ผู้ให้บริการเวเฟอร์ที่เคลือบด้วย sic

Semicorex SIC Coated Wafer Carriers เป็นส่วนประกอบขั้นสูงที่สนับสนุนเวเฟอร์สำหรับกระบวนการอุณหภูมิสูงในแอปพลิเคชันเซมิคอนดักเตอร์เช่นการเจริญเติบโตของ epitaxial การแพร่กระจายและ CVD ผู้ให้บริการให้ประโยชน์เชิงโครงสร้างจากกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงรวมกับประโยชน์พื้นผิวสูงสุดโดยใช้ความหนาแน่นและสม่ำเสมอการเคลือบ SICเพื่อความเสถียรทางความร้อนที่เหมาะสมความต้านทานทางเคมีและความแข็งแรงเชิงกลภายใต้สภาวะการประมวลผลที่ยากลำบาก

แกนกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงสำหรับการนำความร้อนที่เหมาะสมที่สุด

ผู้ให้บริการเวเฟอร์ที่เคลือบด้วย SIC เป็นวัสดุพื้นผิวของเกรนที่มีขนาดใหญ่เป็นพิเศษกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูง มันเป็นตัวนำความร้อนที่มีประสิทธิภาพทั้งแสงและเครื่องจักรสามารถประดิษฐ์เป็นรูปทรงเรขาคณิตที่ซับซ้อนซึ่งต้องการขนาดของเวเฟอร์ที่ไม่ซ้ำกันและปัจจัยกระบวนการ กราไฟท์ให้ความร้อนสม่ำเสมอที่พื้นผิวเวเฟอร์ จำกัด การเกิดขึ้นของการไล่ระดับสีด้วยความร้อนและข้อบกพร่องในการประมวลผลความร้อน

การเคลือบ SIC หนาแน่นสำหรับการป้องกันพื้นผิวและความเข้ากันได้ของกระบวนการ

ผู้ให้บริการกราไฟท์ถูกเคลือบด้วยความบริสุทธิ์สูง CVD ซิลิกอนคาร์ไบด์ การเคลือบ SIC ให้การป้องกันที่ผ่านไม่ได้และไม่สามารถป้องกันรูพรุนได้จากการกัดกร่อนการออกซิเดชั่นและการปนเปื้อนของก๊าซจากกระบวนการเช่นไฮโดรเจนคลอรีนและไซเลน ผลลัพธ์ที่ได้คือผู้ให้บริการที่มีส่วนต่ำและมีความแข็งแกร่งที่ไม่ลดระดับหรือสูญเสียความเสถียรของมิติเลือกที่จะอยู่ภายใต้วัฏจักรความร้อนจำนวนมากและแสดงถึงศักยภาพที่ลดลงอย่างมีนัยสำคัญสำหรับการปนเปื้อนของแผ่นเวเฟอร์

ประโยชน์และคุณสมบัติที่สำคัญ

ความต้านทานความร้อน: การเคลือบ SIC มีความเสถียรต่ออุณหภูมิเกิน 1600 ° C ซึ่งได้รับการปรับให้เหมาะสมสำหรับความต้องการ epitaxy และการแพร่กระจายที่อุณหภูมิสูง

ทนต่อสารเคมีที่ยอดเยี่ยม: ทนต่อก๊าซกระบวนการกัดกร่อนและการทำความสะอาดสารเคมีทั้งหมดและช่วยให้ชีวิตที่ยาวนานขึ้นและหยุดทำงานน้อยลง

การสร้างอนุภาคต่ำ: พื้นผิว SIC ช่วยลดการหลุดพ้นและการหลั่งของอนุภาคและรักษาสภาพแวดล้อมของกระบวนการที่มีความสำคัญต่อผลผลิตของอุปกรณ์

การควบคุมมิติ: ออกแบบมาอย่างแม่นยำเพื่อปิดความคลาดเคลื่อนเพื่อให้แน่ใจว่าการรองรับเวเฟอร์สม่ำเสมอเพื่อให้สามารถจัดการกับเวเฟอร์โดยอัตโนมัติ

การลดต้นทุน: วงจรชีวิตที่ยาวนานขึ้นและความต้องการการบำรุงรักษาที่ลดลงทำให้ต้นทุนการเป็นเจ้าของ (TCO) ลดลงต่ำกว่ากราไฟท์แบบดั้งเดิมหรือผู้ให้บริการเปล่า

แอปพลิเคชัน:

ผู้ให้บริการเวเฟอร์ที่เคลือบด้วย SIC มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์พลังงานสารกึ่งตัวนำ (เช่น GaN, SIC), MEMS, LED และอุปกรณ์อื่น ๆ ที่ต้องใช้การประมวลผลอุณหภูมิสูงในสภาพแวดล้อมทางเคมีที่ก้าวร้าว พวกเขามีความสำคัญอย่างยิ่งในเครื่องปฏิกรณ์ epitaxial ที่ความสะอาดของพื้นผิวความทนทานและความสม่ำเสมอของความร้อนมีผลโดยตรงต่อคุณภาพของเวเฟอร์และประสิทธิภาพการผลิต

การปรับแต่งและการควบคุมคุณภาพ

เซมิคอร์สsic เคลือบผู้ให้บริการเวเฟอร์ผลิตภายใต้โปรโตคอลการควบคุมคุณภาพที่เข้มงวด นอกจากนี้เรายังมีความยืดหยุ่นด้วยขนาดและการกำหนดค่ามาตรฐานและเราสามารถโซลูชันวิศวกรที่กำหนดเองที่ตรงตามความต้องการของลูกค้า ไม่ว่าคุณจะมีรูปแบบเวเฟอร์ขนาด 4 นิ้วหรือ 12 นิ้วเราสามารถเพิ่มประสิทธิภาพของผู้ให้บริการเวเฟอร์สำหรับเครื่องปฏิกรณ์แนวนอนหรือแนวตั้ง, การประมวลผลแบบแบทช์หรือเวเฟอร์เดี่ยวและสูตร epitaxy เฉพาะ