วงแหวนโฟกัสการประมวลผลพลาสม่า

วงแหวนโฟกัสการประมวลผลพลาสม่า Semicorex ได้รับการออกแบบมาเป็นพิเศษเพื่อตอบสนองความต้องการสูงของการประมวลผลกัดพลาสม่าในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ส่วนประกอบเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ขั้นสูงและมีความบริสุทธิ์สูงของเราสร้างขึ้นเพื่อให้ทนทานต่อสภาพแวดล้อมที่รุนแรง และเหมาะสำหรับใช้ในการใช้งานที่หลากหลาย รวมถึงชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์และเซมิคอนดักเตอร์อีพิแทกซี

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

วงแหวนโฟกัสการประมวลผลพลาสม่าของเรามีความเสถียรสูงสำหรับ RTA, RTP หรือการทำความสะอาดด้วยสารเคมีที่รุนแรง ทำให้เป็นตัวเลือกที่ดีเยี่ยมสำหรับใช้ในห้องกัดพลาสม่า (หรือกัดแห้ง) ออกแบบมาเพื่อปรับปรุงความสม่ำเสมอในการกัดรอบๆ ขอบเวเฟอร์หรือปริมณฑล วงแหวนโฟกัสหรือวงแหวนขอบของเราได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อลดการปนเปื้อนและการบำรุงรักษาที่ไม่ได้กำหนดไว้

การเคลือบ SiC ของเราเป็นการเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความหนาแน่นและทนทานต่อการสึกหรอ โดยมีคุณสมบัติการกัดกร่อนและทนความร้อนสูง รวมถึงการนำความร้อนที่ดีเยี่ยม เราใช้ SiC ในชั้นบางๆ บนกราไฟท์โดยใช้กระบวนการสะสมไอสารเคมี (CVD) สิ่งนี้ทำให้มั่นใจได้ว่า SiC Focus Rings ของเรามีคุณภาพและความทนทานที่เหนือกว่า ทำให้เป็นตัวเลือกที่เชื่อถือได้สำหรับความต้องการในการกัดพลาสม่าของคุณ

ติดต่อเราวันนี้เพื่อเรียนรู้เพิ่มเติมเกี่ยวกับวงแหวนโฟกัสการประมวลผลพลาสม่าของเรา

พารามิเตอร์ของวงแหวนโฟกัสการประมวลผลพลาสม่า

ข้อมูลจำเพาะหลักของการเคลือบ CVD-SIC
คุณสมบัติ SiC-CVD
โครงสร้างคริสตัล	เฟส FCC β
ความหนาแน่น	กรัม/ซม. ³	3.21
ความแข็ง	ความแข็งของวิคเกอร์	2500
ขนาดเกรน	ไมโครเมตร	2~10
ความบริสุทธิ์ของสารเคมี	%	99.99995
ความจุความร้อน	เจ กก-1 K-1	640
อุณหภูมิระเหิด	℃	2700
ความแข็งแกร่งของเฟล็กซ์เจอร์	MPa (RT 4 จุด)	415
โมดูลัสของยัง	เกรดเฉลี่ย (โค้ง 4 พอยต์, 1300°C)	430
การขยายความร้อน (C.T.E)	10-6K-1	4.5
การนำความร้อน	(W/mK)	300

คุณสมบัติของวงแหวนโฟกัสการประมวลผลพลาสม่า

- เคลือบ CVD Silicon Carbide เพื่อยืดอายุการใช้งาน

- ฉนวนกันความร้อนทำจากคาร์บอนแข็งบริสุทธิ์ประสิทธิภาพสูง

- เครื่องทำความร้อนและแผ่นคาร์บอน/คาร์บอนคอมโพสิต - ทั้งซับสเตรตกราไฟท์และชั้นซิลิกอนคาร์ไบด์มีค่าการนำความร้อนสูงและมีคุณสมบัติการกระจายความร้อนที่ดีเยี่ยม

- กราไฟท์ความบริสุทธิ์สูงและการเคลือบ SiC เพื่อความทนทานต่อรูเข็มและอายุการใช้งานที่สูงขึ้น