เรือเวเฟอร์เซรามิก SiC

เรือเวเฟอร์เซรามิก Semicorex SiC เป็นโซลูชันซิลิคอนคาร์ไบด์ประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาเพื่อรองรับและขนส่งเวเฟอร์อย่างปลอดภัยในระหว่างการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ล้ำสมัย ด้วยข้อได้เปรียบที่ยอดเยี่ยมเหล่านี้ จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์อุณหภูมิสูงที่แม่นยำ เช่น กระบวนการออกซิเดชัน การแพร่กระจาย และ CVD

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

การเลือกเรือเวเฟอร์ที่เชื่อถือได้และทนทานถือเป็นสิ่งสำคัญเพื่อให้มั่นใจถึงความเสถียรของกระบวนการและผลผลิตของเวเฟอร์ในระหว่างสภาวะการทำงานที่มีอุณหภูมิสูงและมีการกัดกร่อนสูง เซมิคอร์เร็กซ์เซรามิก SiCเรือเวเฟอร์เป็นตัวเลือกที่เหมาะสมที่สุดสำหรับวัตถุประสงค์เหล่านี้โดยการประมวลผลข้อดีหลายประการ รวมถึงการบูรณาการสูง ความเสถียรสูง ทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการสึกหรอ และอายุการใช้งานที่ยาวนาน

SiC ceramic wafer boats

คัดสรรวัตถุดิบระดับพรีเมี่ยม

การควบคุมคุณภาพของ Semicorexเรือเวเฟอร์เซรามิก SiCเริ่มต้นด้วยการคัดเลือกวัตถุดิบอย่างเข้มงวด เรือเวเฟอร์เซรามิก Semicorex SiC ทำจากผงซิลิกอนคาร์ไบด์ระดับเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความบริสุทธิ์สูงผ่านการเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง ด้วยวัตถุดิบระดับพรีเมียม ทำให้ได้ประสิทธิภาพที่โดดเด่นดังต่อไปนี้

1. มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษและการปนเปื้อนของโลหะต่ำ

2. โครงสร้างวัสดุที่มีความหนาแน่น ลดการปนเปื้อนของแผ่นเวเฟอร์ที่เกิดจากการไหลของอนุภาค

3. ทนต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยมกับพลาสมา กรดแก่ และด่าง

4. ความแข็งสูงและความแข็งแรงทางกล ทนต่อการสึกหรอและรอยขีดข่วน.

5. เสถียรภาพทางความร้อนที่โดดเด่น ไม่มีการเสียรูปหรือการคืบคลานที่ 1250°C

6. ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อนได้ดีเยี่ยม ลดความเครียดจากความร้อนจากการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว

การออกแบบที่ปรับแต่งอย่างพิถีพิถัน

เรือเวเฟอร์เซรามิก Semicorex SiC เข้ากันได้ดีกับ OEM เตาเผาชั้นนำหลายรายในอุตสาหกรรม เช่น TEL, ASM และ Kokusai Electric Semicorex นำเสนอโซลูชันที่ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเฉพาะสำหรับลูกค้าอันทรงคุณค่าของเรา โดยรองรับการปรับแต่งขนาดของเรือเวเฟอร์ ระยะพิทช์ของร่อง ความลึกของร่อง โปรไฟล์ของร่อง (รูปตัว V หรือรูปตัว U) และมุมที่สอดคล้องกันเพื่อให้เข้ากันได้อย่างสมบูรณ์แบบกับอุปกรณ์และข้อกำหนดในการประมวลผลของคุณ

ความแม่นยำของเครื่องจักรที่แม่นยำ

ด้วยอุปกรณ์เครื่องจักรขั้นสูงและเทคโนโลยีการประมวลผลที่สมบูรณ์ Semicorex สามารถควบคุมขนาดและความคลาดเคลื่อนของเรือเวเฟอร์เซรามิก SiC ได้อย่างเข้มงวด การควบคุมขนาดที่มีความแม่นยำสูงนี้ช่วยให้มั่นใจได้ว่าเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์จะอยู่ในตำแหน่งที่มั่นคงระหว่างการทำงาน ซึ่งป้องกันความเสียหายของเวเฟอร์ที่เกิดจากการเลื่อนหรือการเอียงได้อย่างมีประสิทธิภาพ หลังจากการตัดเฉือนอย่างแม่นยำ ช่องที่เว้นระยะเท่ากันของเรือเวเฟอร์เซรามิก SiC ช่วยให้มั่นใจได้ว่าเวเฟอร์แต่ละตัวได้รับความร้อนและทำปฏิกิริยาอย่างเท่าเทียมกันในระหว่างกระบวนการออกซิเดชัน การแพร่กระจาย และ CVD ซึ่งมีส่วนช่วยอย่างมากในการปรับปรุงความสม่ำเสมอของกระบวนการและผลผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์

แท็กยอดนิยม: เรือเวเฟอร์เซรามิก SiC จีน ผู้ผลิต ผู้จำหน่าย โรงงาน กำหนดเอง จำนวนมาก ขั้นสูง ทนทาน

แท็กสินค้า

หมวดหมู่ที่เกี่ยวข้อง