Sic Cantilever Paddles

Semicorex Sic Cantilever Paddles เป็นส่วนประกอบประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาอย่างแม่นยำสำหรับการจัดการเวเฟอร์และการขนส่งเวเฟอร์ในอุปกรณ์ประมวลผลความร้อนเซมิคอนดักเตอร์ (LPCVD, PECVD, ออกซิเดชันและเตาเผาการแพร่) ไม้คานเท้าแขนเหล่านี้เป็นแพลตฟอร์มสำหรับเวเฟอร์และรูปแบบการสนับสนุนที่จำเป็นซึ่งทำให้มั่นใจได้ว่าการขนส่งเวเฟอร์เปราะที่มั่นคงและเชื่อถือได้ผ่านกระบวนการอุณหภูมิสูงที่รุนแรง (มักจะเกิน 1200 ° C) แผ่นไม้คานที่ผลิตจากซิลิกอนคาร์ไบด์ที่บริสุทธิ์สูง (SIC) ซึ่งให้ความทนทานเชิงกลความเสถียรทางความร้อนและคุณสมบัติต่อต้านการกัดกร่อนสำหรับสภาพแวดล้อมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ซิลิกอนคาร์ไบด์เป็นวัสดุเซรามิกสุดยอดพรีเมี่ยมที่มีค่าการนำความร้อนที่ยอดเยี่ยมการขยายตัวทางความร้อนต่ำและความสามารถในการดำเนินการอย่างน่าเชื่อถือในสภาพแวดล้อมที่เป็นมิตรทางเคมี ซิลิกอนคาร์ไบด์ในไม้คานสามารถช่วยลดการแปรปรวนทางความร้อนได้

 และการเคลื่อนไหวที่ทำให้เวเฟอร์แบนและอยู่ในตำแหน่งการประมวลผลเล็กน้อย ความเสถียรทางความร้อนของเวเฟอร์ในบริบทของไม้คานเท้าแขนมีความสำคัญต่อการลดปัญหาการปนเปื้อนของอนุภาคและการเคลื่อนไหวเชิงกลโดยเฉพาะอย่างยิ่งเมื่อผลิตอุปกรณ์โหนดขั้นสูง ปัญหาเหล่านี้อาจส่งผลให้เกิดการสูญเสียผลผลิตหรือการทำซ้ำราคาแพงและการเปลี่ยนเวเฟอร์

รูปแบบเสาหินของพาย cantilever sic ช่วยปรับปรุงความทนทานเชิงกลและความสม่ำเสมอของความร้อนในขณะที่กำจัดข้อต่อและจุดอ่อนซึ่งโดยทั่วไปสามารถมีอยู่ในคอมโพสิต นอกจากนี้พื้นผิวของไม้พายจะถูกควบคุมโดยเฉพาะและโดยทั่วไปจะขัดกับคุณภาพของกระจกเพื่อลดการสร้างอนุภาคและเป็นชั้นเรียนที่สะอาดมาก

ในกระบวนการแพร่กระจายและออกซิเดชันที่เกี่ยวข้องกับออกซิเจนไอน้ำและก๊าซปฏิกิริยาอื่น ๆ วัสดุทั่วไปอาจล่มสลายหรือเปลี่ยนรูปเมื่อเวลาผ่านไป คุณสมบัติเฉื่อยของสารเคมีโดยธรรมชาติของ SIC ช่วยให้มั่นใจได้ว่าไม้พายจะไม่เกิดขึ้นหรือกัดกร่อนและแนะนำการปนเปื้อนให้กับกระบวนการเนื่องจากการใช้วัสดุที่ไม่เสถียรทำให้เกิดกระบวนการที่มีเสถียรภาพมากขึ้นและผลลัพธ์ที่เชื่อถือได้  ความสมบูรณ์ของโครงสร้างของไม้คาน sic ยังคงมีความเสถียรแม้จะมีการขี่จักรยานอย่างรวดเร็วของการทำความร้อนและการระบายความร้อน ดังนั้นพวกเขาจึงเสนออายุการใช้งานที่ยาวนานโดยมีการบำรุงรักษาลดลงอย่างมากหรือการหยุดทำงานทดแทนส่วนหนึ่ง

นอกจากนี้มวลที่ลดลงและน้ำหนักเบาของพาย sic ช่วยให้การตอบสนองทางความร้อนเร็วขึ้น; ดังนั้นการอนุญาตให้มีความร้อนที่เร็วขึ้นและเวลาเย็นลงทำให้เกิดผลผลิตและประสิทธิภาพการใช้พลังงานเพิ่มขึ้นตัวชี้วัดที่สำคัญทั้งหมดในภูมิทัศน์การแข่งขันของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

SIC Cantilever Paddles สามารถจัดหาได้ในการกำหนดค่าและขนาดที่หลากหลายออกแบบและผลิตเพื่อรองรับการออกแบบเตาและขนาดเวเฟอร์ที่หลากหลายตั้งแต่ 100 มม. ถึง 300 มม. และใหญ่กว่า OEMs และผู้รวมอุปกรณ์ชื่นชมความสอดคล้องและความน่าเชื่อถือของ SIC Paddles เมื่อเวลาผ่านไปสำหรับการปรับใช้ทั้งในกระบวนการส่วนหน้าและส่วนหลัง

Semicorex นำเสนอพายคานเท้าแขนพรีเมี่ยมที่มีการควบคุมอย่างเข้มงวดเกี่ยวกับความบริสุทธิ์ของวัสดุโครงสร้างจุลภาคและความคลาดเคลื่อนของมิติ ความสามารถในกระบวนการขั้นสูงของเราควบคู่ไปกับความรู้ของเราเกี่ยวกับการเปลี่ยนแปลงความร้อนเซมิคอนดักเตอร์ช่วยให้เราสามารถผลิตไม้พายด้วยคุณลักษณะเหล่านี้ที่ตรงหรือเกินมาตรฐานอุตสาหกรรมเพื่อความมั่นคงความสะอาดและความทนทาน เมื่อต้องมีความถูกต้องและเชื่อถือได้เซมิคอร์เป็นสถานที่สำหรับส่วนประกอบ SIC ที่มีคุณภาพ