เรือแนวตั้ง sic

เรือแนวตั้ง Semicorex Sic เป็นสายการบินเวเฟอร์ที่ออกแบบมาออกแบบและผลิตเพื่อให้ความเสถียรทางความร้อนความร้อนและสารเคมีสูงสุดสำหรับการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ของเตาเผาในแนวตั้ง สร้างจากความบริสุทธิ์สูงซิลิกอนคาร์ไบด์เราเชื่อว่าพวกเขามีความสมดุลที่ดีที่สุดของความแข็งแรงความทนทานและความสะอาดสำหรับการประมวลผลความร้อนเวเฟอร์ขั้นสูงมากซึ่งระบุว่าเป็นการออกซิเดชั่นการแพร่กระจาย LPCVD และการหลอมในระบบเตาแนวตั้ง

สภาพแวดล้อมการประมวลผลเตาในแนวตั้งต้องการระบบสนับสนุนเวเฟอร์ที่สามารถทนต่อการสัมผัสซ้ำ ๆ ที่อุณหภูมิสูงมักจะเกิน 1,200 ° C และยังคงมีความเสถียรในการลดลงโดยไม่มีปัญหาการปนเปื้อน เรือแนวตั้งของ SIC เก่งในความทนทานของพวกเขาในสถานการณ์เหล่านี้เนื่องจากคุณสมบัติเชิงกลและความร้อนที่แท้จริงของการตกผลึกซ้ำหรือ CVD ซิลิกอนคาร์ไบด์ ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนที่ต่ำมากของพวกเขาทำให้มั่นใจได้ว่าการบิดเบือนหรือการบิดเบือนน้อยที่สุดเนื่องจากการขี่จักรยานความร้อนอย่างรวดเร็ว นอกจากนี้ค่าการนำความร้อนสูงยังนำเสนอความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในท้องถิ่นที่ยิ่งใหญ่ที่สุดในเวเฟอร์ทั้งหมดซึ่งเป็นสิ่งสำคัญสำหรับความสอดคล้องของเวเฟอร์ต่อแวววาวในความหนาของชั้นโปรไฟล์ยาสลบและประสิทธิภาพทางไฟฟ้า แง่มุมที่สำคัญของการผลิตปริมาณสูงในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

เมื่อเปรียบเทียบกับเรือควอตซ์แบบดั้งเดิมเรือแนวตั้ง SIC ให้ความแข็งแรงเชิงกลที่เหนือกว่าและอายุการใช้งานที่ยาวนาน ควอตซ์มีแนวโน้มที่จะเปราะบางและ devitrify เมื่อเวลาผ่านไปโดยเฉพาะอย่างยิ่งในวิชาเคมีที่ก้าวร้าวซึ่งนำไปสู่ต้นทุนทดแทนที่สูงขึ้นและการหยุดชะงักของการผลิตที่อาจเกิดขึ้น ในทางตรงกันข้ามซิลิคอนคาร์ไบด์ยังคงความสมบูรณ์แม้หลังจากได้รับก๊าซกัดกร่อนเป็นเวลานานเช่นคลอรีน, HCl หรือแอมโมเนียซึ่งเป็นเรื่องธรรมดาในการแพร่กระจายและกระบวนการ LPCVD ต่างๆ ความต้านทานการสึกหรอและการเกิดออกซิเดชันที่ยอดเยี่ยมช่วยลดการสร้างอนุภาคได้อย่างมากช่วยปกป้องพื้นผิวเวเฟอร์จากการปนเปื้อนและการก่อตัวของข้อบกพร่อง

เรือแนวตั้ง SIC ยังให้ประโยชน์อย่างมากในแง่ของการประมวลผลที่สะอาดเป็นพิเศษ วัสดุ SIC ที่มีความบริสุทธิ์สูงจะถูกประมวลผลภายใต้ความขยันอย่างเข้มงวดเพื่อลดการติดตามโลหะที่ปนเปื้อนที่สามารถระบุได้ซึ่งสามารถรบกวนการทำงานของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ พื้นผิวเรือแนวตั้งของ SIC นั้นเสร็จสมบูรณ์ด้วยคุณสมบัติที่มีมุมฉากซึ่งช่วยลดโอกาสในการหลั่งอนุภาคขนาดเล็ก พื้นผิว SIC นั้นเฉื่อยทางเคมีและไม่ทำปฏิกิริยากับก๊าซกระบวนการและมีแนวโน้มที่จะปนเปื้อนน้อยกว่า ในแง่นี้เรือแนวตั้ง sic เหมาะอย่างยิ่งสำหรับส่วนหน้าของบรรทัด (Feol) และด้านหลังของการดำเนินการประมวลผลเวเฟอร์ของสาย (beol)

เรือแนวตั้ง sic ยังมีความยืดหยุ่นในการออกแบบ เรือแนวตั้งแต่ละลำสามารถออกแบบเฉพาะเพื่อรองรับเส้นผ่านศูนย์กลางเวเฟอร์หลายตัว (150 มม., 200 มม. หรือ 300 มม. เวเฟอร์) และจำนวนสล็อตและระยะห่างสามารถใช้เพื่อตอบสนองความต้องการของกระบวนการ การตัดเฉือนที่มีความแม่นยำและการควบคุมมิติช่วยให้การจัดตำแหน่งเวเฟอร์ที่เหมาะสมและการรองรับเวเฟอร์ที่เหมาะสมลดโอกาสในการลดความน่าจะเป็นของไมโครสแตนช์หรือรอยแตกของความเครียดในระหว่างการโหลดการประมวลผลและการขนถ่าย นอกจากนี้หากจำเป็นต้องมีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่เหนือกว่าและ / หรือมวลความร้อนน้อยกว่าสำหรับกระบวนการเฉพาะรูปทรงเรขาคณิตที่เหมาะสมและการออกแบบสล็อตอาจรวมอยู่ในการกำหนดค่าเรือแนวตั้ง SIC โดยไม่ต้องเสียสละคุณสมบัติเชิงกลใด ๆ

ข้อได้เปรียบอีกประการหนึ่งคือการบำรุงรักษาและประสิทธิภาพการดำเนินงาน การก่อสร้างที่เข้มงวดของsicเรือแนวตั้งลดเวลาและความถี่ในการทดแทนซึ่งจะช่วยลดการหยุดทำงานหรือค่าใช้จ่ายในการเป็นเจ้าของ ความต้านทานการกระแทกด้วยความร้อนของ SIC ช่วยให้การทำความร้อนและความเย็นสั้นลงเพื่อให้ปริมาณงานที่สูงขึ้นในสายการผลิต การบำรุงรักษาหรือทำความสะอาดเรือแนวตั้ง sic นั้นง่ายมากเช่นกัน วัสดุสามารถทนต่อกระบวนการทำความสะอาดแบบเปียกหรือแห้งแบบดั้งเดิมที่พบได้ทั่วไปในฟาฟฟาคอนดักเตอร์เซมิคอนดักเตอร์เช่นการทำความสะอาดสารเคมีด้วยกรดและการอบอุณหภูมิสูง

ในยุคสมัยใหม่ของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ซับซ้อนนี้ซึ่งการปรับปรุงผลผลิตการควบคุมการปนเปื้อนและความมั่นคงในกระบวนการมีความสำคัญทั้งหมดเรือแนวตั้ง SIC นำเสนอความได้เปรียบทางเทคโนโลยีที่แท้จริง พวกเขาจัดการได้ดีกับความท้าทายทางกายภาพและทางเคมีของการใช้งานเตาเผาในแนวตั้งและมีส่วนร่วมในการเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการโดยรวมโดยการส่งมอบความสมบูรณ์ของเวเฟอร์ผลลัพธ์ที่สอดคล้องกันและอายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้นของอุปกรณ์