ไม้พายเท้าแขนเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์

ไม้พายเซรามิกคานยื่นแบบ Semicorex ซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นส่วนประกอบโครงสร้างคานยื่นที่มีประสิทธิภาพสูง ซึ่งผลิตขึ้นอย่างแม่นยำจากซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง แป้นพายยื่นเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ของเราเป็นโซลูชั่นที่ดีที่สุดสำหรับการพกพาและขนส่งเวเฟอร์ ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ที่ล้ำสมัยและการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

เซมิคอร์เร็กซ์พายเท้าแขนเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ผลิตขึ้นโดยการเผาที่อุณหภูมิสูงบนตัวเครื่องสีเขียวที่พิมพ์ด้วยเครื่องพิมพ์ 3 มิติในขั้นตอนเดียว ตามด้วยการเคลือบผิวด้วยการสะสมไอสารเคมี ในระหว่างการทำงานจริง แป้นพายยื่นออกไปเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์จะถูกสั่งงานโดยระบบอัตโนมัติทางกลเพื่อถ่ายโอนส่วนประกอบที่มีแผ่นเวเฟอร์เข้าและออกจากอุปกรณ์การประมวลผลที่อุณหภูมิสูงได้อย่างราบรื่นและมั่นคง (เช่น เตาออกซิเดชั่น เตาแพร่ เตาเผา CVD ฯลฯ) ส่วนประกอบซิลิกอนคาร์ไบด์เหล่านี้สามารถรับประกันความแม่นยำของศูนย์กลางระหว่างแผ่นเวเฟอร์และท่อเตาเผาได้อย่างมีประสิทธิภาพ จึงรับประกันความสม่ำเสมอและความเสถียรของกระบวนการในระหว่างกระบวนการที่สำคัญ เช่น การแพร่กระจาย ออกซิเดชัน และการสะสมไอสารเคมี

ประสิทธิภาพของไม้พายเท้าแขนเซรามิก Semicorex ซิลิคอนคาร์ไบด์

1. ประสิทธิภาพมลพิษต่ำ:

เซมิคอร์เร็กซ์ซิลิคอนคาร์ไบด์ไม้พายคานยื่นแบบเซรามิก ประมวลผลด้วยการรักษาที่มีความแม่นยำสูง ได้มาตรฐานไร้ฝุ่นและไร้อนุภาค เมทริกซ์มีปริมาณสารเจือปนที่ควบคุมอย่างเข้มงวดต่ำกว่า 300PPM และปริมาณสารเจือปนของการเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ CVD ยังต่ำกว่า 5PPM อีกด้วย

2. เสถียรภาพที่อุณหภูมิสูง:

เนื่องจากความต้านทานต่ออุณหภูมิสูงและการต้านทานการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างดีเยี่ยมของซิลิกอนคาร์ไบด์ แป้นพายเท้ายื่นเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์ Semicorex จึงสามารถรักษาเสถียรภาพของโครงสร้างได้ยาวนานที่อุณหภูมิสูงถึง 1250°C โดยไม่เปลี่ยนรูป ทำให้อ่อนตัว หรือเสียหายที่เกิดจากอุณหภูมิสูง

3. ความสามารถในการรับน้ำหนักพิเศษ:

ไม้พายยื่นออกมาเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ Semicorex ให้ความสามารถในการรับน้ำหนักเป็นพิเศษ โดยได้ประโยชน์จากการออกแบบโครงสร้างที่เป็นเอกลักษณ์และคุณสมบัติของวัสดุที่เหนือกว่า (ความแข็งแรงเชิงกลและความแข็งสูง) ความสามารถในการรับน้ำหนักที่ยอดเยี่ยมนี้ช่วยให้สามารถทนต่อน้ำหนักของเวเฟอร์ชุดใหญ่ได้ เพื่อตอบสนองความต้องการในการผลิตจำนวนมาก ซึ่งช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพของการประมวลผลชุดเวเฟอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ

4. ความต้านทานการกัดกร่อนที่โดดเด่น:

ไม้พายยื่นเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ Semicorex มีความทนทานต่อการกัดกร่อนต่อออกซิเจน คลอรีน และสารกัดกร่อนอื่นๆ ได้อย่างดีเยี่ยมซึ่งมีอยู่ในอุณหภูมิสูงในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์ ประสิทธิภาพที่เหนือกว่านี้มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการรับประกันการดำเนินงานที่ราบรื่นของกระบวนการผลิต โดยการหลีกเลี่ยงการสูญเสียและเวลาที่เกิดจากความเสียหายต่อแป้นพายคานยื่นเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์