มือหุ่นยนต์ sic

มือหุ่นยนต์ Semicorex Sic เป็นเอฟเฟกต์สุดท้ายที่ออกแบบมาสำหรับแอปพลิเคชันการถ่ายโอนเวเฟอร์หุ่นยนต์ในสาขาการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ทำด้วยวัสดุที่มีประสิทธิภาพสูงเราออกแบบมือหุ่นยนต์เหล่านี้ด้วยเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC) เพื่อให้ตารางความร้อนสูงสุดความเสถียรทางเคมีและความแข็งแรงเชิงกลสำหรับสภาพแวดล้อมที่รุนแรงมากขึ้นของการผลิตเวเฟอร์หรือการจัดการ

ศูนย์กลางของมือหุ่นยนต์ sic ของเราคือความก้าวหน้าที่เป็นกรรมสิทธิ์ของเราซิลิกอนคาร์ไบด์เป็นที่รู้จักกันดีในเรื่องความแข็งสูง (MOHS 9), การนำความร้อนสูงและความต้านทานการกัดกร่อน ซึ่งแตกต่างจากวัสดุดั้งเดิมเช่นอลูมิเนียมหรือสแตนเลส SIC เข้ากันได้กับสภาพแวดล้อมการประมวลผลที่รุนแรงของห้องทำความสะอาดเซมิคอนดักเตอร์รวมถึงอุณหภูมิสูงและก๊าซปฏิกิริยา เรานำเสนอความทนทานในระยะยาวและลดการปนเปื้อนซึ่งสอดคล้องกับความบริสุทธิ์ที่เข้มงวดสำหรับการผลิตเวเฟอร์

อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่มีมือหุ่นยนต์ SIC ใช้การดูดแรงดันลบเพื่อให้ได้เวเฟอร์เช่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์จะถูกดูดซับบนควอตซ์หรือนิ้วเซรามิกโดยใช้หลักการถ้วยดูดตามด้วยการขนส่งโดยใช้แขนแอ็คชั่นกลไกขยายการหมุนและการยก

"ความเร็วสูง" และ "ความสะอาด" เป็นลักษณะหลักของอุปกรณ์จัดการเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ เพื่อให้ตรงกับลักษณะเหล่านี้อุปกรณ์มีข้อกำหนดที่เข้มงวดอย่างมากเกี่ยวกับประสิทธิภาพของส่วนประกอบที่ใช้ เนื่องจากกระบวนการส่วนใหญ่ดำเนินการในสุญญากาศ, อุณหภูมิสูงและสภาพแวดล้อมของก๊าซกัดกร่อน, แขนจัดการที่ใช้ในอุปกรณ์ต้องมีคุณสมบัติทางกายภาพที่ดีเยี่ยมเช่น: ความแข็งแรงเชิงกลสูง, ความต้านทานการกัดกร่อน, ความต้านทานอุณหภูมิสูง, ความต้านทานการสึกหรอ, ความแข็งสูง, ฉนวนและวัสดุเซรามิกขั้นสูง

เซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์มีคุณสมบัติทางกายภาพของพื้นผิวที่หนาแน่นความแข็งสูงความต้านทานการสึกหรอสูงรวมถึงความต้านทานความร้อนที่ดีความแข็งแรงเชิงกลที่ยอดเยี่ยมฉนวนกันความร้อนที่ดีในสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูงความต้านทานการกัดกร่อนที่ดีและคุณสมบัติทางกายภาพอื่น ๆ มันเป็นวัสดุที่ยอดเยี่ยมสำหรับการทำอุปกรณ์การจัดการอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

การตระหนักว่าแพลตฟอร์มหุ่นยนต์แตกต่างกันไปตาม Fabs และผู้ผลิตเครื่องมือมือหุ่นยนต์ SIC ของเรามีให้เลือกหลายขนาดมาตรฐานและสามารถปรับแต่งสำหรับการกำหนดค่าเครื่องมือที่ไม่ซ้ำกัน อินเทอร์เฟซการติดตั้งรูปทรงเรขาคณิตนิ้วและคุณสมบัติการสนับสนุนเวเฟอร์สามารถปรับให้เหมาะกับอุปกรณ์และความต้องการกระบวนการเฉพาะ ไม่ว่าคุณจะถ่ายโอนเวเฟอร์ภายในเครื่องมือคลัสเตอร์ห้องสูญญากาศหรือระบบ Foup มือหุ่นยนต์ของเรารวมเข้ากับแบรนด์หุ่นยนต์ชั้นนำอย่างราบรื่น

หุ่นยนต์ SIC ทุกตัวได้รับการทำความสะอาดการตรวจสอบและขั้นตอนการบรรจุอย่างเข้มงวดเพื่อให้แน่ใจว่าสอดคล้องกับมาตรฐานห้องทำความสะอาดระดับ 1 พื้นผิวที่ไม่มีรูพรุนต่อต้านสแตติกของ SIC ช่วยลดการยึดเกาะของอนุภาคในขณะที่โครงสร้างที่แข็งแกร่งจะต่อต้านไมโครฟิล์มที่อาจนำไปสู่การสร้างอนุภาคเมื่อเวลาผ่านไป สิ่งนี้ทำให้พวกเขาเหมาะสำหรับกระบวนการเวเฟอร์ส่วนหน้าซึ่งแม้แต่การปนเปื้อนเพียงเล็กน้อยก็สามารถนำไปสู่ความล้มเหลวของอุปกรณ์

จากการฝัง epitaxy และไอออนไปจนถึง PVD, CVD และ CMP มือหุ่นยนต์ SIC ได้รับความไว้วางใจในทุกขั้นตอนของการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ความต้านทานที่เหนือกว่าของพวกเขาต่อการช็อกความร้อนและสภาพแวดล้อมในพลาสมาทำให้พวกเขาขาดไม่ได้ในตรรกะขั้นสูงและสายเซมิคอนดักเตอร์พลังงานโดยเฉพาะอย่างยิ่งที่ใช้สารตั้งต้นของแผ่นเวเฟอร์ SIC