> ข่าว

ข่าว

กระบวนการเจริญเติบโตของฟิล์มบาง

ฟิล์มบางทั่วไปส่วนใหญ่แบ่งออกเป็นสามประเภท ได้แก่ ฟิล์มบางสารกึ่งตัวนำ ฟิล์มบางอิเล็กทริก และฟิล์มบางผสมโลหะ/โลหะ

Heteroepitaxy ของ 3C-SiC: ภาพรวม

การพัฒนา 3C-SiC ซึ่งเป็นโพลีไทป์ที่สำคัญของซิลิคอนคาร์ไบด์ สะท้อนให้เห็นถึงความก้าวหน้าอย่างต่อเนื่องของวิทยาศาสตร์วัสดุเซมิคอนดักเตอร์ ในช่วงทศวรรษ 1980 นิชิโนะ และคณะ ครั้งแรกที่ประสบความสำเร็จในการสร้างฟิล์ม 3C-SiC ที่มีความหนา 4 μm บนพื้นผิวซิลิกอนโดยใช้การสะสมไอสารเคมี (CVD) [1] ซึ่งวางรากฐานสำ......

อ่านเพิ่มเติม

SiC แบบหนา CVD ที่มีความบริสุทธิ์สูง: ข้อมูลเชิงลึกด้านกระบวนการสำหรับการเติบโตของวัสดุ

ชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูงหนาและมีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งโดยทั่วไปแล้วจะเกิน 1 มม. เป็นส่วนประกอบที่สำคัญในการใช้งานที่มีมูลค่าสูงต่างๆ รวมถึงการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และเทคโนโลยีการบินและอวกาศ บทความนี้เจาะลึกกระบวนการสะสมไอสารเคมี (CVD) สำหรับการผลิตชั้นดังกล่าว โดยเน้นที่พารามิเตอ......

อ่านเพิ่มเติม

ซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์กับซิลิกอนโพลีคริสตัลไลน์

ซิลิกอนผลึกเดี่ยวและซิลิกอนโพลีคริสตัลไลน์ ต่างก็มีข้อดีเฉพาะตัวและสถานการณ์ที่เกี่ยวข้องกัน ซิลิคอนผลึกเดี่ยวเหมาะสำหรับผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์และไมโครอิเล็กทรอนิกส์ประสิทธิภาพสูง เนื่องจากมีคุณสมบัติทางไฟฟ้าและทางกลที่ดีเยี่ยม ในทางกลับกัน ซิลิคอนโพลีคริสตัลไลน์ มีบทบาทสำคัญในด้านเซลล์แสงอาทิตย์เน......

อ่านเพิ่มเติม

สารตั้งต้นและ Epitaxy

ในกระบวนการเตรียมเวเฟอร์ มีการเชื่อมโยงหลักสองส่วน: สายหนึ่งคือการเตรียมสารตั้งต้น และอีกสายหนึ่งคือการนำกระบวนการเอพิแทกเซียลไปใช้ สารตั้งต้นซึ่งเป็นเวเฟอร์ที่ทำอย่างระมัดระวังจากวัสดุผลึกเดี่ยวของเซมิคอนดักเตอร์ สามารถนำไปใช้โดยตรงในกระบวนการผลิตเวเฟอร์เพื่อเป็นพื้นฐานในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอ......

อ่านเพิ่มเติม

ทำความเข้าใจการสะสมไอสารเคมี (CVD): ภาพรวมที่ครอบคลุม

การตกสะสมไอสารเคมี (CVD) เป็นเทคนิคการสะสมฟิล์มบางอเนกประสงค์ที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการผลิตฟิล์มบางคุณภาพสูงและสม่ำเสมอบนพื้นผิวต่างๆ กระบวนการนี้เกี่ยวข้องกับปฏิกิริยาทางเคมีของสารตั้งต้นที่เป็นก๊าซบนพื้นผิวซับสเตรตที่ได้รับความร้อน ส่งผลให้เกิดการก่อตัวของฟิล์มบางที......

อ่านเพิ่มเติม

<...7 8 9 10 11...30 >