เรือบรรทุกเรือ SiC Wafer

Semicorex SiC Wafer Boat Carrier เป็นโซลูชันการจัดการซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ออกแบบมาเพื่อรองรับและขนส่งเรือเวเฟอร์อย่างปลอดภัยในกระบวนการเตาเซมิคอนดักเตอร์ที่อุณหภูมิสูง การเลือก Semicorex หมายถึงการทำงานร่วมกับพันธมิตร OEM ที่เชื่อถือได้ ซึ่งผสมผสานความเชี่ยวชาญด้านวัสดุ SiC อย่างลึกซึ้ง การตัดเฉือนที่มีความแม่นยำ และคุณภาพที่เชื่อถือได้ เพื่อรองรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความเสถียรในระยะยาว*

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

ในภูมิทัศน์ที่พัฒนาอย่างรวดเร็วของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะการผลิตอุปกรณ์จ่ายไฟ SiC และ GaN สำหรับ EV, โครงสร้างพื้นฐาน 5G และพลังงานหมุนเวียน ความน่าเชื่อถือของฮาร์ดแวร์การจัดการเวเฟอร์ของคุณนั้นไม่สามารถต่อรองได้ เรือบรรทุกเรือ Semicorex SiC Wafer แสดงถึงจุดสุดยอดของวิศวกรรมวัสดุ ซึ่งได้รับการออกแบบมาเพื่อแทนที่ส่วนประกอบควอตซ์และกราไฟท์แบบดั้งเดิมในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีความบริสุทธิ์สูง

เหตุใดซิลิคอนคาร์ไบด์จึงเป็นตัวเลือกของอุตสาหกรรม

เนื่องจากโหนดเซมิคอนดักเตอร์หดตัวและขนาดเวเฟอร์เปลี่ยนไปเป็น 200 มม. (8 นิ้ว) ข้อจำกัดด้านความร้อนและเคมีของควอตซ์จึงกลายเป็นปัญหาคอขวด เรือบรรทุกเรือ SiC Wafer ของเราได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมโดยใช้ซิลิกอนคาร์ไบด์เผาหรือ SiC ที่เคลือบ CVD นำเสนอการผสมผสานที่เป็นเอกลักษณ์ของการนำความร้อน ความแข็งแรงเชิงกล และความเฉื่อยทางเคมี

1. เสถียรภาพทางความร้อนที่ยอดเยี่ยม

วัสดุแบบดั้งเดิมมักประสบปัญหา "การทรุดตัว" หรือการเสียรูปเมื่อสัมผัสกับอุณหภูมิที่สูงมากซึ่งจำเป็นสำหรับการแพร่กระจายและการหลอม เรือบรรทุกเรือ SiC Wafer ของเรารักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างที่อุณหภูมิเกิน 1,600°C ความเสถียรทางความร้อนที่สูงนี้ช่วยให้แน่ใจว่าช่องเวเฟอร์ยังคงอยู่ในแนวเดียวกันอย่างสมบูรณ์ ป้องกัน "การสั่น" ของเวเฟอร์หรือการติดขัดระหว่างการถ่ายโอนด้วยหุ่นยนต์อัตโนมัติ

2. มีความบริสุทธิ์สูงและการปนเปื้อนต่ำ

ในสภาพแวดล้อมของห้องปลอดเชื้อ อนุภาคเป็นศัตรูต่อผลผลิต เรือบรรทุกเรือของเราผ่านกระบวนการเคลือบ CVD (Chemical Vapour Deposition) ที่เป็นกรรมสิทธิ์ สิ่งนี้จะสร้างพื้นผิวที่หนาแน่นและไม่มีรูพรุนซึ่งทำหน้าที่เป็นเกราะป้องกันการปล่อยก๊าซเจือปนออกไป ด้วยระดับสิ่งเจือปนของโลหะที่ต่ำมาก ตัวพาของเราจึงมั่นใจได้ว่าเวเฟอร์ของคุณ ไม่ว่าจะเป็นซิลิคอนหรือซิลิคอนคาร์ไบด์ จะปราศจากการปนเปื้อนข้ามระหว่างรอบความร้อนสูงที่สำคัญ

3. CTE ที่ตรงกัน (สัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน)

สาเหตุหลักประการหนึ่งของความเค้นของแผ่นเวเฟอร์และเส้นลื่นคือการขยายตัวทางความร้อนที่ไม่ตรงกันระหว่างตัวพาและแผ่นเวเฟอร์ เรือ SiC ของเราได้รับการออกแบบด้วย CTE ที่ใกล้เคียงกับเวเฟอร์ SiC การซิงโครไนซ์นี้ช่วยลดความเครียดเชิงกลระหว่างขั้นตอนการทำความร้อนและความเย็นอย่างรวดเร็ว (RTP) ซึ่งช่วยเพิ่มผลผลิตแม่พิมพ์โดยรวมได้อย่างมาก

ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิคที่สำคัญ

คุณสมบัติ	ข้อมูลจำเพาะ	ผลประโยชน์
วัสดุ	อัลฟ่า SiC / CVD SiC เผา	ความทนทานสูงสุดและการถ่ายเทความร้อน
อุณหภูมิในการทำงานสูงสุด	สูงถึง 1,800°C	เหมาะสำหรับ SiC Epitaxy และการแพร่กระจาย
ทนต่อสารเคมี	HF, HNO3, KOH, HCl	ทำความสะอาดง่ายและมีอายุการใช้งานยาวนาน
พื้นผิวเสร็จสิ้น	< 0.4μm รา	ลดแรงเสียดทานและการสร้างอนุภาค
ขนาดเวเฟอร์	100 มม. 150 มม. 200 มม	ความอเนกประสงค์สำหรับเส้นสายแบบดั้งเดิมและสมัยใหม่

การใช้งานในการผลิตขั้นสูง

เรือบรรทุกเรือ SiC Wafer ของเราได้รับการปรับให้เหมาะสมสำหรับกระบวนการ "โซนร้อน" ที่มีความต้องการมากที่สุดในโรงงาน:

LPCVD และ PECVD: ความต้านทานสูงต่อสารตั้งต้นทางเคมี ป้องกันไม่ให้เรือเสื่อมคุณภาพ ทำให้มั่นใจได้ถึงอายุการใช้งานชุดกระบวนการที่สม่ำเสมอ
ออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง: SiC ไม่เหมือนกับควอตซ์ โดยจะรักษาความแข็งแกร่งไว้ได้หลายพันรอบ
การแพร่กระจายและการหลอม: ความสม่ำเสมอทางความร้อนที่เหนือกว่าทั่วเรือทำให้มั่นใจได้ว่าแผ่นเวเฟอร์ทุกตัวในชุดจะมีโปรไฟล์ความร้อนที่เหมือนกันทุกประการ
SiC Epitaxy: ออกแบบมาโดยเฉพาะเพื่อให้ทนทานต่อสภาพแวดล้อมที่รุนแรงซึ่งจำเป็นสำหรับการเติบโตของชั้นเอพิแทกเซียลบนพื้นผิว SiC

ความทนทานพบกับความคุ้มค่า

แม้ว่าการลงทุนเริ่มแรกในฮาร์ดแวร์ SiC จะสูงกว่าควอตซ์ แต่ต้นทุนรวมในการเป็นเจ้าของ (TCO) ก็ต่ำกว่าอย่างเห็นได้ชัด โครงใส่ของเราถูกสร้างขึ้นเพื่อให้มีอายุการใช้งานยาวนาน โดยมักจะมีอายุการใช้งานยาวนานกว่าวัสดุแบบเดิมถึง 5 ถึง 10 เท่า ซึ่งช่วยลดความถี่ของการหยุดทำงานของเครื่องมือในการเปลี่ยนชิ้นส่วน และลดความเสี่ยงของความล้มเหลวของเรือที่อาจทำลายเวเฟอร์ราคาแพงทั้งชุด

วางใจกระบวนการของคุณกับวิศวกรรมที่ได้รับการพิสูจน์แล้ว

เราเข้าใจดีว่าในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ "ดีพอ" ไม่เคยเพียงพอ กระบวนการผลิตของเราประกอบด้วยการตรวจสอบขนาด CMM 100% และการทำความสะอาดอัลตราโซนิกที่มีความบริสุทธิ์สูงก่อนบรรจุภัณฑ์สูญญากาศ

ไม่ว่าคุณจะขยายกลุ่มผลิตภัณฑ์จ่ายไฟ SiC ขนาด 200 มม. หรือเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการแบบเดิมขนาด 150 มม. ทีมวิศวกรของเราก็พร้อมที่จะปรับแต่งระยะพิทช์ของสล็อต ความยาวของเรือ และการกำหนดค่าการจัดการเพื่อให้เหมาะกับความต้องการเตาเผาเฉพาะของคุณ

แท็กยอดนิยม: ผู้ให้บริการเรือ SiC Wafer, จีน, ผู้ผลิต, ซัพพลายเออร์, โรงงาน, ปรับแต่ง, เป็นกลุ่ม, ขั้นสูง, ทนทาน

แท็กสินค้า

หมวดหมู่ที่เกี่ยวข้อง