หัวจับสุญญากาศ SiC ที่มีรูพรุน

Semicorex มีรูพรุน SiCหัวจับสูญญากาศเป็นส่วนประกอบที่ขาดไม่ได้ซึ่งสามารถนำมาใช้อย่างกว้างขวางในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง เช่น การทำให้แผ่นบางลง การตัดเป็นชิ้นเล็ก ๆ การบด การขัด การพิมพ์หินด้วยแสง การแกะสลัก แท่นดูดซับสร้างด้วยแผ่นเซรามิก SiC ที่มีรูพรุนซึ่งมีรูพรุนขนาดไมครอนกระจายเท่าๆ กัน ด้วยเส้นผ่านศูนย์กลางรูพรุนที่สม่ำเสมอและอัตรารูทะลุที่ยอดเยี่ยม หัวจับสูญญากาศ SiC ที่มีรูพรุน Semicorex จึงมีเส้นทางก๊าซที่ราบรื่นสำหรับการอพยพออกจากสุญญากาศ ในระหว่างการทำงาน แรงดันลบที่สม่ำเสมอและสม่ำเสมอจะถูกสร้างขึ้นระหว่างหัวจับและเวเฟอร์ ช่วยให้สามารถจับยึดสุญญากาศและปล่อยเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ

ข้อดีของหัวจับสุญญากาศ SiC ที่มีรูพรุน Semicorex 

1. ความแม่นยำในการประมวลผลที่ยอดเยี่ยม

เวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ที่ประมวลผลในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูงมีความบางมาก ดังนั้นแม้การโค้งงอเล็กน้อย การสั่นสะเทือน หรือความเครียดเฉพาะที่ไม่สม่ำเสมอก็อาจนำไปสู่การแตกหักของเวเฟอร์ การบิดงอ และลดความแม่นยำในกระบวนการที่สำคัญ เช่น การพิมพ์หิน เซมิคอร์เร็กซ์SiC ที่มีรูพรุนหัวจับสุญญากาศได้รับการประมวลผลผ่านการเจียรและขัดเงาที่มีความแม่นยำสูง เพื่อให้ได้ความหยาบผิวที่สมบูรณ์แบบที่ Ra ＜ 0.1 μm ซึ่งช่วยให้หัวจับสูญญากาศ SiC ที่มีรูพรุนของ Semicorex มอบพื้นผิวการทำงานที่เหมาะสมที่สุดสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความแม่นยำสูง

2. ความสะอาดสูงและทนต่อการกัดกร่อนสูง

เพื่อให้เป็นไปตามมาตรฐานความสะอาดของเซมิคอนดักเตอร์ที่เข้มงวดอย่างเต็มที่ Semicorex จึงผลิตหัวจับสุญญากาศ SiC ที่มีรูพรุนด้วยวัตถุดิบซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงผ่านการเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง เพื่อให้แน่ใจว่าหัวจับปราศจากการหลุดร่อนของอนุภาคและการปนเปื้อนของโลหะที่เคลื่อนย้ายได้ หัวจับสุญญากาศ SiC แบบมีรูพรุนของ Semicorex ได้รับประโยชน์จากความเสถียรทางเคมีที่ยอดเยี่ยมของ SiC จึงสามารถทนต่อสภาพแวดล้อมการกัดกร่อนที่รุนแรงและไม่ก่อให้เกิดผลพลอยได้เพิ่มเติม ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่สะอาดคุณภาพสูง

3. ความทนทานดีเยี่ยมและความมั่นคงในระยะยาว

หัวจับสุญญากาศที่ใช้ในสายการผลิตจะต้องทนต่อรอบการดูดซับและการปล่อยหลายพันรอบ รวมถึงความผันผวนของอุณหภูมิในระยะยาว สิ่งนี้ทำให้เกิดข้อกำหนดที่สูงมากเกี่ยวกับประสิทธิภาพของวัสดุของหัวจับสุญญากาศ หัวจับสูญญากาศ SiC ที่มีรูพรุน Semicorex มีความแข็งของวัสดุที่โดดเด่นและทนต่อการสึกหรอ พร้อมการขยายตัวเนื่องจากความร้อนที่มั่นคง ไม่แสดงอาการคืบคลานหรือประสิทธิภาพลดลงในสภาวะที่มีอุณหภูมิสูง ซึ่งช่วยยืดอายุการใช้งานได้อย่างมาก และลดการบำรุงรักษาส่วนประกอบและความถี่ในการเปลี่ยน