วงแหวนทางเข้า MOCVD

Semicorex เป็นผู้ผลิตและจำหน่ายกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ขนาดใหญ่ในประเทศจีน วงแหวนทางเข้า MOCVD ของเรามีความได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดยุโรปและอเมริกาหลายแห่ง เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณ

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

Semicorex จัดหาวงแหวนทางเข้า MOCVD ที่ใช้ในการตกตะกอนและการประมวลผลเวเฟอร์ ซึ่งมีความเสถียรมากสำหรับ RTA, RTP หรือการทำความสะอาดด้วยสารเคมีที่รุนแรง วงแหวนทางเข้า MOCVD ของเรามีโครงสร้างกราไฟท์เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งให้ความต้านทานความร้อนที่เหนือกว่า ความสม่ำเสมอของความร้อนสม่ำเสมอ เพื่อความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ และทนต่อสารเคมีที่ทนทาน การเคลือบคริสตัล SiC แบบละเอียดให้พื้นผิวที่สะอาดและเรียบเนียน ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการจัดการ เนื่องจากเวเฟอร์บริสุทธิ์จะสัมผัสกับตัวรับหลายจุดทั่วทั้งพื้นที่

ที่ Semicorex เรามุ่งเน้นไปที่การจัดหาวงแหวนทางเข้า MOCVD คุณภาพสูงและคุ้มค่า เราให้ความสำคัญกับความพึงพอใจของลูกค้าและนำเสนอโซลูชั่นที่คุ้มค่า เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณ นำเสนอผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงและการบริการลูกค้าที่เป็นเลิศ

พารามิเตอร์ของวงแหวนทางเข้า MOCVD

ข้อมูลจำเพาะหลักของการเคลือบ CVD-SIC
คุณสมบัติ SiC-CVD
โครงสร้างคริสตัล	เฟส FCC β
ความหนาแน่น	กรัม/ซม. ³	3.21
ความแข็ง	ความแข็งของวิคเกอร์	2500
ขนาดเกรน	ไมโครเมตร	2~10
ความบริสุทธิ์ของสารเคมี	%	99.99995
ความจุความร้อน	เจ กก-1 K-1	640
อุณหภูมิระเหิด	℃	2700
ความแข็งแกร่งของเฟล็กซ์เจอร์	MPa (RT 4 จุด)	415
โมดูลัสของยัง	เกรดเฉลี่ย (โค้ง 4 พอยต์, 1300°C)	430
การขยายตัวทางความร้อน (C.T.E)	10-6K-1	4.5
การนำความร้อน	(W/mK)	300