เรือซีซี

เรือ Semicorex SiC ได้รับการประดิษฐ์ขึ้นอย่างพิถีพิถันจากเซรามิก SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งเป็นวัสดุที่มีชื่อเสียงในด้านความเสถียรทางความร้อนที่ไม่มีใครเทียบได้ ความแข็งแรงเชิงกลที่ยอดเยี่ยม และความเฉื่อยทางเคมีที่ไม่เปลี่ยนแปลง คุณสมบัติเหล่านี้ทำให้เป็นตัวเลือกที่สมบูรณ์แบบสำหรับสภาวะที่เข้มงวดในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

เรือ SiC มีความแข็งแรงเชิงกลและความทนทานที่เหนือชั้น เนื่องมาจากความแข็งของวัสดุและความทนทานต่อการสึกหรอเป็นพิเศษ ซึ่งช่วยให้พวกเขาสามารถทนทานต่อธรรมชาติที่ต้องการของสภาพแวดล้อมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่มีปริมาณงานสูงโดยไม่ยอมแพ้ต่อการสึกหรอที่ค่อยเป็นค่อยไป ซึ่งแตกต่างจากวัสดุอื่นๆ SiC จะรักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างไว้ตลอดเวลา ซึ่งช่วยลดความจำเป็นในการเปลี่ยนบ่อยๆ และลดเวลาหยุดทำงานในการผลิตให้เหลือน้อยที่สุด ซึ่งท้ายที่สุดจะช่วยประหยัดต้นทุนได้อย่างมากสำหรับผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ความเฉื่อยทางเคมีของ SiC ยิ่งทำให้เหมาะสมกับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์มากขึ้น โดยทำให้มีความทนทานสูงต่อการโจมตีทางเคมีจากก๊าซที่เกิดปฏิกิริยาและวัสดุที่ใช้กันทั่วไป เช่น คลอรีนและฟลูออรีน ความต้านทานที่แข็งแกร่งนี้ช่วยให้แน่ใจว่าเรือ SiC จะไม่ปนเปื้อนเวเฟอร์ในระหว่างการประมวลผล ดังนั้นจึงรักษาความบริสุทธิ์และคุณภาพของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่กำลังประดิษฐ์ สำหรับกระบวนการที่ต้องการความต้านทานต่อสารเคมีในระดับที่สูงขึ้นไปอีก เรือ SiC สามารถเคลือบด้วย SiC เพิ่มเติมอีกชั้นหนึ่งได้ เพื่อเป็นเกราะป้องกันเพิ่มเติมจากการถูกโจมตีจากสารเคมี และยกระดับพื้นผิวของเรือให้สูงขึ้นเพื่อลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนของอนุภาค

เซรามิก SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงที่ใช้ในเรือเหล่านี้ถือเป็นสิ่งสำคัญ เนื่องจากการผลิตเซมิคอนดักเตอร์กำหนดให้วัสดุมีสิ่งเจือปนน้อยที่สุด แม้แต่ปริมาณสารปนเปื้อนเพียงเล็กน้อยก็อาจทำให้คุณสมบัติทางไฟฟ้าของเวเฟอร์ลดลง และส่งผลให้เกิดข้อบกพร่องในอุปกรณ์ขั้นสุดท้าย เรือ SiC ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมจากเซรามิก SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงพิเศษเพื่อให้แน่ใจว่าไม่มีสิ่งเจือปนเข้าสู่สภาพแวดล้อมของกระบวนการ แม้ในอุณหภูมิที่สูงขึ้นและสภาวะที่เกิดปฏิกิริยาตามแบบฉบับของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ความบริสุทธิ์นี้ทำให้ความน่าเชื่อถือของ SiC Boats แข็งแกร่งขึ้นสำหรับขั้นตอนกระบวนการที่สำคัญ

ความเข้ากันได้ของเรือ SiC กับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เป็นสิ่งสำคัญยิ่ง ความอเนกประสงค์ของ SiC ช่วยให้สามารถตัดเฉือนได้อย่างแม่นยำเพื่อให้พอดีกับขนาดและการกำหนดค่าเฉพาะที่จำเป็นสำหรับเตาเผาเซมิคอนดักเตอร์และเครื่องปฏิกรณ์ประเภทต่างๆ ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานที่หลากหลาย ตั้งแต่การวิจัยขนาดเล็กและการดำเนินการพัฒนาไปจนถึงสายการผลิตขนาดใหญ่ นอกจากนี้ คุณสมบัติการนำความร้อนและการกระจายความร้อนที่ยอดเยี่ยมของวัสดุยังช่วยให้การควบคุมอุณหภูมิมีประสิทธิภาพมากขึ้นในระหว่างการประมวลผล ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพและผลผลิตของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์อีกด้วย