ไม้พายเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์ Semicorex เป็นส่วนประกอบเซรามิกที่มีโครงสร้างยื่นออกมา ซึ่งผลิตจากวัสดุซิลิกอนคาร์ไบด์อย่างแม่นยำตามด้วยการเผาปฏิกิริยา พายเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ Semicorex ทำหน้าที่เป็นโซลูชั่นที่ดีที่สุดสำหรับการรองรับและการขนส่งแผ่นเวเฟอร์ ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมไฟฟ้าโซลาร์เซลล์และเซมิคอนดักเตอร์
เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์โดยทั่วไปแล้ว ไม้พายจะติดตั้งใกล้กับช่องเปิดเตาหลอมหรือห้องกระบวนการ โดยปลายด้านหนึ่งคงที่และปลายอีกด้านหนึ่งขยายเข้าไปในเตาเผาหรือห้องกระบวนการ ในระหว่างการประมวลผล แป้นพายเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์จะวางตำแหน่งตัวพาเวเฟอร์ที่บรรทุกเวเฟอร์ในตำแหน่งที่กำหนดภายในเตาเผาหรือห้องกระบวนการอย่างแม่นยำ หลังจากการประมวลผล ไม้พายแบบยื่นออกไปจะดึงตัวพาหะและเคลื่อนย้ายออกจากเตาหลอมหรือห้อง และส่งมอบให้กับแขนหุ่นยนต์เพื่อการจัดการขั้นต่อไป
1. คุณสมบัติที่เหนือกว่าและคุณภาพที่เชื่อถือได้
ไม้พายเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์ Semicorex ให้ความเสถียรที่อุณหภูมิสูงเป็นเลิศ ความแข็งแรงสูง ความแข็งสูง ความเสถียรทางเคมี และค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ ด้วยคุณสมบัติที่เหนือกว่าเหล่านี้ ไม้พายเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ Semicorex จึงสามารถทนทานต่อสภาวะการทำงานที่ท้าทายได้เป็นเวลานาน เช่น อุณหภูมิสูง การกัดกร่อนอย่างรุนแรง รับน้ำหนักมาก และการทำงานทางกลบ่อยครั้ง
2. การสนับสนุนและการขนส่งที่แม่นยำ
Semicorex อาศัยประสิทธิภาพการรองรับและการขนย้ายที่ยอดเยี่ยมพายเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์สามารถยึดตัวพาเวเฟอร์เข้าที่ได้อย่างแม่นยำ เพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์มีศูนย์กลางสัมพันธ์กับท่อเตาหลอม ซึ่งช่วยลดความไม่สอดคล้องกันของกระบวนการที่เกิดจากการสั่นของเวเฟอร์และการวางแนวที่ไม่ตรงในระหว่างกระบวนการได้อย่างมาก
3. การทำงานอัตโนมัติที่มีประสิทธิภาพสูง
โดยทั่วไปแล้ว ไม้พายเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์ Semicorex จะทำงานร่วมกับระบบการขนถ่ายและขนถ่ายอัตโนมัติด้วยหุ่นยนต์ เพื่อให้สามารถขนถ่ายแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างรวดเร็ว สิ่งนี้จะช่วยลดรอบกระบวนการในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์ลงอย่างมาก ปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิต และลดต้นทุนการดำเนินการด้วยตนเองและความเสี่ยงจากข้อผิดพลาด
1. การผลิตเซลล์แสงอาทิตย์
ไม้พายเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ Semicorex เหมาะอย่างยิ่งกับกระบวนการทางความร้อนของเซลล์แสงอาทิตย์ เช่น การแพร่กระจาย, LPCVD และ PECVD ของ TOPCon และเซลล์ PERC โดยการบรรลุความสม่ำเสมอและความเสถียรของกระบวนการ ไม้พายเหล่านี้มีส่วนช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพการแปลงเซลล์แสงอาทิตย์
2. การผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์
ไม้พายเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์ Semicorex เป็นส่วนประกอบรองรับและขนย้ายที่สำคัญ ถูกนำไปใช้อย่างกว้างขวางในกระบวนการต่างๆ เช่น การพิมพ์หิน การแกะสลัก และการสะสมตัวในระหว่างการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ ช่วยให้สามารถถ่ายโอนข้อมูลได้อย่างมีเสถียรภาพอย่างต่อเนื่องและการวางตำแหน่งเวเฟอร์ที่แม่นยำ