เตาหอการค้าแนวนอน SIC

Semicorex Furnace Sic Boads เป็นส่วนที่มีวิศวกรรมสูงที่ถือและถือเวเฟอร์หรือพื้นผิวในขณะที่พวกเขาอยู่ภายใต้การประมวลผลความร้อนอุณหภูมิสูงในเตาเผาแนวนอน เรือเวเฟอร์ทำจาก SIC ที่มีความบริสุทธิ์สูง ซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC)ซึ่งให้การผสมผสานที่เป็นเอกลักษณ์ของความแข็งแรงความเสถียรทางความร้อนและความต้านทานต่อสารเคมีสูงที่ต้องการในเซมิคอนดักเตอร์เซลล์แสงอาทิตย์และกระบวนการเซรามิกขั้นสูง เรือเวเฟอร์ยังทำหน้าที่เป็นโครงสร้างที่เข้มงวดในการยึดเวเฟอร์ในตำแหน่งเสถียรภาพของมิติและความแม่นยำของเวเฟอร์จะไม่หายไปโดยการสัมผัสกับอุณหภูมิของกระบวนการที่รุนแรง

คุณสมบัติที่เหนือกว่าของซิลิกอนคาร์ไบด์ให้เรือเตาหอในห้องนอนในแนวนอนมีความได้เปรียบด้านประสิทธิภาพที่เหนือกว่าเมื่อเทียบกับวัสดุทั่วไปสำหรับเรือเวเฟอร์เช่นควอตซ์หรืออลูมินา พวกเขาสามารถทนต่อการทำความร้อนระยะเวลาสั้น ๆ และวัฏจักรทำความเย็นได้ไม่บ่อยนักเนื่องจากจุดหลอมละลายสูงความต้านทานการกระแทกด้วยความร้อนและความแข็งแรงเชิงกลโดยไม่คำนึงถึงความเร็วของการทำความร้อนและความเย็นหรือสุดขั้วของวัฏจักรความร้อน เนื่องจากเตาเผาในแนวนอนขึ้นอยู่กับความสอดคล้องของตำแหน่งเวเฟอร์และการเปิดรับเงื่อนไขของกระบวนการการจัดตำแหน่งที่เหมาะสมของเวเฟอร์จึงให้ผลผลิตกระบวนการที่สอดคล้องกันและการทำซ้ำ ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำหมายความว่าเรือจะไม่บิดเบือนชีวิตของมันและให้รูปร่างและระยะห่างของเวเฟอร์

โครงสร้างที่มีความหนาแน่นและหนาแน่นของ SIC ที่ตกผลึกใหม่ให้ความต้านทานต่อการเกิดออกซิเดชันการกัดกร่อนและการปนเปื้อนโดยก๊าซกระบวนการและผลพลอยได้ สิ่งนี้ทำให้เรือได้เปรียบโดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับกระบวนการในบรรยากาศที่ก้าวร้าวเช่นการแพร่กระจายออกซิเดชัน LPCVD และการหลอม ความเฉื่อยชาของสารเคมีสูงของ SIC หลีกเลี่ยงปฏิกิริยากับพื้นผิวเวเฟอร์ดังนั้นจึงรักษาความบริสุทธิ์ของผลิตภัณฑ์และลดการสร้างอนุภาคในเตาเผา เรือ SIC สามารถช่วยผู้ผลิตที่ต้องการตอบสนองความต้องการด้านความสะอาดที่เข้มงวดจัดหาสภาพแวดล้อมการประมวลผลที่สะอาดและคุณภาพเวเฟอร์ที่ดีขึ้น

เรือเหล่านี้สามารถผลิตได้ด้วยรูปทรงเรขาคณิตที่ซับซ้อนและขนาดเฉพาะส่วนที่มีการตัดเฉือนที่แม่นยำและเทคนิคการขึ้นรูป การออกแบบโดยทั่วไปใช้สล็อต/ร่องแบบขนานหลายช่องเพื่อยึดเวเฟอร์อย่างแน่นหนาในแนวนอนและแสดงพื้นผิวเวเฟอร์ทั้งหมดอย่างสม่ำเสมอในสภาวะความร้อน ระยะห่างและมุมของสล็อตถึงสล็อตยังสามารถปรับให้เหมาะสมกับเวเฟอร์ของเส้นผ่านศูนย์กลางอื่น ๆ เช่น 150 มม., 200 มม. หรือ 300 มม. และการไหลเวียนของอากาศโดยตรงในระหว่างการประมวลผลเอฟเฟกต์ในขณะที่ยังคงมีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิสำหรับการประมวลผล

ไม่เพียง แต่เรือ SIC ในห้องนอนแนวนอนจะได้รับการออกแบบในการออกเดินทางมาตรฐาน แต่สามารถออกแบบให้ทำงานกับรถตักเวเฟอร์อัตโนมัติส่งผลให้การรวมเข้ากับสายการผลิตความเร็วสูงที่ทันสมัย การออกแบบที่แข็งแกร่งจะทำให้เรือมีโอกาสน้อยที่จะชิปหรือทำลายในระหว่างการจัดการและลดการหยุดทำงานและค่าใช้จ่ายสำหรับการเปลี่ยน

ค่าการนำความร้อนของซิลิกอนคาร์ไบด์แสดงให้เห็นถึงข้อได้เปรียบที่สำคัญอีกประการหนึ่งที่ช่วยให้การถ่ายเทความร้อนมีประสิทธิภาพระหว่างเวเฟอร์และสภาพแวดล้อมของเตาหลอม ข้อได้เปรียบคือผู้ผลิตสามารถบรรลุเงื่อนไขการประมวลผลที่สม่ำเสมอมากขึ้นและสั้นลงรอบเวลาซึ่งสามารถเพิ่มประสิทธิภาพการผลิต เรือ SIC ให้ผลลัพธ์ที่สอดคล้องและทำซ้ำไม่ว่าจะใช้สำหรับการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์การผลิตเซลล์แสงอาทิตย์หรือการประมวลผลวัสดุขั้นสูงอื่น ๆ ที่อุณหภูมิสูง

โดยสรุปเรือ SIC ในห้องนอนในแนวนอนเป็นองค์ประกอบสำคัญสำหรับผู้ผลิตที่ต้องการผลิตเวเฟอร์ที่มีประสิทธิภาพสูงการติดทนนานและผู้ให้บริการเวเฟอร์ที่ทนต่อการปนเปื้อน มันมีความแข็งแรงเชิงกลความเสถียรทางความร้อนและความเฉื่อยทางเคมีที่ไม่มีใครเทียบได้ในการใช้งานเตาเผาแนวนอน ด้วยการเลือกเรือซิลิกอนคาร์ไบด์ผู้ประกอบการสามารถใช้ประโยชน์จากการควบคุมกระบวนการที่ดีขึ้นผลผลิตที่สูงขึ้นและลดการหยุดชะงักในการดำเนินงานเนื่องจากการบำรุงรักษา โดยรวมแล้วให้การผลิตที่มีประสิทธิภาพมากขึ้นและคุ้มค่ามากขึ้น