ไม้พายคานยื่นแบบเซรามิก SIC

แป้นพายยื่นแบบเซรามิก Semicorex SiC เป็นส่วนประกอบประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาสำหรับเตาเผาที่ใช้ความร้อนในกระบวนการผลิตในด้านต่างๆ เช่น การผลิตเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์ Semicorex คัดสรรวัสดุซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงอย่างระมัดระวัง และใช้กระบวนการผลิตที่มีความแม่นยำระดับชั้นนำของอุตสาหกรรม รอคอยที่จะซื้อผลิตภัณฑ์และบริการคุณภาพสูงของเรา

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

เซมิคอร์เร็กซ์ไม้พายคานยื่นแบบเซรามิก SICเป็นส่วนประกอบสำคัญในการเคลื่อนย้ายพาหะเวเฟอร์เข้าและออกจากเตาเผา มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์การประมวลผลด้วยความร้อน เช่น เตาเผาออกซิเดชัน การแพร่กระจาย และ LPCVD (การสะสมไอสารเคมีความดันต่ำ) ในการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์และเซมิคอนดักเตอร์

เนื่องจากความแข็งแรงเชิงกลที่ดีเยี่ยม ความคงตัวทางความร้อน ความต้านทานต่ออุณหภูมิสูง ความต้านทานต่อการเกิดออกซิเดชัน ความต้านทานการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ และความต้านทานการกัดกร่อนของสารเคมีของซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เกิดปฏิกิริยา (RBSIC) จึงเหมาะสำหรับการผลิตไม้พายซิลิโคนคาร์ไบด์ขนาดใหญ่

เซมิคอร์เร็กซ์เอสไอซี เซรามิคไม้พายคานยื่นมีความสามารถในการรับน้ำหนักสูงจากความแข็งแรงเชิงกลโดยธรรมชาติและความแข็งแกร่งของวัสดุซิลิกอนคาร์ไบด์พันธะปฏิกิริยา (RBSiC) คุณภาพสูง แพดเดิลเหล่านี้สามารถรองรับภาระหนักของเวเฟอร์ซิลิคอนได้ โดยปรับปริมาณงานให้เหมาะสมสำหรับรอบการแพร่กระจายแต่ละรอบ และช่วยในการปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิต

คุณสมบัติของวัสดุที่เหนือกว่าของซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เชื่อมด้วยปฏิกิริยาช่วยให้ไม้พายคานยื่นแบบเซรามิก SIC มีเสถียรภาพที่ดีเยี่ยมในสภาพแวดล้อมการทำงานที่มีอุณหภูมิสูง ทำให้มั่นใจได้ถึงจุดรวมศูนย์ของเวเฟอร์ซิลิคอนและท่อเตาหลอม ทำให้กระบวนการต่างๆ เช่น การแพร่กระจายและการสร้างฟิล์มมีความสม่ำเสมอมากขึ้น ความเสถียรนี้หลีกเลี่ยงการเสียรูปหรือความเสียหายต่อแป้นพายยื่นของซิลิกอนคาร์ไบด์ที่เกิดจากอุณหภูมิสูงและภาระหนักได้อย่างมีประสิทธิภาพ ช่วยลดความเสี่ยงที่จะเกิดความเสียหายต่อเวเฟอร์ซิลิคอนหรืออุปกรณ์ขัดข้อง

ไม้พายยื่นแบบเซรามิก Semicorex SiC ใช้กระบวนการพิมพ์ 3 มิติแบบชิ้นเดียว ซึ่งเป็นเครื่องมือสำคัญในการรักษาความแม่นยำของมิติและความสม่ำเสมอของรูปร่างของส่วนประกอบ การออกแบบแป้นพายคานยื่นแบบเซรามิก SiC นี้ยังรับประกันความเข้ากันได้อย่างราบรื่นกับระบบเตากระจาย โครงสร้างคานยื่นที่แข็งแรงช่วยให้การถ่ายโอนราบรื่นไร้การสั่นสะเทือน ลดโอกาสที่แผ่นเวเฟอร์จะแตกหรือเบี่ยงเบนเมื่อทำการขนถ่าย

คุณภาพเป็นสิ่งสำคัญที่สุดสำหรับ Semicorex ไม้พายซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เสร็จแล้วทั้งหมดจะต้องผ่านขั้นตอนการทดสอบหลายขั้นตอน รวมถึงการตรวจสอบความแม่นยำของมิติ การประเมินคุณสมบัติของวัสดุ เพื่อรับประกันคุณภาพที่เหนือกว่า หากคุณมีความต้องการซื้อใด ๆ โปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา