Semicorex วิศวกรเซมิคอนดักเตอร์เกรดเซรามิกสำหรับเครื่องมือการผลิตกึ่ง OEM และส่วนประกอบการจัดการเวเฟอร์ของคุณ เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรามีข้อได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดยุโรปและอเมริกาหลายแห่ง เราหวังว่าจะได้เป็นหุ้นส่วนระยะยาวของคุณในประเทศจีน
เรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ของ Semicorex มีความบริสุทธิ์สูงมาก (สูงถึง 99.99%) ต้านทานพลาสมาและทนความร้อนได้ดีเยี่ยม และจำกัดการเกิดอนุภาค ถูกนำมาใช้ในชิ้นส่วนอุปกรณ์แปรรูปเซมิคอนดักเตอร์ รวมถึงส่วนประกอบโครงสร้างและเครื่องมือ
ที่ Semicorex เรามุ่งเน้นการจัดหาเรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์คุณภาพสูงและคุ้มราคา เราให้ความสำคัญกับความพึงพอใจของลูกค้าและจัดหาโซลูชั่นที่คุ้มค่า เราหวังว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณ นำเสนอผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงและการบริการลูกค้าที่ยอดเยี่ยม
ติดต่อเราวันนี้เพื่อเรียนรู้เพิ่มเติมเกี่ยวกับเรือเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรา
พารามิเตอร์ของเรือซิลิคอนคาร์ไบด์เวเฟอร์
คุณสมบัติทางเทคนิค |
||||
ดัชนี |
หน่วย |
ค่า |
||
ชื่อวัสดุ |
ปฏิกิริยาซิลิกอนคาร์ไบด์เผา |
ซิลิกอนคาร์ไบด์เผาแบบไร้แรงดัน |
ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ตกผลึกใหม่ |
|
องค์ประกอบ |
อาร์.บี.ซี |
สสส |
R-SiC |
|
ความหนาแน่นรวม |
กรัม/ซม.3 |
3 |
3.15 ± 0.03 |
2.60-2.70 |
ความแข็งแรงดัด |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C)90-100(1400°C) |
กำลังอัด |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
ความแข็ง |
น๊อป |
2700 |
2800 |
/ |
ทำลายความดื้อรั้น |
MPa ม.1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
การนำความร้อน |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน |
10-6.1/°ซ |
5 |
4 |
4.7 |
ความร้อนจำเพาะ |
จูล/กรัม 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
อุณหภูมิสูงสุดในอากาศ |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
โมดูลัสยืดหยุ่น |
เกรดเฉลี่ย |
360 |
410 |
240 |
ความแตกต่างระหว่าง SSiC และ RBSiC:
1. กระบวนการเผาจะแตกต่างกัน RBSiC คือการแทรกซึม Si อิสระเข้าไปในซิลิกอนคาร์ไบด์ที่อุณหภูมิต่ำ SSiC เกิดจากการหดตัวตามธรรมชาติที่ 2100 องศา
2. SSiC มีพื้นผิวที่เรียบกว่า ความหนาแน่นสูงกว่า และความแข็งแรงสูงกว่า สำหรับการปิดผนึกบางอย่างที่มีข้อกำหนดพื้นผิวที่เข้มงวดกว่า SSiC จะดีกว่า
3. เวลาใช้งานที่แตกต่างกันภายใต้ค่า pH และอุณหภูมิที่แตกต่างกัน SSiC จะนานกว่า RBSiC
คุณสมบัติของเรือซิลิคอนคาร์ไบด์เวเฟอร์
ทนความร้อนที่เหนือกว่าและความสม่ำเสมอของความร้อน
เคลือบด้วยคริสตัล SiC แบบละเอียดเพื่อพื้นผิวเรียบ
มีความทนทานสูงต่อการทำความสะอาดด้วยสารเคมี
วัสดุได้รับการออกแบบมาเพื่อไม่ให้เกิดการแตกร้าวและการหลุดล่อน