เรือเวเฟอร์แบทช์

Semicorex มีเรือเวเฟอร์ แท่น และตัวพาเวเฟอร์แบบกำหนดเองสำหรับการกำหนดค่าทั้งแนวตั้ง / คอลัมน์และแนวนอน เราเป็นผู้ผลิตและจำหน่ายฟิล์มเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์มาหลายปี เรือเวเฟอร์แบบแบตช์ของเรามีความได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดส่วนใหญ่ในยุโรปและอเมริกา เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

เรือ Semicorex Batch Wafer ผลิตจากวัสดุเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์คุณภาพสูงเพื่อความทนทานต่อสารเคมีและเสถียรภาพทางความร้อนที่เหนือกว่า
เรือเวเฟอร์แบบแบตช์ของเรามีพื้นผิวเรียบและให้การสนับสนุนและการปกป้องเวเฟอร์ที่ดีเยี่ยมในระหว่างการประมวลผล การเคลือบ SiC ช่วยให้มั่นใจถึงความสม่ำเสมอและความเสถียรระหว่างการประมวลผล ปกป้องเวเฟอร์จากการปนเปื้อนและความเสียหาย ด้วยการนำความร้อนที่ดีเยี่ยมและความแข็งแรงเชิงกลที่เหนือกว่า ตัวยึดเวเฟอร์ของเราจึงให้ผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้
ทีมผู้เชี่ยวชาญของเรามุ่งมั่นที่จะมอบคุณภาพและบริการที่ดีที่สุด เรานำเสนอการออกแบบที่กำหนดเองเพื่อตอบสนองความต้องการเฉพาะของคุณ และเรือเวเฟอร์แบบแบตช์ของเราได้รับการสนับสนุนจากโปรแกรมการประกันคุณภาพของเรา

พารามิเตอร์ของเรือเวเฟอร์แบทช์

คุณสมบัติทางเทคนิค
ดัชนี	หน่วย	ค่า
ชื่อวัสดุ		ปฏิกิริยาซินเทอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์	ซิลิคอนคาร์ไบด์เผาผนึกไร้แรงดัน	ซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่
องค์ประกอบ		อาร์บีซีซี	สสส	R-SiC
ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม	กรัม/ซม3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
ความแข็งแรงของแรงดัดงอ	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°ซ) 90-100(1,400°ซ)
แรงอัด	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
ความแข็ง	ปุ่ม	2700	2800	/
ทำลายความดื้อรั้น	เมกะปาสคาล ม1/2	4.5	4	/
การนำความร้อน	W/m.k	95	120	23
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน	10^-6.1/°ซ	5	4	4.7
ความร้อนจำเพาะ	จูล/กรัม 0k	0.8	0.67	/
อุณหภูมิสูงสุดในอากาศ	℃	1200	1500	1600
โมดูลัสยืดหยุ่น	เกรดเฉลี่ย	360	410	240

ความแตกต่างระหว่าง SSiC และ RBSiC:

1. กระบวนการเผาผนึกแตกต่างกัน RBSiC คือการแทรกซึม Si อิสระเข้าไปในซิลิคอนคาร์ไบด์ที่อุณหภูมิต่ำ SSiC เกิดจากการหดตัวตามธรรมชาติที่อุณหภูมิ 2100 องศา

2. SSiC มีพื้นผิวที่เรียบกว่า มีความหนาแน่นสูงกว่าและมีความแข็งแรงสูงกว่า สำหรับการปิดผนึกบางอย่างที่มีข้อกำหนดพื้นผิวที่เข้มงวดมากขึ้น SSiC จะดีกว่า

3. เวลาใช้งานที่แตกต่างกันภายใต้ค่า PH และอุณหภูมิที่แตกต่างกัน SSiC จะนานกว่า RBSiC

คุณสมบัติของเรือเวเฟอร์แบทช์

- มีความแข็งแรงสูง (ความแข็ง Mohs 9.5 รองจากเพชร)
- ความต้านทานการกัดกร่อนต่อกรด ด่าง เกลือ และตัวทำละลายอินทรีย์
- การนำความร้อนสูง ต้านทานพลาสมา อายุการใช้งานยาวนาน
- สารกึ่งตัวนำ