ไลเนอร์ท่อกระบวนการ SiC

ท่อไลเนอร์สำหรับกระบวนการ SiC มอบสภาพแวดล้อมที่มั่นคงและเฉื่อยสำหรับการแปรรูปและการเติบโตของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ เช่น เวเฟอร์ซิลิคอน โดยทั่วไปแล้ว ไลเนอร์เหล่านี้จะใช้ภายในโซนปฏิกิริยาของเตาเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งการควบคุมอุณหภูมิ การไหลของก๊าซ และปฏิกิริยาเคมีอย่างแม่นยำมีความสำคัญสูงสุด

ท่อซับในสำหรับกระบวนการ SiC ผลิตจากซิลิคอนคาร์ไบด์คุณภาพสูง ซึ่งขึ้นชื่อในด้านการนำความร้อนที่ยอดเยี่ยม มีความแข็งแรงสูง และทนทานต่อการกัดกร่อนของสารเคมี วัสดุนี้รับประกันความทนทานและอายุการใช้งานยาวนานภายใต้สภาวะการประมวลผลที่รุนแรง ด้วยความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยม SiC Process Tube Liners จึงสามารถทนต่ออุณหภูมิที่สูงมากซึ่งพบในระหว่างกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้ ความเสถียรนี้ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการกระจายความร้อนที่สม่ำเสมอและสม่ำเสมอ ซึ่งจำเป็นสำหรับการควบคุมการเจริญเติบโตและการทับถมของวัสดุอย่างแม่นยำ

ท่อซับในสำหรับกระบวนการ SiC มีบทบาทสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เนื่องจากให้สภาพแวดล้อมที่มีความเสถียร มีความบริสุทธิ์สูง และมีเสถียรภาพทางความร้อนสำหรับการเจริญเติบโตและการแปรรูปวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ที่แม่นยำ คุณสมบัติพิเศษทำให้เป็นส่วนประกอบที่ขาดไม่ได้ในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง