Semicorex เป็นพันธมิตรของคุณในการปรับปรุงการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรามีความหนาแน่น อุณหภูมิสูง และทนต่อสารเคมี ซึ่งมักใช้ในวงจรการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด รวมถึงกระบวนการเวเฟอร์และเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ และการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ส่วนประกอบเซรามิก SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีความสำคัญต่อกระบวนการในเซมิคอนดักเตอร์ ข้อเสนอของเรามีตั้งแต่ชิ้นส่วนสิ้นเปลืองสำหรับอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์ เช่น เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ ไม้พายคานยื่น ท่อ ฯลฯ สำหรับ Epitaxy หรือ MOCVD
ข้อดีสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์
ขั้นตอนการสะสมของฟิล์มบาง เช่น เอพิแทกซีหรือ MOCVD หรือกระบวนการจัดการเวเฟอร์ เช่น การกัดหรือการฝังไอออน จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดทางเคมีที่รุนแรง Semicorex มีโครงสร้างซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูง ให้ความต้านทานความร้อนที่เหนือกว่าและทนต่อสารเคมีที่ทนทาน แม้กระทั่งความสม่ำเสมอทางความร้อนเพื่อความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ
ฝาปิดห้อง →
ฝาปิดห้องที่ใช้ในการเติบโตของคริสตัลและการประมวลผลการจัดการเวเฟอร์จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดสารเคมีที่รุนแรง
ไม้พายคานยื่น →
Cantilever Paddle เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในเตาหลอมแบบแพร่กระจายหรือ LPCVD ในระหว่างกระบวนการต่างๆ เช่น การแพร่และ RTP
หลอดกระบวนการ →
Process Tube เป็นส่วนประกอบที่สำคัญ ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะในการใช้งานการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เช่น RTP หรือการแพร่กระจาย
เรือเวเฟอร์ →
เรือเวเฟอร์ถูกนำมาใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ โดยได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนจะถูกเก็บไว้อย่างปลอดภัยในระหว่างขั้นตอนการผลิตที่สำคัญ
วงแหวนทางเข้า →
วงแหวนทางเข้าก๊าซเคลือบ SiC โดยอุปกรณ์ MOCVD การเจริญเติบโตแบบคอมพาวด์มีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูง ซึ่งมีเสถียรภาพสูงในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
วงแหวนปรับโฟกัส →
วัสดุ Semicorex วงแหวนโฟกัสเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์มีความเสถียรมากสำหรับ RTA, RTP หรือการทำความสะอาดด้วยสารเคมีที่รุนแรง
เวเฟอร์ชัค →
หัวจับเวเฟอร์เซรามิกสุญญากาศแบบแบนพิเศษ Semicorex มีการเคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยใช้ในกระบวนการจัดการเวเฟอร์
Semicorex ยังมีผลิตภัณฑ์เซรามิก ได้แก่ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic เป็นต้น
วงแหวนฉนวนอะลูมิเนียมไนไตรด์ Semicorex เป็นส่วนประกอบที่ขาดไม่ได้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง โดยเฉพาะอย่างยิ่งในกระบวนการบำบัดความร้อนความถี่สูง การผสมผสานที่เป็นเอกลักษณ์ของความเสถียรที่อุณหภูมิสูง คุณสมบัติการปิดผนึกที่เหนือกว่า การนำความร้อนที่ยอดเยี่ยม และความทนทานโดยธรรมชาติ ทำให้สิ่งเหล่านี้จำเป็นสำหรับการควบคุมกระบวนการที่แม่นยำ ผลผลิตของอุปกรณ์ที่สูง และอายุการใช้งานของอุปกรณ์ที่ยาวนานขึ้นในสภาพแวดล้อมที่มีความต้องการในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ พวกเราที่ Semicorex ทุ่มเทในการผลิตและจำหน่ายแหวนฉนวนอะลูมิเนียมไนไตรด์ประสิทธิภาพสูงที่หลอมรวมคุณภาพเข้ากับความคุ้มทุน**
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามหัวจับไฟฟ้าสถิต Semicorex Aluminium Nitride นำเสนอคุณสมบัติที่ผสมผสานกันอย่างลงตัว ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับความต้องการในการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ความสามารถของพวกเขาในการจับยึดแผ่นเวเฟอร์ที่ปลอดภัยและสม่ำเสมอ การจัดการระบายความร้อนที่ยอดเยี่ยม และการต้านทานต่อสภาพแวดล้อมการประมวลผลที่รุนแรง ส่งผลให้ประสิทธิภาพของอุปกรณ์ดีขึ้น ผลผลิตสูงขึ้น และลดต้นทุนการผลิต พวกเราที่ Semicorex ทุ่มเทในการผลิตและจำหน่ายหัวจับไฟฟ้าสถิตอะลูมิเนียมไนไตรด์ประสิทธิภาพสูงที่หลอมรวมคุณภาพด้วยความคุ้มค่า**
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามหัวจับการตรวจสอบเวเฟอร์ Semicorex SiC เป็นตัวขับเคลื่อนที่สำคัญสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง โดยตอบสนองความต้องการที่เพิ่มขึ้นในด้านความแม่นยำ ความสะอาด และปริมาณงาน คุณสมบัติของวัสดุที่เหนือกว่าทำให้เกิดประโยชน์ที่จับต้องได้ตลอดกระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์ ซึ่งท้ายที่สุดแล้วมีส่วนทำให้ได้ผลผลิตสูงขึ้น ประสิทธิภาพของอุปกรณ์ดีขึ้น และต้นทุนการผลิตโดยรวมลดลง พวกเราที่ Semicorex ทุ่มเทในการผลิตและจำหน่ายหัวจับตรวจสอบ SiC Wafer ประสิทธิภาพสูงที่หลอมรวมคุณภาพเข้ากับความคุ้มทุน**
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามแขนหุ่นยนต์เซรามิกอลูมินา Semicorex หรือที่รู้จักกันในชื่อแขนหุ่นยนต์เซรามิกสำหรับจับแผ่นเวเฟอร์หรือส้อมสำหรับจับแผ่นเวเฟอร์เซรามิกซิลิกอน เป็นส่วนประกอบอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ประสิทธิภาพสูง การออกแบบคำนึงถึงข้อกำหนดที่เข้มงวดของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยความต้านทานต่ออุณหภูมิสูง ความต้านทานการสึกหรอ ความเสถียรทางเคมี และคุณสมบัติฉนวนไฟฟ้าที่ดีเยี่ยม แขนเซรามิกอลูมินาจึงมีบทบาทที่ไม่อาจทดแทนได้ในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั่วโลก พวกเราที่ Semicorex ทุ่มเทในการผลิตและจำหน่ายแขนหุ่นยนต์เซรามิกอลูมินาประสิทธิภาพสูงที่หลอมรวมคุณภาพเข้ากับความคุ้มทุน**
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามคุณสมบัติของวัสดุขั้นสูงของ Semicorex SiC Diffusion Furnace Tube รวมถึงความแข็งแรงดัดงอสูง ความต้านทานการเกิดออกซิเดชันและการกัดกร่อนที่โดดเด่น ความต้านทานการสึกหรอสูง ค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำ คุณสมบัติเชิงกลที่อุณหภูมิสูงที่เหนือกว่า และความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ ทำให้เป็นสิ่งที่ขาดไม่ได้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานเตากระจาย พวกเราที่ Semicorex ทุ่มเทในการผลิตและจำหน่ายท่อ SiC Diffusion Furnace ประสิทธิภาพสูงที่หลอมรวมคุณภาพเข้ากับความคุ้มทุน**
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามด้วยคุณสมบัติของวัสดุคุณภาพสูง Semicorex SiC Diffusion Boat นำเสนอฟังก์ชันการทำงานที่เหมาะสมที่สุดในพารามิเตอร์การทำงานที่หลากหลาย: ความแข็ง การคืนสภาพ และการต้านทานความร้อนและสารเคมี ฯลฯ การเลือกใช้วัสดุนี้มีความสำคัญอย่างยิ่งในการลดความเสี่ยงในการปนเปื้อน การปกป้องแผ่นเวเฟอร์ และความทนทาน สภาวะที่มีความต้องการในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ พวกเราที่ Semicorex ทุ่มเทในการผลิตและจำหน่าย SiC Diffusion Boat ประสิทธิภาพสูงที่หลอมรวมคุณภาพด้วยความคุ้มค่า**
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม