เรือซิลิคอนคาร์ไบด์แนวนอน Semicorex เป็นตัวพาแผ่นเวเฟอร์แนวนอนที่จำเป็นสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ล้ำสมัย ซึ่งผลิตอย่างแม่นยำจากซิลิคอนคาร์ไบด์เกรดเซมิคอนดักเตอร์ระดับพรีเมียม ด้วยความสามารถในการผลิตที่กว้างขวางและผ่านการทดสอบตามเวลา Semicorex สามารถจัดหาเรือซิลิคอนคาร์ไบด์แนวนอนที่ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมที่เข้ากันได้สูงแก่ลูกค้าของเรา
Semicorex แนวนอนเรือซิลิคอนคาร์ไบด์ถูกสร้างขึ้นแบบบูรณาการโดยใช้เทคโนโลยีการพิมพ์ 3 มิติ จากนั้นจึงประดิษฐ์ผ่านการเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง สร้างขึ้นโดยมีจุดประสงค์เพื่อให้พอดีกับเตาแนวนอนที่มีอุณหภูมิสูงหลายขนาด ส่วนประกอบเหล่านี้ถูกนำไปใช้อย่างกว้างขวางเพื่อกักเก็บแผ่นเวเฟอร์อย่างแน่นหนาในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่มีอุณหภูมิสูงที่สำคัญ รวมถึงการแพร่กระจาย ออกซิเดชัน และการสะสมไอสารเคมี
| คุณสมบัติ |
เรือซิลิคอนคาร์ไบด์แนวนอน Semicorex |
| ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม |
3.05 ก./ซม.³ |
| อนุภาค |
3 ไมครอน |
| แรงดัดงอ |
260 เมกะปาสคาล |
| แรงอัด |
500 เมกะปาสคาล |
| ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน (อุณหภูมิห้องถึง 1,000 ℃) |
4.3*10-6 |
| ความบริสุทธิ์ |
5.38 แผ่นต่อนาที |
| โมดูลัสแรงดึง |
354 เกรดเฉลี่ย |
| การนำความร้อน |
135 วัตต์/(เมตร·เคลวิน) |

ความแข็งแรงและความแข็งของวัสดุที่ไม่มีใครเทียบได้ทำให้เรือซิลิคอนคาร์ไบด์แนวนอนของ Semicorex มีความสามารถในการรองรับที่ดีเยี่ยม ซึ่งช่วยให้สามารถบรรทุกเวเฟอร์หลายตัวพร้อมกันได้อย่างเสถียร ด้วยเครื่องจักรสล็อตที่มีความแม่นยำ เรือซิลิคอนคาร์ไบด์แนวนอน Semicorex สามารถยึดและยึดเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ได้อย่างแน่นหนา โครงสร้างช่องที่เว้นระยะเท่ากันช่วยให้มั่นใจได้ว่าเวเฟอร์จะรักษาตำแหน่งคงที่ตลอดวงจรการประมวลผลทั้งหมด จึงรับประกันความสม่ำเสมอและความแม่นยำของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ด้วยการทนต่ออุณหภูมิสูงและความต้านทานการกัดกร่อนที่เหนือกว่า เรือซิลิคอนคาร์ไบด์แนวนอน Semicorex จึงสามารถทนต่อสภาพแวดล้อมการทำงานที่เข้มงวด เช่น บรรยากาศที่มีอุณหภูมิสูงของออกซิเจน ไนโตรเจน หรือไฮโดรเจนคลอไรด์ที่มีความเข้มข้นต่ำ คุณสมบัติของวัสดุที่โดดเด่นเหล่านี้สามารถป้องกันการกัดกร่อนและความเสียหายที่เกิดจากก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนอุณหภูมิสูงได้อย่างมีประสิทธิภาพ ซึ่งช่วยยืดอายุการใช้งานของเรือได้อย่างมาก
แตกต่างจากเรือกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ทั่วไป เรือซิลิคอนคาร์ไบด์แนวนอน Semicorex ผลิตจากเกรดเซมิคอนดักเตอร์และมีความบริสุทธิ์สูงซิลิคอนคาร์ไบด์(99.999%) มีปริมาณสิ่งเจือปนต่ำเป็นพิเศษ การเลือกใช้วัสดุระดับพรีเมี่ยมนี้ช่วยลดความเสี่ยงของการปล่อยก๊าซปนเปื้อนหรือการหลุดลอกของสารเคลือบ แม้ว่าจะสัมผัสกับสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีฤทธิ์กัดกร่อนรุนแรงก็ตาม นอกจากนี้ เรือซิลิคอนคาร์ไบด์แต่ละลำของเรายังต้องผ่านกระบวนการทำความสะอาดอัลตราโซนิกที่เข้มงวดก่อนบรรจุภัณฑ์สูญญากาศ ซึ่งรับประกันการปฏิบัติตามมาตรฐานความสะอาดที่กำหนดโดยกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง