ชัคสูญญากาศที่มีรูพรุน

Semicorex Vacuum Vacuum Chuck แสดงถึงวิธีการจัดการที่มุ่งเป้าไปที่การวางตำแหน่งเวเฟอร์ที่แม่นยำและมั่นคงในทุกขั้นตอนของการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ ชัคสูญญากาศนี้ถือด้ามจับที่ยอดเยี่ยมสำหรับการจัดการเวเฟอร์และแอปพลิเคชันการจัดตำแหน่งพื้นผิวซึ่งจะช่วยเพิ่มความน่าเชื่อถือและประสิทธิภาพ ตัวเลือกวัสดุพื้นฐาน - SUS430, อลูมิเนียมอัลลอยด์ 6061, เซรามิกอลูมินาหนาแน่น, หินแกรนิตและซิลิกอนคาร์ไบด์เซรามิก - แสดงความยืดหยุ่นของผู้ใช้ในการเลือกวัสดุที่ดีที่สุดตามความต้องการส่วนบุคคลในประสิทธิภาพความร้อนคุณสมบัติเชิงกลหรือน้ำหนัก

ตัวเลือกวัสดุที่ดีกว่า: ด้านล่างของชัคสูญญากาศ sic ที่มีรูพรุนสามารถเปลี่ยนแปลงได้ด้วยวัสดุที่แตกต่างกันเพื่อให้เหมาะกับความต้องการที่หลากหลาย:

• SUS430: ตัวเลือกราคาถูกที่ต่อต้านการเกิดสนิมได้ดีสำหรับการใช้งานทั่วไป
• อลูมิเนียมอัลลอยด์ 6061: ให้การผสมผสานของความแข็งแรงน้ำหนักเบาและความสามารถในการทำงานที่ดีทำให้ดีสำหรับการจัดการเวเฟอร์ปกติ
• อลูมินาเซรามิกหนาแน่น (99% AL2O3): ให้ความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยมและความแข็งสูงเหมาะสำหรับการใช้งานที่อุณหภูมิสูงหรือมีความแม่นยำสูง
• หินแกรนิต: เป็นที่รู้จักกันดีในเรื่องความเรียบและความมั่นคงที่ยอดเยี่ยมหินแกรนิตให้การขยายตัวทางความร้อนต่ำเหมาะสำหรับการใช้งานที่ต้องการความแม่นยำสูง
• ซิลิคอนคาร์ไบด์เซรามิก: เป็นที่รู้จักกันดีในเรื่องการนำความร้อนสูงความต้านทานทางเคมีและความทนทาน SIC เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมที่มีประสิทธิภาพสูงซึ่งพบกับสภาพที่รุนแรง

ความเรียบที่มีความแม่นยำสูง: ชัคสูญญากาศ SIC ที่มีรูพรุนทำให้มั่นใจได้ถึงความเรียบที่เหนือกว่าด้วยความแม่นยำที่แตกต่างกันไปตามวัสดุที่ใช้ การจัดอันดับวัสดุจากความแม่นยำสูงสุดถึงต่ำสุดคือ:

เซรามิกหินแกรนิตและซิลิกอนคาร์ไบด์: วัสดุทั้งสองมีความเรียบที่มีความแม่นยำสูงเพื่อให้มั่นใจว่าเวเฟอร์เสถียรภาพแม้ในสภาพแวดล้อมการประมวลผลที่ต้องการมากที่สุด

Dense Alumina (99% Al2O3): ความแบนน้อยกว่าเล็กน้อยเมื่อเทียบกับหินแกรนิตและ SIC แต่ก็ยังมีความแม่นยำที่ดีสำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ทั่วไป

อลูมิเนียมอัลลอยด์ 6061 และ SUS430: ให้ความแม่นยำที่ต่ำกว่าเล็กน้อยเล็กน้อย แต่ยังคงมีความน่าเชื่อถือสูงสำหรับการจัดการเวเฟอร์ในการใช้งานที่ต้องการน้อยกว่า

การเปลี่ยนแปลงน้ำหนักสำหรับความต้องการเฉพาะ: ชัคสูญญากาศ SIC ที่มีรูพรุนช่วยให้ผู้ใช้สามารถเลือกตัวเลือกวัสดุที่หลากหลายตามความต้องการน้ำหนัก:

อลูมิเนียมอัลลอยด์ 6061: ตัวเลือกวัสดุที่เบาที่สุดนำเสนอการจัดการและการขนส่งที่ง่าย

Granite: วัสดุฐานที่หนักกว่าที่ให้ความเสถียรสูงและลดการสั่นสะเทือนระหว่างการประมวลผล

Silicon Carbide Ceramic: มีน้ำหนักปานกลางนำเสนอความสมดุลของความทนทานและการนำความร้อน

Dense Alumina Ceramic: ตัวเลือกที่หนักที่สุดเหมาะสำหรับการใช้งานที่มีความมั่นคงและความต้านทานความร้อนสูง

ความทนทานและประสิทธิภาพสูง: ชัคสูญญากาศ SIC ที่มีรูพรุนได้รับการออกแบบมาเพื่อประสิทธิภาพที่ยาวนานสามารถทนต่อการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิที่รุนแรงและการสึกหรอที่เกี่ยวข้องกับการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ ตัวแปรเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์นั้นเป็นประโยชน์อย่างยิ่งสำหรับสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูงและทางเคมีที่ก้าวร้าวเนื่องจากมีความต้านทานต่อการขยายตัวทางความร้อนและการกัดกร่อน

โซลูชั่นที่ประหยัดต้นทุน: ด้วยตัวเลือกวัสดุหลายตัวเลือก SIC Vacuum Chuck ที่มีรูพรุนให้โซลูชันที่ประหยัดต้นทุนซึ่งสามารถปรับให้เหมาะกับงบประมาณและข้อกำหนดการใช้งานที่แตกต่างกัน สำหรับการใช้งานทั่วไปอลูมิเนียมอัลลอยด์และ SUS430 นั้นประหยัดต้นทุนในขณะที่ยังคงให้ประสิทธิภาพที่น่าพอใจ สำหรับสภาพแวดล้อมที่มีความต้องการมากขึ้นตัวเลือกหินแกรนิตหรือเซรามิก SIC ให้ประสิทธิภาพและความทนทานที่เพิ่มขึ้น

แอปพลิเคชัน:

Sic Vacuum Chuck ที่มีรูพรุนส่วนใหญ่ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการจัดการเวเฟอร์รวมถึงในกระบวนการเช่น:

• เวเฟอร์หั่นและตัด
• การผลิตไฟฟ้าโซลาร์เซลล์
• การเติบโตของ epitaxy MOCVD และ CVD
• การฝังไอออน
• กระบวนการออกซิเดชั่นและการแพร่กระจาย

SIC SIC Vacuum Chuck ของ Semicorex โดดเด่นด้วยความแม่นยำความเก่งกาจและความทนทาน ไม่ว่าคุณจะต้องการโซลูชันที่มีน้ำหนักเบาสำหรับการจัดการทั่วไปหรือวัสดุขั้นสูงสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่มีประสิทธิภาพสูงผลิตภัณฑ์ของเรามีตัวเลือกที่หลากหลายเพื่อตอบสนองความต้องการของคุณ ผลิตด้วยมาตรฐานคุณภาพสูงสุดสุญญากาศของเราทำให้มั่นใจได้ว่าการจัดการเวเฟอร์ที่เชื่อถือได้และมีประสิทธิภาพสำหรับแอปพลิเคชันต่าง ๆ ให้ผลลัพธ์ที่สอดคล้องกันทั้งในกระบวนการมาตรฐานและพิเศษ

สำหรับอุตสาหกรรมที่ความมั่นคงของเวเฟอร์และการจัดการที่แม่นยำนั้นมีความสำคัญอย่างยิ่ง Chuck Sic Vacuum ที่มีรูพรุนนำเสนอทางออกที่ดีที่สุด ด้วยการเลือกวัสดุความแม่นยำสูงและความทนทานที่เหนือกว่าจึงเป็นตัวเลือกที่สมบูรณ์แบบสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย