ไม้พาย SiC Cantilever แบบกำหนดเอง

Semicorex Custom SiC Cantilever Paddle ทำหน้าที่เป็นจุดเชื่อมต่อที่สำคัญระหว่างระบบการโหลดแผ่นเวเฟอร์และหัวใจของเตาแพร่กระจาย ซึ่งรับผิดชอบในการขนย้ายเรือควอทซ์หรือ SiC เวเฟอร์ที่เต็มไปด้วยเวเฟอร์ซิลิคอนไปยังโซนการประมวลผลที่อุณหภูมิสูง การออกแบบและคุณสมบัติของวัสดุได้รับการปรับปรุงอย่างพิถีพิถันสำหรับงานที่มีความต้องการสูงนี้:

โครงสร้างคานยื่นที่แข็งแรงสำหรับการขนส่งแผ่นเวเฟอร์ที่เสถียร:การออกแบบแบบคานยื่น โดดเด่นด้วยแขนที่แข็งแรงซึ่งยื่นเข้าไปในเตาเผา ให้ความเสถียรเป็นพิเศษและการควบคุมการเคลื่อนที่ของแผ่นเวเฟอร์ที่แม่นยำ ช่วยให้การขนย้ายราบรื่นและปราศจากการสั่นสะเทือน ลดความเสี่ยงของการแตกหักของแผ่นเวเฟอร์หรือการเยื้องแนวระหว่างการขนถ่าย

ความสามารถในการรับน้ำหนักสูงเพื่อการประมวลผลแบบแบตช์ที่มีประสิทธิภาพ:ความแข็งแกร่งและความแข็งแกร่งโดยธรรมชาติของเซรามิก SiC ช่วยให้ Custom SiC Cantilever Paddle สามารถรองรับการโหลดเวเฟอร์ซิลิคอนจำนวนมาก เพิ่มปริมาณงานสูงสุดของแต่ละรอบการแพร่กระจาย และมีส่วนทำให้ปริมาณการผลิตสูงขึ้น

การควบคุมมิติที่แม่นยำเพื่อการบูรณาการที่ราบรื่น: ไม้พาย SiC Cantilever แบบกำหนดเอง ได้รับการประดิษฐ์ขึ้นอย่างพิถีพิถันตามข้อกำหนดด้านมิติที่แม่นยำ รับรองว่าเข้ากันได้อย่างสมบูรณ์แบบภายในระบบเตาหลอมกระจาย และอำนวยความสะดวกในการบูรณาการอย่างราบรื่นกับหุ่นยนต์จัดการแผ่นเวเฟอร์อัตโนมัติ

การเลือกใช้เซรามิก SiC โดยเฉพาะปฏิกิริยาซิลิคอนคาร์ไบด์พันธะ (RBSiC)และซิลิกอนคาร์ไบด์เผา (SSiC)เนื่องจากวัสดุที่เลือกใช้สำหรับไม้พาย SiC Cantilever แบบกำหนดเองนั้นมาจากคุณลักษณะด้านประสิทธิภาพที่โดดเด่นในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง:

ความเสถียรที่อุณหภูมิสูงอย่างไม่เปลี่ยนแปลง: ไม้พาย SiC Cantilever แบบกำหนดเองมีความทนทานเป็นพิเศษต่อการเสียรูปและการคืบคลาน แม้ในอุณหภูมิสูง (สูงถึง 1600°C) ที่พบในเตาหลอมกระจาย ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการรองรับเวเฟอร์ที่สม่ำเสมอ และป้องกันการหย่อนคล้อยหรือการโค้งงอที่อาจส่งผลต่อความสม่ำเสมอของเวเฟอร์

ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อนได้ดีเยี่ยม:ความสามารถในการทนต่อการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิอย่างรวดเร็วโดยไม่เกิดความเสียหายถือเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการรักษาความสมบูรณ์ของ SiC Cantilever Paddle แบบกำหนดเองตลอดรอบการแพร่กระจายนับไม่ถ้วน เซรามิก SiC มีความเป็นเลิศในเรื่องนี้ โดยลดความเสี่ยงของการแตกร้าวหรือการแตกหักที่อาจนำไปสู่การหยุดทำงานที่มีค่าใช้จ่ายสูง

การขยายตัวทางความร้อนต่ำเพื่อการจัดตำแหน่งที่แม่นยำ:การขยายตัวทางความร้อนที่น้อยที่สุดของเซรามิก SiC ช่วยให้มั่นใจได้ว่า Custom SiC Cantilever Paddle จะรักษาความเสถียรของมิติตลอดช่วงอุณหภูมิกว้างที่เกิดขึ้นระหว่างการทำงาน นี่เป็นสิ่งสำคัญสำหรับการรักษาการจัดวางแผ่นเวเฟอร์ที่แม่นยำภายในเตาเผา เพื่อให้มั่นใจได้ถึงความร้อนที่สม่ำเสมอและโปรไฟล์การแพร่กระจายที่สม่ำเสมอ