ICP Etching Carrier Plate ของ Semicorex เป็นโซลูชั่นที่สมบูรณ์แบบสำหรับการจัดการแผ่นเวเฟอร์และกระบวนการสะสมฟิล์มบางที่มีความต้องการสูง ผลิตภัณฑ์ของเราให้ความร้อนและการกัดกร่อนที่เหนือกว่า ความสม่ำเสมอของความร้อน และรูปแบบการไหลของก๊าซแบบลามิเนต ด้วยพื้นผิวที่สะอาดและเรียบเนียน ถาดใส่ของเราจึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการจัดการเวเฟอร์ที่ใสสะอาด
ICP Etching Carrier Plate ของ Semicorex ให้ความทนทานและอายุการใช้งานที่ยาวนานเป็นเลิศสำหรับการจัดการแผ่นเวเฟอร์และกระบวนการสะสมฟิล์มบาง ผลิตภัณฑ์ของเรามีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนที่เหนือกว่า ความสม่ำเสมอของความร้อน และรูปแบบการไหลของก๊าซแบบลามิเนต ด้วยพื้นผิวที่สะอาดและเรียบเนียน ผู้ให้บริการของเราจึงรับประกันการจัดการเวเฟอร์ที่บริสุทธิ์อย่างเหมาะสมที่สุด ขจัดอุณหภูมิสูง การทำความสะอาดด้วยสารเคมี และความสม่ำเสมอทางความร้อนสูง
ติดต่อเราวันนี้เพื่อเรียนรู้เพิ่มเติมเกี่ยวกับ ICP Etching Carrier Plate
พารามิเตอร์ของ ICP Etching Carrier Plate
ข้อมูลจำเพาะหลักของการเคลือบ CVD-SIC |
||
คุณสมบัติ SiC-CVD |
||
โครงสร้างคริสตัล |
เฟส FCC β |
|
ความหนาแน่น |
กรัม/ซม. ³ |
3.21 |
ความแข็ง |
ความแข็งของวิคเกอร์ |
2500 |
ขนาดเกรน |
ไมโครเมตร |
2~10 |
ความบริสุทธิ์ของสารเคมี |
% |
99.99995 |
ความจุความร้อน |
เจ กก-1 K-1 |
640 |
อุณหภูมิระเหิด |
℃ |
2700 |
ความแข็งแกร่งของเฟล็กซ์เจอร์ |
MPa (RT 4 จุด) |
415 |
โมดูลัสของยัง |
เกรดเฉลี่ย (โค้ง 4 พอยต์, 1300°C) |
430 |
การขยายความร้อน (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
การนำความร้อน |
(W/mK) |
300 |
คุณลักษณะของ ICP Etching Carrier Plate
- หลีกเลี่ยงการลอกออกและเคลือบให้ทั่วทุกพื้นผิว
ทนต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง: เสถียรที่อุณหภูมิสูงถึง 1600°C
ความบริสุทธิ์สูง: เกิดจากการสะสมไอสารเคมี CVD ภายใต้สภาวะคลอรีนที่อุณหภูมิสูง
ความต้านทานการกัดกร่อน: ความแข็งสูง พื้นผิวหนาแน่น และอนุภาคละเอียด
ความต้านทานการกัดกร่อน: กรด ด่าง เกลือ และรีเอเจนต์อินทรีย์
- บรรลุรูปแบบการไหลของก๊าซแบบลามินาร์ที่ดีที่สุด
- รับประกันความสม่ำเสมอของโปรไฟล์ความร้อน
- ป้องกันการปนเปื้อนหรือการแพร่กระจายของสิ่งสกปรก