แรงป้อนเวเฟอร์ขนาดใหญ่ แป้นพายเท้าแขนเซรามิก SiC ซิลิกอนคาร์ไบด์ เหมาะสำหรับหุ่นยนต์ระบบการโหลดและการจัดการอัตโนมัติ เนื่องจากมีสมรรถนะที่มั่นคง ไม่เปลี่ยนรูปในอุณหภูมิสูง และมีแรงโหลดเวเฟอร์ขนาดใหญ่ Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน
เนื่องจากส่วนของไม้พายคานยื่นมีความเสถียรโดยไม่มีการเสียรูป จึงเป็นไปได้ที่จะสร้างแผ่นเวเฟอร์ขนาดใหญ่ขึ้นโดยใช้ท่อเตาเผาที่มีอยู่ ไม้พายคานยื่นแบบเซรามิก SiC สามารถใช้กับ LPCVD ได้โดยอาศัยค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนที่คล้ายกันกับการเคลือบ LPCVD ซึ่งช่วยยืดอายุการบำรุงรักษาและวงจรการทำความสะอาดได้อย่างมาก และลดมลพิษได้อย่างมาก
เราสามารถผลิตผลิตภัณฑ์ตามแบบและสภาพแวดล้อมการทำงานของคุณ
คุณสมบัติ:
โหลดขนาดใหญ่
การนำความร้อนต่ำ
ทนต่ออุณหภูมิสูง