End Effector สำหรับการจัดการเวเฟอร์

Semicorex End Effector สำหรับการจัดการเวเฟอร์มีมิติที่แม่นยำและมีความเสถียรทางความร้อนสำหรับการประมวลผลเวเฟอร์ เราเป็นผู้ผลิตและจำหน่ายองค์ประกอบการเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์มาหลายปีแล้ว ผลิตภัณฑ์ของเรามีความได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดยุโรปและอเมริกาส่วนใหญ่ เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

Semicorex End Effector สำหรับการจัดการเวเฟอร์มีมิติที่แม่นยำและมีเสถียรภาพทางความร้อน ขณะเดียวกันก็มีฟิล์มเคลือบ CVD SiC ที่เรียบลื่นและทนทานต่อการเสียดสีเพื่อจัดการกับเวเฟอร์ได้อย่างปลอดภัยโดยไม่สร้างความเสียหายให้กับอุปกรณ์หรือก่อให้เกิดการปนเปื้อนของอนุภาค ซึ่งสามารถเคลื่อนย้ายเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ระหว่างตำแหน่งในอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์และพาหะ ได้อย่างแม่นยำและมีประสิทธิภาพ End Effector เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูงของเราสำหรับการจัดการเวเฟอร์ให้การต้านทานความร้อนที่เหนือกว่า ความสม่ำเสมอทางความร้อนสม่ำเสมอ เพื่อความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ และความทนทานต่อสารเคมีที่ทนทาน

ที่ Semicorex เรามุ่งเน้นในการนำเสนอผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงและคุ้มค่าแก่ลูกค้าของเรา End Effector สำหรับการจัดการแผ่นเวเฟอร์ของเรามีความได้เปรียบด้านราคาและส่งออกไปยังตลาดยุโรปและอเมริกาหลายแห่ง เรามุ่งมั่นที่จะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณ นำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพสม่ำเสมอและการบริการลูกค้าที่เป็นเลิศ

พารามิเตอร์ของ End Effector สำหรับการจัดการเวเฟอร์

ข้อมูลจำเพาะหลักของการเคลือบ CVD-SIC
คุณสมบัติ SiC-CVD
โครงสร้างคริสตัล	เฟส FCC β
ความหนาแน่น	กรัม/ซม. ³	3.21
ความแข็ง	ความแข็งของวิคเกอร์	2500
ขนาดเกรน	ไมโครเมตร	2~10
ความบริสุทธิ์ของสารเคมี	%	99.99995
ความจุความร้อน	เจ กก-1 K-1	640
อุณหภูมิระเหิด	℃	2700
ความแข็งแกร่งของเฟล็กซ์เจอร์	MPa (RT 4 จุด)	415
โมดูลัสของยัง	เกรดเฉลี่ย (โค้ง 4 พอยต์, 1300°C)	430
การขยายความร้อน (C.T.E)	10-6K-1	4.5
การนำความร้อน	(W/mK)	300