ท่อ sic

หลอด Semicorex sic (ท่อเตา SIC) เป็นส่วนประกอบพรีเมี่ยมที่ใช้อย่างมากในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เนื่องจากความเสถียรทางความร้อนในอุดมคติของพวกเขาความแข็งแรงเชิงกลและความต้านทานต่อสารเคมีที่ก้าวร้าวในช่วงการใช้งานที่หลากหลาย หลอด Semicorex sic ได้รับการออกแบบมาเพื่อความอยู่รอดในสภาพที่รุนแรงที่สุดที่เกี่ยวข้องกับการประมวลผลอุณหภูมิสูง หลอด SIC เป็นวัสดุที่ต้องการและเหนือกว่าสำหรับเตาเผาการแพร่กระจายระบบ LPCVD/PECVD และในสภาพแวดล้อมที่ใช้สำหรับการเจริญเติบโตของ epitaxial ซึ่งการปนเปื้อนของวัสดุและความแตกต่างทางความร้อนเป็นข้อควรพิจารณาที่สำคัญ

หลอด Semicorex sic ผลิตจากผง SIC ที่บริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษโดยใช้วิธีการเผาผลาญขั้นสูงและเทคนิคการควบคุมกระบวนการที่รักษาความบริสุทธิ์ของ SIC ผลที่ได้คือหลอด SIC มีค่าการนำความร้อนที่ดีที่สุดลักษณะการขยายตัวทางความร้อนต่ำและมีน้ำหนักกระจายตามความยาวของท่อช่วยลดความเครียดจากความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพแม้เมื่อสัมผัสกับการขี่จักรยานความร้อนอย่างรวดเร็ว ดังนั้นการใช้หลอด SIC ให้ความเคารพสูงในระหว่างกระบวนการอุณหภูมิสูงอย่างต่อเนื่อง (สูงถึง 1600 ° C)-ดังนั้นจึงทำให้มั่นใจได้ถึงความสม่ำเสมอในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ซึ่งเพิ่มประสิทธิภาพโดยรวมในระดับที่สม่ำเสมอ

ข้อได้เปรียบหลักของ SIC คือมันเป็นความเฉื่อยทางเคมี SIC นั้นไม่มีรูพรุน (สอดคล้องกับการให้เกรด ASTM-G654 GP-4) และไม่มีใครเทียบได้เมื่อมันมาถึงการต่อต้านก๊าซกัดกร่อนและสารเคมีปฏิกิริยาที่ใช้ในการพัฒนาเซมิคอนดักเตอร์รวมถึง HCl, NH₃, SIH₄ ฯลฯ ความเสถียรและเวลาการให้บริการที่เพิ่มขึ้นในขณะที่ลดการชะลอตัวของปริมาณงานที่เกี่ยวข้องกับการเปลี่ยนแปลงของหลอดและการเปลี่ยน ประโยชน์ที่สำคัญสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์มีความชัดเจน การใช้หลอด SIC สามารถลดค่าใช้จ่ายทั้งหมดของการเป็นเจ้าของได้ตามระยะเวลาหลายสัปดาห์หรือเป็นเดือนในขณะที่ยังคงความน่าเชื่อถือเนื่องจากเกี่ยวข้องกับกระบวนการอุตสาหกรรม

หลอด Semicorex sic มีขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางความยาวและข้อกำหนดที่กำหนดเองมากมายเพื่อรองรับการออกแบบเตาและข้อกำหนดการประมวลผลที่แตกต่างกัน พื้นผิวด้านในสามารถขัดได้ซึ่งช่วยเพิ่มความสะอาดลดการสร้างอนุภาคและเป็นรายละเอียดที่สำคัญในพื้นที่เซมิคอนดักเตอร์ที่สะอาดเป็นพิเศษ การใช้หลอด Semicorex SIC สามารถช่วยลดความเสี่ยงต่อการปนเปื้อนและมีส่วนช่วยเพิ่มผลผลิตเวเฟอร์ที่เพิ่มขึ้นด้วยความคลาดเคลื่อนที่แน่นหนาและคุณภาพพื้นผิวที่ดีขึ้น

ความเชี่ยวชาญ Semicorex sic รวมถึงการประมวลผลซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นเวลาหลายปีโดยมุ่งเน้นไปที่วิศวกรรมที่แม่นยำและการควบคุมคุณภาพเพื่อให้เป็นไปตามมาตรฐานคุณภาพที่เข้มงวดและต้องการของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ หลอดของเราได้รับการทดสอบและตรวจสอบด้วยการตรวจสอบซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการสร้างความมั่นใจในความบริสุทธิ์ความหนาแน่นและการดำเนินการภายในสภาพแวดล้อมทางความร้อนที่รุนแรงที่สุด Semicorex ยังให้การสนับสนุนด้านเทคนิคและตัวเลือกการออกแบบที่กำหนดเองเพื่อช่วยในการเพิ่มประสิทธิภาพระบบเตาสำหรับแอพพลิเคชั่นเฉพาะ

ไม่ว่าจะเป็นการผลิตชิปลอจิกอุปกรณ์พลังงานหรือออพโตอิเล็กทรอนิกส์หลอดเซมิคอร์ SIC นำเสนอตัวเลือกที่เชื่อถือได้และทนทานสำหรับการประมวลผลอุณหภูมิสูง โดยการเลือกเซมิคอร์คุณไม่เพียง แต่สร้างความมั่นใจในประสิทธิภาพ แต่ยังมีกระบวนการที่มีความเสถียรในระยะยาว