เรือเวเฟอร์ SiC

เรือ Semicorex SiC Wafer สร้างขึ้นจากเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) เป็นผู้นำในการตอบสนองความต้องการของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์โดยมอบประสิทธิภาพที่เหนือชั้นในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง ในขณะที่อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ผลักดันขอบเขตของการผลิตแบบไมโครแฟบริเคชั่นอย่างไม่หยุดยั้ง ความต้องการวัสดุที่มีความยืดหยุ่นและทนทานจึงกลายเป็นสิ่งสำคัญยิ่ง

เรือเวเฟอร์ SiC มีบทบาทสำคัญในการยึดและรองรับเวเฟอร์หลายตัวในระหว่างกระบวนการทางความร้อน เช่น การแพร่กระจาย ออกซิเดชัน และการสะสมไอสารเคมี (CVD) กระบวนการเหล่านี้เกี่ยวข้องกับการนำเวเฟอร์ไปสัมผัสกับอุณหภูมิที่สูงมาก ซึ่งมักจะเกิน 1,000°C ในบรรยากาศที่มีการควบคุม ความสม่ำเสมอและความสม่ำเสมอของการบำบัดความร้อนเหล่านี้มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการรับรองคุณภาพและประสิทธิภาพของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่กำลังผลิต ความสามารถของ SiC Wafer Boat ในการทนต่ออุณหภูมิสูงดังกล่าวโดยไม่เสียรูปหรือการเสื่อมสภาพ ช่วยให้มั่นใจได้ว่าเวเฟอร์ได้รับการประมวลผลอย่างสม่ำเสมอ ส่งผลให้ได้ผลผลิตและประสิทธิภาพของอุปกรณ์ที่เหนือกว่า

การนำความร้อนที่ยอดเยี่ยมของเรือเวเฟอร์ SiC รับประกันการกระจายความร้อนอย่างสม่ำเสมอทั่วทั้งเวเฟอร์ ซึ่งช่วยลดความเสี่ยงของการไล่ระดับอุณหภูมิที่อาจนำไปสู่ข้อบกพร่องในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ นอกจากนี้ ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อน (CTE) ที่ต่ำของ SiC ส่งผลให้การขยายตัวและการหดตัวเนื่องจากความร้อนน้อยที่สุดในระหว่างรอบการทำความร้อนและความเย็น ความเสถียรนี้มีความสำคัญอย่างยิ่งในการป้องกันความเครียดทางกลและความเสียหายที่อาจเกิดขึ้นกับเวเฟอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งกับรูปทรงของอุปกรณ์ที่หดตัว

ในระหว่างกระบวนการทางความร้อน เวเฟอร์จะสัมผัสกับก๊าซปฏิกิริยาต่างๆ ที่สามารถโต้ตอบกับวัสดุของเรือเวเฟอร์ SiC ความต้านทานต่อสารเคมีที่ดีเยี่ยมของ SiC ช่วยให้มั่นใจได้ว่าจะไม่ทำปฏิกิริยากับก๊าซเหล่านี้ ป้องกันการปนเปื้อน และรับประกันความบริสุทธิ์ของเวเฟอร์ สิ่งนี้มีความสำคัญอย่างยิ่งในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง ซึ่งแม้แต่การปนเปื้อนในปริมาณเล็กน้อยก็อาจทำให้เกิดข้อบกพร่องและลดความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์ได้