ท่อ sic

Semicorex SIC ท่อเป็นชิ้นส่วนเซรามิกสำหรับระบบเตาเผาเซมิคอนดักเตอร์  พวกเขามีคุณสมบัติที่เป็นเอกลักษณ์ซึ่งรวมถึงการส่งผ่านความร้อนสูงและความต้านทานอุณหภูมิสูงและสารเคมีที่จำเป็นในการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ซึ่งมีสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูงและสภาพแวดล้อมทางเคมีที่คาดหวัง

ท่อ Semicorex sic ใช้เม็ดละเอียดที่มีความบริสุทธิ์สูงซิลิกอนคาร์ไบด์ซึ่งผลิตขึ้นเพื่อให้มีความเสถียรทางกลอุณหภูมิสูงเป็นผลมาจากวิธีการเผาและการตกผลึกขั้นสูงและเทคนิคการตกผลึก การเปิดใช้งาน SIC ที่มีประสิทธิภาพสูงส่งผลให้เกิดความแข็งแรงเชิงกลที่ยอดเยี่ยมและการเก็บรักษาเสถียรภาพทางความร้อนที่อุณหภูมิการทำงานสูง SIC มีความแข็งพิเศษที่ช่วยลดการสึกหรอหรือการเสียรูปที่อาจเกิดขึ้น  นอกจากนี้คุณลักษณะที่เกี่ยวข้องกับคุณสมบัติ SIC นั้นมีประสิทธิภาพร่วมกันของเชื้อเพลิงต่ำของการขยายตัวทางความร้อนมีประโยชน์เนื่องจาก จำกัด ความเครียดจากความร้อนเนื่องจากจะมีข้อกำหนดสำหรับการปั่นจักรยานวัสดุนี้ระหว่างความร้อนสูงและต่ำ ในการพิจารณาทั้งหมดเหล่านี้พวกเขามียูทิลิตี้พิเศษสำหรับการใช้งานในอุดมคติในเตาเผาการแพร่กระจายเตาหลอมออกซิเดชั่นและระบบ LPCVD/PECVD เพื่อรักษาเงื่อนไขกระบวนการที่มั่นคงสูงสุดเป็นประโยชน์ในการกำจัดหรือ จำกัด ข้อบกพร่องที่เป็นตัวชี้วัดที่เกี่ยวข้องกับเวเฟอร์หรือวัสดุที่มีความเสถียรสูง

ยูทิลิตี้ที่สำคัญอีกอย่างของท่อ SIC คือโปรไฟล์การนำความร้อนสูงในสภาวะเฉพาะและการออกแบบเตาเผาที่ใช้บังคับเพื่อสร้างอัตราที่สูงของตัวนำและที่สำคัญการกระจายอุณหภูมิที่สม่ำเสมอและมั่นคงทั่วกระบวนการ  พฤติกรรมที่เชื่อถือได้นี้อนุญาตให้เวเฟอร์ได้สัมผัสกับการกระจายอุณหภูมิกึ่งเท่ากันในช่วงเวลาที่เหมาะสมและนอกจากนี้เพื่อ จำกัด การไล่ระดับความร้อนเพื่อลดการบิดเบี้ยวที่บิดเบี้ยวและ/หรือเวเฟอร์ที่บกพร่องในขณะที่ปรับปรุงสภาพการสะสมของฟิล์ม

ความเสถียรทางเคมีและความต้านทานเป็นอีกปัจจัยหนึ่งที่สำคัญ  ในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์หลอดเตาจะได้รับอิทธิพลของก๊าซที่มีปฏิกิริยาสูงรวมถึงออกซิเจนไฮโดรเจนแอมโมเนียและฮาโลเจนทั้งหมดซึ่งสามารถย่อยสลายวัสดุทั่วไปในแบบที่รวดเร็ว โครงสร้างจุลภาคที่หนาแน่นและไม่มีรูพรุนพร้อมกับธรรมชาติของ SIC ที่เฉื่อยทางเคมีปกป้องจากการเกิดออกซิเดชันและการกัดกร่อนในขณะที่ส่งมอบประสิทธิภาพการทำงานและเชิงกลในสภาพแวดล้อมกระบวนการที่รุนแรง  ความทนทานของเตาหลอม SIC ช่วยให้พวกเขารักษาความสมบูรณ์ของรูปแบบและความแม่นยำมิติในระยะเวลานานซึ่งเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการควบคุมกระบวนการและความมั่นคง

ท่อ SIC สามารถผลิตได้ในหลากหลายขนาดและความหนาของผนังรูปทรงเรขาคณิตเพื่อให้พอดีกับการออกแบบเตาเผาและความต้องการกระบวนการ  ลักษณะการตัดเฉือนที่แม่นยำยังคงอยู่ในระหว่างการออกแบบและการผลิตท่อ SIC เพื่อให้ความคลาดเคลื่อนในการปฏิบัติงานสามารถแน่นด้วยพื้นผิวภายในที่ราบรื่นและศูนย์กลางที่ยอดเยี่ยมเพื่อรักษาสมดุลของการไหลของก๊าซลามินาร์และโปรไฟล์ความร้อนสม่ำเสมอ การขัดผิวและการเคลือบผิวสามารถให้เป็นตัวเลือกการรักษาที่จะช่วยเพิ่มประสิทธิภาพโดยการลดการสร้างอนุภาคและปรับปรุงความต้านทานการกัดกร่อน

ท่อ SIC มีข้อได้เปรียบในการดำเนินงานและค่าใช้จ่ายที่ชัดเจนเมื่อเทียบกับวัสดุทางเลือกเช่นท่อควอตซ์หรืออลูมินา  ค่าใช้จ่ายเริ่มต้นสำหรับส่วนประกอบ SIC อาจสูงขึ้นเล็กน้อย แต่อายุการใช้งานของผลิตภัณฑ์การลดลงของการแตกหักและความต้องการการบำรุงรักษาที่ลดลงส่งผลให้ต้นทุนการเป็นเจ้าของโดยรวมซึ่งต่ำกว่าต้นทุนทางเลือกและท่อ

เพื่อสรุป semicorexsicท่อเป็นตัวเลือกที่ดีที่สุดสำหรับการใช้งานเตาเผาเซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากให้ประสิทธิภาพความร้อนที่ดีที่สุดความแข็งแรงเชิงกลความต้านทานทางเคมีและความน่าเชื่อถือสำหรับสภาพแวดล้อมการผลิตที่ต้องการ วัสดุนี้ช่วยปรับปรุงความมั่นคงของกระบวนการและช่วยในการประหยัดต้นทุนและประสิทธิภาพทางถนน (เช่นลดการใช้พลังงาน) ท่อ SIC เป็นวัสดุพื้นฐานสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ทันสมัย