Sic Chuck ที่มีรูพรุน

Semicorex Porous Sic Chuck เป็นส่วนเซรามิกที่ประกอบขึ้นด้วยความแม่นยำสำหรับการจัดการพื้นผิวเวเฟอร์ที่ปลอดภัยและมีประสิทธิภาพสำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ผ่านขั้นตอนกระบวนการเช่นการตรวจสอบการทดสอบและการพิมพ์หิน Chuck ผลิตจากเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์ขนาดเล็ก (SIC) SIC มีความแข็งแรงเชิงกลความต้านทานทางเคมีและคุณสมบัติความเสถียรทางความร้อนที่จำเป็นสำหรับสภาพแวดล้อมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ทันสมัย

ลักษณะสำคัญของ sic sic porous คือโครงสร้างจุลภาคที่เป็นเอกลักษณ์ซึ่งแสดงถึงความพรุน 35%-40% ด้วยความพรุนของเชยที่ควบคุมอย่างแน่นหนาการออกแบบที่อยู่เหนือกว่าช่วยให้การดูดสูญญากาศสามารถจ่ายได้อย่างสม่ำเสมอทั่วทั้งชัคที่สร้างการสนับสนุนที่มั่นคงและไม่สัมผัสอย่างสม่ำเสมอสำหรับพื้นผิวเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อน: ซิลิกอนหรือ GAN  โหมดดูดสูญญากาศจะหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนของอนุภาคและความเสียหายทางกลดังนั้นจึงรักษาความสมบูรณ์ของเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการ

ร่างกายเซรามิกของชัคส่วนใหญ่เป็นความบริสุทธิ์สูง sic กับเซรามิกอื่น ๆ เช่นอลูมินา (Al2O3) ซึ่งอาจใช้สำหรับเลเยอร์การทำงานจำนวน จำกัด ขึ้นอยู่กับการใช้งาน การวิจัยและพัฒนาวัสดุช่วยให้ขนาดรูขุมขนและการกระจายสามารถจัดการเพื่อออกแบบการไหลเวียนของอากาศและการถือแรงขึ้นอยู่กับขนาดของเวเฟอร์และเงื่อนไขกระบวนการ หากเป็นสิ่งสำคัญในการควบคุมสูญญากาศบนเวเฟอร์ทินเนอร์ขนาดรูพรุนที่เล็กกว่าจะถูกรวมเข้าด้วยกัน สำหรับอัตราการไหลที่เร็วขึ้นตามความเหมาะสมจะมีการใช้ขนาดรูขุมขนที่ใหญ่ขึ้น

sic chucks ที่มีรูพรุนแสดงการเปลี่ยนแปลงสีอันเป็นผลมาจากขนาดรูขุมขนตัวแปรองค์ประกอบเซรามิกและเงื่อนไขการยิง sic chucks มีแนวโน้มที่จะเป็นสีดำหรือสีเทาเข้มเนื่องจากสีของซิลิกอนคาร์ไบด์เป็นสีเทาหรือสีดำ แต่ chucks ที่มีเนื้อหาอลูมินาขนาดใหญ่มักจะเป็นสีขาว ความแปรปรวนของสีไม่มีผลต่อประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์และเป็นตัวแทนของคุณสมบัติทางวิศวกรรมที่สร้างขึ้นสำหรับแอปพลิเคชันเฉพาะเพื่อให้สอดคล้องกับความต้องการของลูกค้าเฉพาะ

ในเครื่องมือการประมวลผลเวเฟอร์ระดับสูงความเสถียรทางความร้อนและความเฉื่อยทางเคมีเป็นคุณสมบัติที่สำคัญที่สุดสองประการ ซิลิคอนคาร์ไบด์ให้ความต้านทานต่อก๊าซกัดกร่อนที่ดีเยี่ยมและการปั่นจักรยานด้วยความร้อน Sic Chuck ที่มีรูพรุนประสบความสำเร็จในการทำงานในห้องสูญญากาศและเครื่องมือ Etch พลาสมาและยังคงทำงานได้ดีกับอุณหภูมิที่เปลี่ยนแปลงอย่างรวดเร็ว ความสามารถของพวกเขาในการรักษาเสถียรภาพของ dimmensional ของ Chuck ทำให้มั่นใจได้ว่าเวเฟอร์ยังคงอยู่ในตำแหน่งเดียวกันแม้ว่าข้อกำหนดความแม่นยำอาจต่ำกว่าไมครอนย่อยขึ้นอยู่กับกระบวนการที่มีส่วนทำให้มิติเสถียรทำให้มั่นใจได้ว่ามีความแม่นยำ

Semicorex Porous Sic Chucks ทำโดยใช้ขั้นตอนการขึ้นรูปและการเผาที่ได้รับอนุญาตซึ่งให้ความพรุนสม่ำเสมอความแข็งแรงของการดัดงอสูงและการขยายตัวทางความร้อนต่ำ ชัคแต่ละตัวได้รับการตรวจสอบสำหรับโครงสร้างรูขุมขนความเรียบและประสิทธิภาพสูญญากาศเพื่อให้แน่ใจว่าผลิตภัณฑ์ที่เชื่อถือได้และทำซ้ำได้ นอกจากนี้ยังมีการออกแบบที่กำหนดเองเพื่อรองรับขนาดของเวเฟอร์ที่เฉพาะเจาะจงและข้อกำหนดการรวมระบบเช่นช่องทางการไหลของก๊าซด้านหลังหรือคุณสมบัติการติดตั้ง

โดยสรุปแล้ว Sic Chuck ที่มีรูพรุนเป็นระบบสนับสนุนสารตั้งต้นที่น่าเชื่อถือสูงซึ่งได้รับการออกแบบมาอย่างระมัดระวังเพื่อทำงานร่วมกับข้อกำหนดสำหรับการประมวลผลเวเฟอร์ที่แม่นยำ ด้วยความสามารถในการถือสูญญากาศสูงโครงสร้างรูขุมขนที่ปรับแต่งได้และความเสถียรของวัสดุที่โดดเด่นจึงเป็นผลิตภัณฑ์ที่ขาดไม่ได้ในสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ในปัจจุบัน