ที่วางเวเฟอร์ SiC

ตัวจับยึดเวเฟอร์ Semicorex SiC ทำจากซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งมีเสถียรภาพทางความร้อน ความแข็งแรงทางกล และทนต่อสารเคมีที่ดีเยี่ยม วัสดุเหล่านี้ได้รับการคัดเลือกเพื่อลดการปนเปื้อน ป้องกันความเสียหายต่อเวเฟอร์ และทนทานต่อสภาวะที่เรียกร้องของการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์

ในระหว่างกระบวนการทางความร้อน เช่น การอบอ่อนหรือการแพร่กระจาย ตัวจับเวเฟอร์ SiC มีบทบาทสำคัญในการรักษาการกระจายอุณหภูมิที่สม่ำเสมอทั่วทั้งพื้นผิวเวเฟอร์ ค่าการนำความร้อนสูงทำให้สามารถถ่ายเทความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพ ลดการไล่ระดับความร้อน และรับประกันผลลัพธ์ของกระบวนการที่สม่ำเสมอ

ตัวจับยึดเวเฟอร์ SiC มักได้รับการออกแบบให้รองรับขนาดเวเฟอร์เฉพาะ ตั้งแต่เส้นผ่านศูนย์กลางไม่กี่นิ้วไปจนถึงเส้นผ่านศูนย์กลางใหญ่ขึ้น ขึ้นอยู่กับการใช้งาน โดยอาจมีตัวจับยึดหลายตัวจัดเรียงอยู่ในคาสเซ็ตหรือตัวพาเพื่ออำนวยความสะดวกในการประมวลผลเป็นชุดและเพิ่มปริมาณงาน

ตัวจับยึดเวเฟอร์ Semicorex SiC เป็นเครื่องมือสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเป็นแพลตฟอร์มที่ปลอดภัยและมั่นคงสำหรับเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ตลอดขั้นตอนการประมวลผลต่างๆ การออกแบบและองค์ประกอบของวัสดุช่วยให้มั่นใจในความสมบูรณ์ของเวเฟอร์ ช่วยให้กระจายอุณหภูมิได้สม่ำเสมอ และช่วยให้สามารถจัดการและแปรรูปเวเฟอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ