ซิลิคอนคาร์ไบด์ชัค

Semicorex Silicon Carbide Vacuum Chuck เป็นส่วนสำคัญของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สำหรับกระบวนการที่ต้องการความแม่นยำสูงและการปนเปื้อนต่ำ ช่ามสุญญากาศถูกประดิษฐ์ขึ้นจากเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีรูพรุนสูงและให้ความแข็งแรงเชิงกลที่ยอดเยี่ยมการนำความร้อนและความเฉื่อยของสารเคมีและมีโครงสร้างรูขุมขนที่ควบคุมได้อย่างแม่นยำสำหรับการกักเก็บสูญญากาศที่เชื่อถือได้ ซิลิคอนคาร์ไบด์ชัคเป็นอุปกรณ์การดูดซับที่ใช้งานได้จากวัสดุเซรามิกซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC) ซึ่งขึ้นอยู่กับความดันลบสูญญากาศการดูดซับไฟฟ้าสถิตหรือการยึดเชิงกล สุญญากาศ chucks ใช้ในเซมิคอนดักเตอร์, เซลล์แสงอาทิตย์, การผลิตที่แม่นยำและการใช้งานอื่น ๆ ที่มีความต้องการสูงเป็นพิเศษสำหรับวัสดุความต้านทานอุณหภูมิสูงความต้านทานการสึกหรอและความสะอาด

ฐานของเชยเป็นวัสดุ SIC ที่มีรูพรุนซึ่งมีการซึมผ่านของอากาศที่คาดการณ์ได้ทั่วพื้นผิว ซึ่งหมายความว่าเป็นไปได้ที่จะดูดซับเวเฟอร์อย่างปลอดภัยโดยไม่ต้องยึดกลไกและทำให้ศักยภาพของความเสียหายทางกายภาพหรือการปนเปื้อนของตัวอย่างไม่มีสาระสำคัญ ความพรุนของวัสดุถูกควบคุมอย่างเข้มงวด - โดยทั่วไปจะมีความพรุน 35-40% - เพื่อให้การกระจายสูญญากาศที่เหมาะสม แต่ยังตอบสนองความต้องการโครงสร้างสำหรับการปั่นจักรยานความร้อนและกลไกที่ทนทาน

Wafer Vacuum Chucksมักจะทำจากพื้นผิวแข็งที่มีรูเล็ก ๆ หรือช่องทางเล็ก ๆ มากมายบนพื้นผิว ผ่านรูเล็ก ๆ เหล่านี้ชัคสามารถเชื่อมต่อกับปั๊มสูญญากาศซึ่งสร้างเอฟเฟกต์สูญญากาศ เมื่อเวเฟอร์ถูกวางไว้บนชัคปั๊มสูญญากาศจะเปิดและอากาศจะถูกดึงผ่านรูเล็ก ๆ สร้างสุญญากาศระหว่างเวเฟอร์และชัค เอฟเฟกต์สูญญากาศนี้สร้างการดูดเพียงพอที่จะยึดเวเฟอร์เข้ากับพื้นผิวชัคอย่างแน่นหนา

พื้นผิวเซรามิกมักใช้ในการใช้งานที่ต้องการความบริสุทธิ์และความเสถียรทางเคมีสูง เซรามิกเป็นวัสดุที่ผลิตโดยการผสมผสานของแร่ธาตุอุณหภูมิสูง โดยทั่วไปแล้วเซรามิกส์เป็นฉนวนไฟฟ้าหรือเซมิคอนดักเตอร์และมีความต้านทานสูงต่อการสลายความร้อนการกัดเซาะและความเสียหาย

Semicorex สร้างซิลิคอนคาร์ไบด์สูญญากาศที่กำหนดเองให้กับข้อกำหนดของลูกค้าสำหรับสิ่งต่าง ๆ เช่นมิติความพรุนพื้นผิวและรูปแบบสำหรับการจัดช่องสูญญากาศ อันเป็นผลมาจากความสามารถในการผลิตและห้องสะอาดของเราเรานำเสนอสิ่งที่ดีที่สุดในการไหลของอนุภาคต่ำและความสะอาดเพื่อรองรับความต้องการความสะอาดของผู้ผลิต Fabs และอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมด

เราสามารถสร้างเชยให้กับเวเฟอร์ขนาดใดก็ได้ตั้งแต่เวเฟอร์ 2 นิ้วถึง 12 นิ้วและปรับตัวเพื่อรวมชัคเข้ากับอุปกรณ์ประมวลผลเวเฟอร์มากมาย มันสามารถใช้สำหรับกระบวนการส่วนหน้าและ/หรือกระบวนการแบ็คเอนด์ทำให้ SIC สูญญากาศเชยที่ประหยัดแม่นยำมีเสถียรภาพและการปนเปื้อนฟรีในการสนับสนุนเวเฟอร์ในเวิร์กโฟลว์เซมิคอนดักเตอร์ FAB

ซิลิคอนคาร์ไบด์ชัคเป็นเครื่องมือสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ในปัจจุบันรวมวัสดุและวิศวกรรมที่ดีที่สุด ความน่าเชื่อถือที่ทนทานและยึดมั่นผ่านทางความร้อนและทางเคมีสุดขั้วทำให้การสนับสนุนที่สมบูรณ์แบบในการใช้งานกระบวนการซึ่งรวมถึงการแว็กซ์การทำให้ผอมบางการทำความสะอาดและ RTA ด้วยการจัดหาเครื่องดูดฝุ่นซิลิกอนคาร์ไบด์ของคุณผ่าน Semicorex คุณจะมั่นใจได้ถึงความบริสุทธิ์ของวัสดุที่ดีที่สุดโซลูชั่นที่กำหนดเองและประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้สำหรับผลลัพธ์ที่เหนือกว่าในสายการประมวลผลเวเฟอร์ทั้งหมดของคุณ