เรือเวเฟอร์เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์

คัดสรรวัสดุระดับพรีเมี่ยม

คุณสมบัติที่ดีเยี่ยมของเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ Semicorexเรือเวเฟอร์เป็นผลมาจากวัตถุดิบคุณภาพสูง เรือเซรามิกเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ผลิตจากวัสดุ SiSiC เกรดเซมิคอนดักเตอร์และเคลือบด้วย CVD SiC มีคุณสมบัติที่ดีเยี่ยมดังต่อไปนี้

1. มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ ปราศจากการปล่อยสิ่งเจือปนของโลหะ

สิ่งเจือปนของพื้นผิว: <100 ppm

สิ่งเจือปนในการเคลือบ CVD SiC: ＜1 ppm

2. เสถียรภาพทางความร้อนที่เหนือกว่า

เรือเวเฟอร์เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์สามารถทำงานได้อย่างต่อเนื่องในสภาวะที่มีอุณหภูมิสูง 1250°C ซึ่งทำให้เกิดการเสียรูปและต้านทานการคืบน้อยที่สุด

3. ความแข็งแรงทางกลสูง

ซิลิคอนคาร์ไบด์มีความแข็งสูงและทนทานต่อการสึกหรอ ทำให้เรือเวเฟอร์เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ Semicorex ต้านทานรอยขีดข่วน การเสียดสี และความเสียหายได้ จึงทำงานได้ดีในระหว่างการใช้งานระยะยาวและทนทานต่อความเสียหาย

4. ทนต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม

เนื่องจากซิลิคอนคาร์ไบด์ทนทานต่อการกัดกร่อนจากกรดและด่างแก่ เรือเวเฟอร์เซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์ Semicorex จึงสามารถรักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างและประสิทธิภาพการทำงานได้แม้ภายใต้สภาวะการทำงานที่มีการกัดกร่อนสูง

การออกแบบโครงสร้างที่ปรับให้เหมาะสม

เรือเวเฟอร์เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ Semicorex ได้รับการออกแบบมาสำหรับการประมวลผลเวเฟอร์แบบแบตช์ กรอบโครงสร้างที่ได้รับการปรับปรุงให้เหมาะสมช่วยให้มั่นใจได้ว่าการรองรับเวเฟอร์แบบแบตช์มีความเสถียรและความเสถียรของกระบวนการที่สม่ำเสมอสำหรับเวเฟอร์แต่ละตัว

โครงสร้างรองรับแนวตั้ง 1.3 เสา

โครงสร้างแนวตั้งของเรือเวเฟอร์เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ Semicorex ช่วยให้สามารถจับคู่กับการใช้งานเตาแนวตั้งได้อย่างราบรื่น ด้วยโครงสร้างนี้ เรือเวเฟอร์เซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์ของ emicorex สามารถอำนวยความสะดวกในการไหลเวียนของก๊าซในกระบวนการที่เป็นเนื้อเดียวกัน และการกระจายพลังงานความร้อนที่สม่ำเสมอภายในเตาเผาที่มีอุณหภูมิสูง

2. การบีบสล็อตแบบกระจายสม่ำเสมอ

เรือเวเฟอร์เซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์ Semicorex มาพร้อมกับสลักสล็อตที่กลึงอย่างแม่นยำหลายตัวบนเสารองรับ การหนีบสล็อตที่เว้นระยะห่างเท่ากันทำให้ได้ระยะห่างของสล็อตที่เหมาะสม ซึ่งช่วยให้เรือเวเฟอร์เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์สามารถยึดเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ได้อย่างแน่นหนา ซึ่งจะช่วยปรับปรุงความสม่ำเสมอของผลการประมวลผลความร้อนของเวเฟอร์

ด้วยประสิทธิภาพและฟังก์ชันที่ยอดเยี่ยมมากมาย เรือเวเฟอร์เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ Semicorex จึงถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการผลิตหลักของการผลิตแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ เช่น ออกซิเดชัน การแพร่กระจาย การฝังไอออน และการหลอมที่อุณหภูมิสูง