เรือ SiC

เซมิคอร์เร็กซ์ซิซีเรือคือที่วางเวเฟอร์เซรามิกที่ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมอย่างแม่นยำ ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับกระบวนการแพร่กระจายในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์ ส่วนประกอบประสิทธิภาพสูงเหล่านี้มีบทบาทสำคัญในการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์คุณภาพสูงโดยการยึดเวเฟอร์ซิลิคอนไว้อย่างปลอดภัยระหว่างการแพร่กระจายความร้อนของสารเจือปน เรือ SiC ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายเนื่องจากคุณสมบัติของวัสดุที่เหนือกว่า รวมถึงความบริสุทธิ์สูง ความเสถียรทางความร้อนที่ดีเยี่ยม และความต้านทานต่อการกัดกร่อนของสารเคมี ทำให้เรือเหล่านี้ขาดไม่ได้ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและต้องใช้สารเคมี

การประยุกต์ในกระบวนการแพร่

เรือ SiC ถูกใช้เป็นหลักในกระบวนการแพร่กระจาย ซึ่งเป็นขั้นตอนสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์ กระบวนการนี้เกี่ยวข้องกับการใส่สารเจือปน เช่น ฟอสฟอรัสหรือโบรอน ลงในเวเฟอร์ซิลิคอนเพื่อปรับเปลี่ยนคุณสมบัติทางไฟฟ้า การแพร่กระจายต้องมีการจัดการระบายความร้อนที่แม่นยำและสภาพแวดล้อมที่มีความเสถียรทางเคมี เพื่อให้มั่นใจว่ามีการกระจายตัวของสารเจือปนที่สม่ำเสมอและคุณภาพของเวเฟอร์ที่สม่ำเสมอ ความสามารถในอุณหภูมิสูงและความทนทานของเรือ SiC ทำให้เรือ SiC เหมาะสำหรับการใช้งานนี้ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในเทคโนโลยีเซลล์แสงอาทิตย์ขั้นสูง เช่น TOPCon ชนิด N (หน้าสัมผัสแบบพาสซีฟของอุโมงค์ออกไซด์) และเซลล์แสงอาทิตย์รุ่นต่อไปอื่นๆ

คุณสมบัติที่สำคัญของเรือ ซิซี

ความบริสุทธิ์สูง:

เรือ SiC ผลิตขึ้นด้วยเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงถึง 86.5% ช่วยให้มั่นใจได้ว่ามีการปนเปื้อนของเวเฟอร์น้อยที่สุดในระหว่างกระบวนการแพร่กระจาย โดยรักษามาตรฐานระดับสูงที่จำเป็นสำหรับวัสดุเกรดเซมิคอนดักเตอร์

เสถียรภาพทางความร้อน:

ซิลิคอนคาร์ไบด์การนำความร้อนที่ยอดเยี่ยมและความต้านทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิทำให้เรือสามารถทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็วและรักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างที่อุณหภูมิเกิน 1,000°C ความเสถียรนี้ทำให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้ตลอดรอบการแพร่กระจายหลายรอบ

ทนต่อสารเคมี:

เรือ SiC แสดงให้เห็นความต้านทานที่ดีเยี่ยมต่อการกัดกร่อนของสารเคมี แม้ว่าจะสัมผัสกับก๊าซเจือปนที่เกิดปฏิกิริยา เช่น ฟอสฟีนและโบรอนไตรคลอไรด์ คุณสมบัตินี้รับประกันความทนทานในระยะยาวและลดความเสี่ยงของการปนเปื้อน

วิศวกรรมความแม่นยำ:

การออกแบบเรือ SiC เน้นความแม่นยำสูงเพื่อรองรับเวเฟอร์ที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางต่างๆ ได้อย่างปลอดภัย เทคนิคการผลิตขั้นสูงช่วยให้มั่นใจถึงความสม่ำเสมอและความเข้ากันได้กับระบบการจัดการอัตโนมัติ ปรับปรุงประสิทธิภาพการปฏิบัติงานในสายการผลิตที่มีปริมาณงานสูง

ความทนทานและอายุยืน:

เรือ SiC มีความต้านทานการสึกหรอเป็นพิเศษ ซึ่งช่วยยืดอายุการใช้งานได้อย่างมากเมื่อเทียบกับวัสดุอื่นๆ ความทนทานนี้ช่วยประหยัดต้นทุนสำหรับผู้ผลิตโดยการลดความถี่ในการเปลี่ยน

ตัวเลือกการปรับแต่ง:

เพื่อตอบสนองความต้องการที่หลากหลายของผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์ เรือ SiC สามารถปรับแต่งได้ในแง่ของขนาด ความจุของแผ่นเวเฟอร์ และข้อกำหนดการออกแบบ ความยืดหยุ่นนี้รับประกันความเข้ากันได้กับระบบและกระบวนการแพร่กระจายเฉพาะ

ข้อดีของเรือ SiC ในกระบวนการแพร่กระจาย

เรือ SiC มีข้อได้เปรียบเหนือวัสดุแบบดั้งเดิม เช่น ควอตซ์หรือกราไฟต์:

ลดความเสี่ยงจากการปนเปื้อน:

ความบริสุทธิ์สูงของซิลิคอนคาร์ไบด์ลดการปล่อยสิ่งเจือปนที่อาจส่งผลต่อคุณภาพของเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการแพร่กระจาย

ปรับปรุงประสิทธิภาพของกระบวนการ:

ค่าการนำความร้อนของ SiC ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการกระจายความร้อนที่สม่ำเสมอทั่วทั้งแผ่นเวเฟอร์ทั้งหมด เพิ่มความสม่ำเสมอในการแพร่กระจายของสารเจือปนและลดข้อบกพร่อง

ความปลอดภัยและความน่าเชื่อถือที่เพิ่มขึ้น:

ความแข็งแรงเชิงกลของ SiC และความต้านทานต่อการเสียรูปภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง ช่วยให้การทำงานปลอดภัยยิ่งขึ้น และผลลัพธ์ที่เชื่อถือได้มากขึ้นในสภาพแวดล้อมการแพร่กระจายที่มีความต้องการสูง

ความยั่งยืน:

อายุการใช้งานที่ยาวนานของเรือ SiC ช่วยลดของเสียและสนับสนุนแนวทางปฏิบัติด้านการผลิตที่ยั่งยืนต่อสิ่งแวดล้อม

แอปพลิเคชั่นที่เหนือกว่าการแพร่กระจาย

แม้ว่ากระบวนการแพร่กระจายจะเป็นการใช้งานหลักของเรือ SiC แต่คุณสมบัติที่แข็งแกร่งของพวกมันทำให้เหมาะสำหรับกระบวนการที่มีอุณหภูมิสูงและรุนแรงทางเคมีอื่นๆ ซึ่งรวมถึง:

• ออกซิเดชันและการหลอมในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
• กระบวนการสะสมไอสารเคมี (CVD) สำหรับการเจริญเติบโตของฟิล์มบาง
• กระบวนการที่อุณหภูมิสูงในการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ขั้นสูง

เรือ SiC เป็นองค์ประกอบสำคัญในกระบวนการแพร่ ทำให้สามารถผลิตเซมิคอนดักเตอร์และอุปกรณ์ไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ได้อย่างแม่นยำและเชื่อถือได้ ด้วยคุณสมบัติของวัสดุ ความทนทาน และตัวเลือกการปรับแต่งที่ไม่มีใครเทียบได้ ตัวจับยึดเวเฟอร์เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์เหล่านี้ได้สร้างมาตรฐานใหม่สำหรับประสิทธิภาพในการใช้งานที่อุณหภูมิสูงและต้องใช้สารเคมีมาก เรือ SiC ของ Semicorex ได้รับการออกแบบมาเพื่อตอบสนองความต้องการที่เปลี่ยนแปลงไปของอุตสาหกรรม โดยมอบเครื่องมือที่จำเป็นแก่ผู้ผลิตเพื่อก้าวนำในตลาดที่มีการแข่งขันสูงขึ้น