ตัวรับเคลือบ CVD SiC ทำหน้าที่เป็นตัวจับเวเฟอร์แบบพิเศษในกระบวนการสะสมไอสารเคมีโลหะ-อินทรีย์ (MOCVD) ซึ่งมีบทบาทสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ส่วนประกอบเหล่านี้มีความสำคัญต่อการรักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างของเวเฟอร์ในระหว่างการปิดผิวภายใต้สภาวะที่รุนแรง เช่น อุณหภูมิสูงและสภาพแวดล้อมที่มีฤทธิ์กัดกร่......
อ่านเพิ่มเติม