอื่นๆ เป็นเรื่องปกติ เรือจะรักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างและสมรรถนะในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีปฏิกิริยาทางเคมี ซึ่งช่วยลดโอกาสที่จะเกิดการปนเปื้อน

ความทนทานต่ออุณหภูมิสูง

เรือ SiC ขนาด 6 นิ้วได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมให้ทำงานในอุณหภูมิสูงถึง 1,500°C ซึ่งเป็นข้อกำหนดสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์อุณหภูมิสูงหลายๆ กระบวนการ รวมถึงการเกิดออกซิเดชันและการแพร่กระจาย ความทนทานต่ออุณหภูมิสูงนี้ช่วยให้มั่นใจได้ถึงอายุการใช้งานที่ยาวนานแม้ในการใช้งานที่มีความต้องการสูง

ความเสี่ยงต่อการปนเปื้อนต่ำ

ปัจจัยสำคัญอย่างหนึ่งในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์คือการลดการปนเปื้อนของพื้นผิวเวเฟอร์ให้เหลือน้อยที่สุด ระดับสิ่งเจือปนต่ำและลักษณะที่ไม่เกิดปฏิกิริยาของ SiC ช่วยให้มั่นใจได้ว่าเรือ SiC ขนาด 6 นิ้วมีส่วนช่วยในการสร้างสภาพแวดล้อมที่สะอาดและได้รับการควบคุม ซึ่งจะช่วยลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนที่ไม่พึงประสงค์ในระหว่างกระบวนการผลิต

การสนับสนุนเวเฟอร์สม่ำเสมอ

การออกแบบเรือช่วยให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ได้รับการรองรับอย่างเท่าเทียมกัน รักษาการจัดตำแหน่งเวเฟอร์ที่เหมาะสมที่สุด และป้องกันการหย่อนคล้อยหรือการวางแนวที่ไม่ตรงระหว่างการประมวลผลที่อุณหภูมิสูง การสนับสนุนที่สม่ำเสมอนี้เป็นสิ่งจำเป็นสำหรับการรับประกันผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอและป้องกันข้อบกพร่องของเวเฟอร์

ตัวเลือกการปรับแต่ง

เรือ SiC ขนาด 6 นิ้วสามารถปรับแต่งให้เหมาะกับความต้องการของลูกค้าโดยเฉพาะ รวมถึงขนาด รูปร่าง และการกำหนดค่าที่ปรับแต่งสำหรับเวเฟอร์ประเภทต่างๆ ไม่ว่าจะใช้สำหรับกระบวนการออกซิเดชั่น การแพร่กระจาย หรือกระบวนการทางความร้อนอื่นๆ เรือสามารถปรับให้เหมาะสมกับการไหลของกระบวนการเฉพาะของลูกค้าได้

การใช้งานในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

เรือ SiC ขนาด 6 นิ้วใช้เป็นหลักในกระบวนการระบายความร้อนที่อุณหภูมิสูงในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ มีประสิทธิภาพโดยเฉพาะอย่างยิ่งในเตาออกซิเดชั่นและเตาแพร่กระจาย ซึ่งจำเป็นต้องควบคุมอุณหภูมิและบรรยากาศอย่างแม่นยำเพื่อให้การประมวลผลเวเฟอร์ประสบความสำเร็จ

• กระบวนการออกซิเดชั่น: ในระหว่างกระบวนการออกซิเดชั่น เวเฟอร์ซิลิคอนจะถูกสัมผัสกับออกซิเจนที่อุณหภูมิสูงเพื่อสร้างชั้นซิลิคอนไดออกไซด์บาง ๆ บนพื้นผิวเวเฟอร์ เรือ SiC ขนาด 6 นิ้วช่วยให้มั่นใจได้ว่าเวเฟอร์จะถูกยึดไว้อย่างแน่นหนาและสม่ำเสมอในระหว่างกระบวนการที่อุณหภูมิสูงนี้ ป้องกันการเสียรูปหรือการวางแนวไม่ตรง และรับประกันการเติบโตของชั้นออกไซด์ที่สม่ำเสมอ
• กระบวนการแพร่กระจาย: ในกระบวนการแพร่ สารเจือปนจะถูกนำเข้าไปในเวเฟอร์ซิลิคอนเพื่อปรับเปลี่ยนคุณสมบัติทางไฟฟ้า SiC Boat ให้การสนับสนุนเวเฟอร์ที่มั่นคงและเชื่อถือได้ในระหว่างขั้นตอนสำคัญนี้ ซึ่งอุณหภูมิสูงและการควบคุมสภาพแวดล้อมการแพร่กระจายที่แม่นยำเป็นสิ่งสำคัญยิ่ง เสถียรภาพทางความร้อนที่ดีเยี่ยมทำให้มั่นใจได้ถึงความร้อนที่สม่ำเสมอ ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญในการบรรลุโปรไฟล์สารเจือปนที่ต้องการ
• การใช้งานที่อุณหภูมิสูงอื่นๆ: นอกเหนือจากการเกิดออกซิเดชันและการแพร่กระจาย เรือ SiC ขนาด 6 นิ้วยังสามารถใช้ในกระบวนการที่มีอุณหภูมิสูงอื่นๆ ได้ เช่น การหลอมอ่อน ไนไตรเดชัน และการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว การนำความร้อนสูงและความต้านทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลันทำให้เป็นโซลูชันอเนกประสงค์สำหรับขั้นตอนต่างๆ ของการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

ข้อดีเหนือวัสดุอื่นๆ

เมื่อเปรียบเทียบกับวัสดุแบบดั้งเดิม เช่น ควอตซ์หรือกราไฟต์ ซิลิคอนคาร์ไบด์มีข้อได้เปรียบที่สำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เรือควอทซ์ไวต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิแบบฉับพลันและปฏิกิริยาทางเคมีมากกว่า ในขณะที่เรือกราไฟต์สามารถปล่อยแก๊สออกมาและทำให้เกิดการปนเปื้อนได้ ในทางกลับกัน เรือ SiC จะรักษาประสิทธิภาพไว้ในสภาพแวดล้อมที่รุนแรงโดยไม่มีความเสี่ยงต่อการปนเปื้อน ความไม่เสถียรทางความร้อน หรือการเสื่อมสภาพ สิ่งนี้ทำให้เรือ SiC ขนาด 6 นิ้วเป็นตัวเลือกที่เชื่อถือได้และมีประสิทธิภาพมากขึ้นสำหรับการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ที่อุณหภูมิสูง

เรือ SiC Semicorex ขนาด 6 นิ้วเป็นส่วนประกอบที่สำคัญในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โดยให้ความเสถียรที่จำเป็น ทนต่อสารเคมี และประสิทธิภาพทางความร้อนที่จำเป็นสำหรับการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์ขั้นสูง ค่าการนำความร้อนสูง ความต้านทานต่อการกัดกร่อนของสารเคมี และความเสี่ยงต่อการปนเปื้อนน้อยที่สุด ทำให้เป็นตัวเลือกที่เหมาะสมที่สุดสำหรับกระบวนการออกซิเดชัน การแพร่กระจาย และกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์อุณหภูมิสูงอื่นๆ ไม่ว่าจะใช้ในการวิจัยและพัฒนาหรือการผลิตขนาดใหญ่ เรือ SiC ขนาด 6 นิ้วมอบประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือที่จำเป็นเพื่อให้มั่นใจถึงผลลัพธ์คุณภาพสูงสุดในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์