เรือซิลิกอนคาร์ไบด์

เรือ Semicorex Silicon Carbide มีความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยมช่วยให้พวกเขาสามารถทนต่ออุณหภูมิที่สูงที่สุดที่จำเป็นสำหรับกระบวนการออกซิเดชั่นและการแพร่กระจาย ความต้านทานต่อความร้อนที่ยอดเยี่ยมของพวกเขาช่วยลดความเสี่ยงของการแตกร้าวหรือการเสียรูปทำให้มั่นใจได้ว่าอายุการใช้งานที่ยาวนานในการดำเนินงานเป็นเวลานาน องค์ประกอบ SIC ที่มีความหนาแน่นสูงให้ความแข็งแรงเชิงกลที่เหนือกว่ารักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างแม้ภายใต้การปั่นจักรยานความร้อนอย่างต่อเนื่อง ความต้านทานที่ยอดเยี่ยมนี้ต่อความเครียดเชิงกลช่วยลดโอกาสในการปนเปื้อนของแผ่นเวเฟอร์และการแตกหักซึ่งทำให้เกิดผลผลิตกระบวนการที่สูงขึ้น นอกจากนี้เรือ SIC ยังมีความต้านทานทางเคมีที่โดดเด่นซึ่งยังคงอยู่ในก๊าซกระบวนการก้าวร้าวที่ใช้ในการออกซิเดชั่นและขั้นตอนการแพร่กระจาย ลักษณะนี้ช่วยป้องกันปฏิกิริยาที่ไม่พึงประสงค์ซึ่งอาจลดความบริสุทธิ์ของเวเฟอร์และประสิทธิภาพการผลิต

เรือซิลิกอนคาร์ไบด์ส่วนใหญ่ใช้ในการออกซิเดชั่นและเตาเผาการแพร่กระจายซึ่งการควบคุมที่แม่นยำในการสัมผัสกับอุณหภูมิสูงและก๊าซปฏิกิริยาเป็นสิ่งจำเป็น พวกเขาสนับสนุนเวเฟอร์ในระหว่างการออกซิเดชั่นความร้อนเพื่อเพิ่มชั้นซิลิกอนไดออกไซด์คุณภาพสูงและอำนวยความสะดวกในการเติมสารที่มีการควบคุมการสัมผัสกับก๊าซเจือปน นอกจากนี้พวกเขายังมีแพลตฟอร์มที่มั่นคงสำหรับการหลอมและการรักษาอุณหภูมิสูงอื่น ๆ ที่ต้องใช้ความร้อนเป็นเวลานาน

เมื่อเปรียบเทียบกับเรือควอตซ์และกราไฟท์แบบดั้งเดิมเรือซิลิกอนคาร์ไบด์ให้ความทนทานที่ไม่มีใครเทียบอายุการใช้งานและประสิทธิภาพ ความสามารถของพวกเขาในการทนต่อสภาพแวดล้อมทางความร้อนและสารเคมีที่รุนแรงในขณะที่ลดการปนเปื้อนทำให้พวกเขาเป็นตัวเลือกที่ต้องการสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความแม่นยำสูง ด้วยการมุ่งเน้นไปที่คุณภาพและนวัตกรรมเรือซิลิกอนคาร์ไบด์ของเราให้ประสิทธิภาพที่เหนือกว่าทำให้มั่นใจได้ว่าผลผลิตสูงและการประมวลผลเวเฟอร์ที่มีประสิทธิภาพสำหรับผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั่วโลก ไม่ว่าจะเป็นเทคโนโลยีโหนดขั้นสูงหรือการผลิตเซมิคอนดักเตอร์แบบดั้งเดิมเรือเหล่านี้ให้ทางออกที่เชื่อถือได้เพื่อตอบสนองความต้องการของอุตสาหกรรมที่เข้มงวด

(1) การพกพาและการป้องกัน: เรือซิลิกอนคาร์ไบด์มีวัสดุเซมิคอนดักเตอร์เช่นเวเฟอร์ผ่านวงเล็บหรือช่องเสียบภายในและใช้ความต้านทานอุณหภูมิสูงและการกัดกร่อนของวัสดุซิลิกอนคาร์ไบด์เพื่อป้องกันเวเฟอร์จากสภาพแวดล้อมภายนอก

(2) เครื่องทำความร้อนแบบสม่ำเสมอ: เรือซิลิกอนคาร์ไบด์ช่วยให้เวเฟอร์ภายในร้อนเท่ากันในระหว่างกระบวนการบำบัดความร้อน สิ่งนี้จะช่วยให้แน่ใจว่าอุณหภูมิและอัตราการเกิดปฏิกิริยาของแต่ละส่วนของเวเฟอร์ยังคงสอดคล้องกันในระหว่างกระบวนการบำบัดความร้อนซึ่งจะเป็นการปรับปรุงผลผลิตและคุณภาพของเวเฟอร์

ขณะนี้มีสามประเภทหลักของเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์วัสดุ: การเผาปฏิกิริยาการเผาไหม้แบบแรงดันและการเผาผลาญการตกผลึกซ้ำซาก ในการใช้งานส่วนใหญ่ปฏิกิริยาซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ถูกเผาเป็นผลิตภัณฑ์ที่เหมาะสมและคุ้มค่ากว่า เรือ sic ที่ติดตั้งซ้ำมักจะเผาและประมวลผลส่วนต่างๆหน่วยก่อนจากนั้นใช้ Si Paste เพื่อรวมชิ้นส่วนเข้ากับเรือที่อุณหภูมิสูงและในที่สุดก็ใช้การเคลือบ CVD-SIC (ประมาณ 100um) เนื่องจากการตกผลึกซ้ำเป็นรูพรุนหากไม่มีการเคลือบ SIC มันจะแนะนำ particals ในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ เรือ SIC แบบตกผลึกชนิดนี้ด้วยการเคลือบ CVD-SIC มีกระบวนการผลิตที่ยาวที่สุดและมีราคาแพงมาก เมื่อเปรียบเทียบกับเรือกราไฟท์ที่เคลือบด้วย SIC เรือ SIC ที่เคลือบด้วย CVD-SIC จะไม่มีปัญหา CTE ที่ไม่ตรงกัน