เรือเซรามิก sic

เรือเซรามิก Semicorex Sic เป็นผู้ให้บริการที่ทันสมัยออกแบบมาเป็นพิเศษเพื่อการขนส่งจัดเก็บและประมวลผลเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์อย่างปลอดภัยในสภาพแวดล้อมทางเคมีและความร้อนที่มีความต้องการมากที่สุด อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ได้ใช้มาตรฐานประสิทธิภาพใหม่อย่างรวดเร็วซึ่งต้องใช้เรือเซรามิก SIC อย่างรวดเร็วเพื่อความน่าเชื่อถือและการปนเปื้อนที่ปราศจากการปนเปื้อนทำให้เกิดความต้องการที่ไม่ยอมแพ้และวิกฤตสำหรับกระบวนการผลิตเวเฟอร์สมัยใหม่

เสถียรภาพและความแข็งแรงของความร้อนที่แข็งแกร่ง

คุณลักษณะที่กำหนดของเรือเซรามิก Sic นั้นมีความเสถียรทางความร้อนสูงมาก เรือเซรามิก SIC สามารถทนต่ออุณหภูมิเกิน 1600 ° C โดยไม่สูญเสียรูปร่างหรือโครงสร้างในระหว่างกระบวนการปั่นจักรยานความร้อนที่ก้าวร้าว เนื่องจากค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำเป็นพิเศษเรือเซรามิก SIC มีแนวโน้มที่จะบิดเบือนและแตกน้อยกว่าทำให้สามารถทนต่อความคลาดเคลื่อนและความปลอดภัยของเวเฟอร์โดยรวมในระหว่างการจัดการภายใต้สภาวะที่แข็ง

ความบริสุทธิ์และความต้านทานทางเคมีสูง

เรือเซรามิก Sic ถูกประดิษฐ์ขึ้นจากซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ เรือเซรามิก Sic ยังมีความทนทานต่อการเสื่อมสภาพของสารเคมีการกัดกร่อนและการกัดเซาะพลาสมา ธรรมชาติเฉื่อยของเรือเซรามิก sic หมายถึงกระบวนการของก๊าซกัดกร่อนสภาพแวดล้อมที่มีปฏิกิริยาสภาพที่เป็นกรดจะไม่มีการปนเปื้อนจากเรือหรือไม่มีอะไรละลายได้เพื่อเป็นอันตรายต่อกระบวนการทำงาน พื้นผิวที่ไม่ปนเปื้อนของเรือเซรามิก SIC ทำให้ไม่มีการสร้างอนุภาคหรือการชะล้างไอออนดังนั้นพื้นผิวเวเฟอร์จะไม่ถูกทำลายโดยสิ่งสกปรกที่ขัดขวางประสิทธิภาพของอุปกรณ์หรือผลผลิต

วิศวกรรมความแม่นยำสำหรับการจัดการเวเฟอร์ที่ปลอดภัยและปลอดภัย

เรือเซรามิก SIC ผลิตขึ้นภายในความคลาดเคลื่อนอย่างแน่นหนาช่วยให้พวกเขาสามารถจัดการเวเฟอร์ขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางต่าง ๆ รวมถึง 100 มม., 150 มม., 200 มม., 300 มม. และอื่น ๆ การออกแบบโครงสร้างของเรือ SIC ให้ความเรียบที่ยอดเยี่ยมความขนานและขนาดสล็อตสม่ำเสมอเพื่อรักษาแนวเวเฟอร์ที่เหมาะสมและปกป้องขอบของเวเฟอร์เมื่อถ่ายโอนไปยังกระบวนการหรือเครื่องมืออื่น เรือ SIC ทุกลำสามารถออกแบบด้วยขนาดที่กำหนดเองเพื่อให้ตรงกับชุดเครื่องมือหรือตรงตามข้อกำหนดระบบอัตโนมัติใด ๆ

อายุการใช้งานที่ยาวนานและคุ้มค่ามากขึ้น

SIC แทนที่วัสดุแบบดั้งเดิม (ควอตซ์, อลูมินา) ด้วยความแข็งแรงเชิงกลที่ดีขึ้นอย่างมีนัยสำคัญความทนทานต่อการแตกหักและความต้านทานการกระแทกด้วยความร้อน ความทนทานในระดับนี้แปลว่าอายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้นก่อนที่จะ "ล้มเหลว" การเปลี่ยนน้อยลงอย่างมีนัยสำคัญในระหว่างการดำเนินการและลดต้นทุนการเป็นเจ้าของทั้งหมด ความสอดคล้องของประสิทธิภาพจากความทนทานของ SIC จะลดเวลาลงและเพิ่มความเร็วในการรับส่งข้อมูลในสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

เปิดแอปพลิเคชันในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์

เรือเซรามิก sic มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ส่วนหน้าเช่น:

การสะสม LPCVD และ PECVD

ออกซิเดชั่นความร้อน

การฝังไอออน

การหลอมและการแพร่กระจาย

การทำความสะอาดเวเฟอร์และการประมวลผลทางเคมี

มือจับเซรามิก SIC มีแอพพลิเคชั่นการประมวลผลที่เข้ากันได้ทั้งในชั้นบรรยากาศและห้องสูญญากาศทำให้เป็นตัวเลือกที่เหมาะสำหรับโรงหล่อและ Fabs ที่ต้องการลดและลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนในขณะที่เพิ่มประสิทธิภาพการผลิต