ไม้พายยื่นออกมาของซิลิกอนคาร์ไบด์ Semicorex เป็นส่วนประกอบเซรามิกประสิทธิภาพสูงที่ประดิษฐ์ขึ้นอย่างประณีตจากวัสดุซิลิกอนคาร์ไบด์ เนื่องจากเป็นส่วนประกอบที่ขาดไม่ได้สำหรับระบบการโหลดแผ่นเวเฟอร์ แป้นพายยื่นออกไปของซิลิกอนคาร์ไบด์ Semicorex จึงทำหน้าที่รองรับและขนส่งในกระบวนการบำบัดความร้อนของเซมิคอนดักเตอร์ที่อุณหภูมิสูง การเลือก Semicorex หมายความว่าคุณจะได้รับโซลูชันเซรามิกที่เหมาะสมที่สุด
โดยทั่วไปแล้ว ไม้พายยื่นยื่นออกมาของซิลิกอนคาร์ไบด์ Semicorex ใช้กับเรือเวเฟอร์แนวนอนในเตาแปรรูปที่อุณหภูมิสูง พวกเขาสามารถรับประกันการขนย้ายเรือเวเฟอร์เข้าและออกจากท่อเตาเผาได้อย่างแม่นยำและราบรื่น โดยให้การสนับสนุนอย่างมากสำหรับความเสถียรและผลผลิตของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการบำบัดเวเฟอร์ที่อุณหภูมิสูง ไม้พายยื่นยื่นออกมาของซิลิคอนคาร์ไบด์ Semicorex ทำงานอย่างต่อเนื่องที่อุณหภูมิประมาณ 1250°C ภายใต้บรรยากาศการทำงานที่รุนแรงซึ่งประกอบด้วยออกซิเจน (ก๊าซปฏิกิริยา) ไนโตรเจน (ก๊าซป้องกัน) และไฮโดรเจนคลอไรด์จำนวนเล็กน้อย
สินค้าพรีเมี่ยมอาศัยวัตถุดิบชั้นดี Semicorex ใช้วัตถุดิบซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเพื่อให้แน่ใจว่าไม้พายซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรามีคุณภาพระดับสูงสุดในอุตสาหกรรม ฐานทำจากซิลิกอนคาร์ไบด์พันธะปฏิกิริยาคุณภาพสูง โดยมีปริมาณสารเจือปนควบคุมต่ำกว่า 100 ppm และพื้นผิวเคลือบด้วย CVD SiC ซึ่งเก็บสารเจือปนไว้ต่ำกว่า 1 ppm วัสดุมาตรฐานสูงที่ผลิตไม้พายคานยื่นแบบซิลิคอนคาร์ไบด์ Semicorex นี้มีคุณสมบัติที่ดีเยี่ยมตามรายการด้านล่าง
1. ความสะอาดสูงเป็นพิเศษ:เซมิคอร์เร็กซ์ซิลิคอนคาร์ไบด์ไม้พายแบบคานยื่นมีความบริสุทธิ์สูงและจะไม่ปล่อยสิ่งเจือปนที่ไม่พึงประสงค์ระหว่างการทำงาน ซึ่งโดยพื้นฐานแล้วจะกำจัดการปนเปื้อนไปยังเวเฟอร์และเตาเผาในกระบวนการผลิต
2. เสถียรภาพทางความร้อนที่มั่นคง:ไม้พายยื่นยื่นออกมาของซิลิคอนคาร์ไบด์ Semicorex ทำงานได้อย่างน่าเชื่อถือที่ 1250°C และทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิอย่างรวดเร็วเมื่อเข้าและออกจากเตาเผา โดยไม่มีการเสียรูปหรือการแตกร้าวใดๆ
3. ความแข็งแรงทางกลที่เหนือกว่า:ไม้พายยื่นยื่นออกมาของซิลิคอนคาร์ไบด์ Semicorex มีความแข็งและความแข็งแรงสูง และสามารถทนทานต่อการสึกหรอและรอยขีดข่วนในระหว่างการกดและดึงบ่อยครั้ง
4. ความต้านทานการกัดกร่อนที่เชื่อถือได้:เซมิคอร์เร็กซ์พายเท้าแขนซิลิกอนคาร์ไบด์สามารถทนต่อการกัดกร่อนอย่างรุนแรงจากด่างและกรดเข้มข้น เนื่องจากมีความเสถียรทางเคมีที่โดดเด่น
เซมิคอร์เร็กซ์ใช้เทคโนโลยีการพิมพ์ 3 มิติแบบครบวงจรเพื่อสร้างแป้นพายยื่นแบบซิลิกอนคาร์ไบด์ ซึ่งช่วยให้ปราศจากจุดเค้นที่อ่อนแอที่ข้อต่อ ให้ความสามารถในการรับน้ำหนักที่เชื่อถือได้ระหว่างการทำงาน นอกจากนี้ยังรองรับการปรับแต่งไม้พายยื่นยื่นของซิลิคอนคาร์ไบด์ตามต้องการแบบเต็มมิติอีกด้วย ไม้พายแบบคานยื่นสามารถปรับความยาว โครงสร้าง และส่วนต่อประสานได้อย่างแม่นยำ และมีให้เลือกใช้เพื่อให้เข้ากับเส้นผ่านศูนย์กลางของท่อเตาหลอม ขนาดแผ่นเวเฟอร์ ระบบการโหลดแบบอัตโนมัติ และข้อกำหนดของกระบวนการเฉพาะได้อย่างสมบูรณ์แบบ