Semicorex เป็นพันธมิตรของคุณในการปรับปรุงการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรามีความหนาแน่น อุณหภูมิสูง และทนต่อสารเคมี ซึ่งมักใช้ในวงจรการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด รวมถึงกระบวนการเวเฟอร์และเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ และการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ส่วนประกอบเซรามิก SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อกระบวนการในเซมิคอนดักเตอร์ ข้อเสนอของเรามีตั้งแต่ชิ้นส่วนสิ้นเปลืองสำหรับอุปกรณ์แปรรูปเวเฟอร์ เช่น เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ ไม้พายคานยื่น ท่อ ฯลฯ สำหรับ Epitaxy หรือ MOCVD
ข้อดีสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์
ขั้นตอนการสะสมของฟิล์มบาง เช่น เอพิแทกซีหรือ MOCVD หรือกระบวนการจัดการเวเฟอร์ เช่น การกัดหรือการฝังไอออน จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดทางเคมีที่รุนแรง Semicorex มีโครงสร้างซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูง ให้ความต้านทานความร้อนที่เหนือกว่าและทนต่อสารเคมีที่ทนทาน แม้กระทั่งความสม่ำเสมอทางความร้อนเพื่อความหนาและความต้านทานของชั้น epi ที่สม่ำเสมอ
ฝาปิดห้อง →
ฝาห้องที่ใช้ในการเติบโตของคริสตัลและการประมวลผลการจัดการเวเฟอร์จะต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและการทำความสะอาดสารเคมีที่รุนแรง
ไม้พายคานยื่น →
Cantilever Paddle เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในเตาหลอมแบบแพร่กระจายหรือ LPCVD ในระหว่างกระบวนการต่างๆ เช่น การแพร่และ RTP
หลอดกระบวนการ →
Process Tube เป็นส่วนประกอบที่สำคัญ ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะในการใช้งานการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ เช่น RTP หรือการแพร่กระจาย
เรือเวเฟอร์ →
เรือเวเฟอร์ถูกนำมาใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ โดยได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนจะถูกเก็บไว้อย่างปลอดภัยในระหว่างขั้นตอนการผลิตที่สำคัญ
วงแหวนทางเข้า →
วงแหวนทางเข้าก๊าซเคลือบ SiC โดยอุปกรณ์ MOCVD การเจริญเติบโตแบบคอมพาวด์มีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูง ซึ่งมีเสถียรภาพสูงในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
วงแหวนปรับโฟกัส →
วัสดุ Semicorex วงแหวนโฟกัสเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์มีความเสถียรมากสำหรับ RTA, RTP หรือการทำความสะอาดด้วยสารเคมีที่รุนแรง
เวเฟอร์ชัค →
หัวจับเวเฟอร์เซรามิกสูญญากาศแบบแบนพิเศษ Semicorex มีการเคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยใช้ในกระบวนการจัดการเวเฟอร์
Semicorex ยังมีผลิตภัณฑ์เซรามิก ได้แก่ Alumina (Al2O3), Silicon Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic เป็นต้น
ลูกกลิ้งซิลิคอนไนไตรด์ นำเสนอโดย Semicorex สร้างขึ้นจากซิลิคอนไนไตรด์เผาด้วยแรงดันแก๊ส (Si3N4) ซึ่งเป็นวัสดุเซรามิกประสิทธิภาพสูง
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามแหวนซีลโรตารี Semicorex SiC ได้รับการออกแบบมาเพื่อทำงานภายใต้สภาวะแรงดันสูงและอุณหภูมิสูง ความเสถียรและความทนทานในสภาพแวดล้อมดังกล่าวทำให้เป็นส่วนประกอบอันล้ำค่าในการใช้งานการปิดผนึกซึ่งวัสดุแบบดั้งเดิมอาจล้มเหลว
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามแขนหุ่นยนต์ Semicorex SiC เป็นแขนหุ่นยนต์เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ประสิทธิภาพสูง ออกแบบมาเพื่อความแม่นยำและความทนทานในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เลือก Semicorex สำหรับความเชี่ยวชาญของเราในการนำเสนอโซลูชั่นที่เป็นนวัตกรรม เชื่อถือได้ และมีคุณภาพสูง ซึ่งปรับให้เหมาะกับความต้องการของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามเรือ Semicorex SiC คือตัวจับยึดเวเฟอร์เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ประสิทธิภาพสูง ออกแบบมาเพื่อความแม่นยำและความทนทานในกระบวนการแพร่กระจาย เลือก Semicorex เพื่อคุณภาพที่ไม่มีใครเทียบได้ ความเชี่ยวชาญในอุตสาหกรรม และโซลูชันที่ปรับแต่งมาโดยเฉพาะซึ่งจะช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตของคุณ*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามที่วางเรือ Semicorex SiC Wafer เป็นส่วนประกอบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ออกแบบมาสำหรับกระบวนการ TOPCon ประเภท N ในการแพร่กระจายเซลล์แสงอาทิตย์ โดยให้ความแม่นยำ ความทนทาน และความน่าเชื่อถือเป็นพิเศษ เลือก Semicorex สำหรับโซลูชันที่เป็นนวัตกรรมในด้านวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งได้รับการสนับสนุนโดยความเชี่ยวชาญที่ไม่มีใครเทียบได้และความมุ่งมั่นในด้านคุณภาพ*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามเรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ Semicorex เป็นชิ้นส่วนสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์ ซึ่งให้เสถียรภาพทางความร้อน ความแข็งแรงเชิงกล และความทนทานต่อสารเคมีที่ดีเยี่ยม เลือก Semicorex เนื่องจากมีเทคโนโลยีล้ำสมัย คุณภาพวัสดุที่เหนือกว่า และความมุ่งมั่นในการส่งมอบผลิตภัณฑ์ที่เชื่อถือได้และมีอายุการใช้งานยาวนาน ซึ่งตอบสนองความต้องการของกระบวนการทางอุตสาหกรรมขั้นสูง*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม