แผ่นสะท้อนแสง SiC

ตัวสะท้อนแสง Semicorex SiC มีชื่อเสียงในด้านการนำความร้อนที่ยอดเยี่ยม ค่าการสะท้อนแสงสูง และความทนทานที่ไม่มีใครเทียบได้ ทำให้เป็นสิ่งที่ขาดไม่ได้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

ตัวสะท้อนแสง SiC เป็นส่วนประกอบทางแสงเฉพาะทางที่ออกแบบมาเพื่อสะท้อนแสงและพลังงานความร้อนในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) เป็นสารประกอบของซิลิคอนและคาร์บอน ซึ่งขึ้นชื่อในด้านคุณสมบัติทางกายภาพและเคมีที่โดดเด่น ตัวสะท้อนแสงที่ทำจาก SiC ได้รับการออกแบบมาเพื่อทนต่อสภาวะที่รุนแรง ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานที่มีอุณหภูมิสูง สภาพแวดล้อมที่มีฤทธิ์กัดกร่อน และโฟตอนพลังงานสูง

ข้อดีที่สำคัญที่สุดอย่างหนึ่งของตัวสะท้อน SiC คือการนำความร้อนที่เหนือกว่า วัสดุ SiC มีอัตราการนำความร้อนสูงกว่าวัสดุแบบดั้งเดิม เช่น อะลูมิเนียมออกไซด์ (Al2O3) หรือควอตซ์หลายเท่า คุณสมบัตินี้ช่วยให้กระจายความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพ ป้องกันความร้อนสูงเกินไป และรับประกันประสิทธิภาพที่มั่นคงแม้ภายใต้สภาวะที่มีอุณหภูมิสูง

ตัวสะท้อนแสง SiC มีความสามารถในการสะท้อนแสงที่ดีเยี่ยม โดยเฉพาะอย่างยิ่งในสเปกตรัมอัลตราไวโอเลต (UV) และอินฟราเรด (IR) การสะท้อนแสงที่สูงนี้ช่วยให้มั่นใจได้ว่าปริมาณแสงสูงสุดจะถูกเปลี่ยนเส้นทางไปยังพื้นที่เป้าหมาย ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพของกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ เช่น การพิมพ์หินด้วยแสง การประมวลผลด้วยความร้อนอย่างรวดเร็ว (RTP) และการสะสมไอสารเคมี (CVD)

ซิลิคอนคาร์ไบด์มีชื่อเสียงในด้านความแข็งและความทนทานต่อการสึกหรอ ตัวสะท้อนแสง SiC มีความทนทานสูง สามารถทนต่อแรงเค้นเชิงกล และทนทานต่อการกัดกร่อนของสารเคมี ความทนทานนี้ส่งผลให้มีอายุการใช้งานยาวนานขึ้น ลดความถี่ในการเปลี่ยนและบำรุงรักษา และลดต้นทุนรวมในการเป็นเจ้าของในที่สุด