ผู้ให้บริการเวเฟอร์ซิลิคอน

Semicorex นำเสนอเซรามิกเกรดเซมิคอนดักเตอร์สำหรับเครื่องมือการผลิตกึ่งตัวนำ OEM และส่วนประกอบการจัดการเวเฟอร์ที่เน้นไปที่ชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เราเป็นผู้ผลิตและจำหน่าย Silicon Wafer Carrier มาหลายปีแล้ว Silicon Wafer Carrier ของเรามีความได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดส่วนใหญ่ในยุโรปและอเมริกา เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

กระบวนการสะสมสารกึ่งตัวนำใช้ส่วนผสมของก๊าซสารตั้งต้นที่ระเหยง่าย พลาสมา และอุณหภูมิสูงเพื่อวางชั้นฟิล์มบางคุณภาพสูงลงบนแผ่นเวเฟอร์ ห้องสะสมและเครื่องมือจัดการแผ่นเวเฟอร์ต้องใช้ส่วนประกอบเซรามิกที่ทนทานเพื่อให้ทนทานต่อสภาพแวดล้อมที่ท้าทายเหล่านี้
Semicorex Silicon Wafer Carrier เป็นซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งมีคุณสมบัติการกัดกร่อนและทนความร้อนสูง รวมถึงการนำความร้อนได้ดีเยี่ยม

พารามิเตอร์ของตัวพาซิลิคอนเวเฟอร์

คุณสมบัติทางเทคนิค
ดัชนี	หน่วย	ค่า
ชื่อวัสดุ		ปฏิกิริยาซินเทอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์	ซิลิคอนคาร์ไบด์เผาผนึกไร้แรงดัน	ซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่
องค์ประกอบ		อาร์บีซีซี	สสส	R-SiC
ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม	กรัม/ซม3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
ความแข็งแรงของแรงดัดงอ	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°ซ) 90-100(1,400°ซ)
แรงอัด	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
ความแข็ง	ปุ่ม	2700	2800	/
ทำลายความดื้อรั้น	เมกะปาสคาล ม1/2	4.5	4	/
การนำความร้อน	W/m.k	95	120	23
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน	10^-6.1/°ซ	5	4	4.7
ความร้อนจำเพาะ	จูล/กรัม 0k	0.8	0.67	/
อุณหภูมิสูงสุดในอากาศ	℃	1200	1500	1600
โมดูลัสยืดหยุ่น	เกรดเฉลี่ย	360	410	240

ความแตกต่างระหว่าง SSiC และ RBSiC:

1. กระบวนการเผาผนึกแตกต่างกัน RBSiC คือการแทรกซึม Si อิสระเข้าไปในซิลิคอนคาร์ไบด์ที่อุณหภูมิต่ำ SSiC เกิดจากการหดตัวตามธรรมชาติที่อุณหภูมิ 2100 องศา

2. SSiC มีพื้นผิวที่เรียบกว่า มีความหนาแน่นสูงกว่าและมีความแข็งแรงสูงกว่า สำหรับการปิดผนึกบางอย่างที่มีข้อกำหนดพื้นผิวที่เข้มงวดมากขึ้น SSiC จะดีกว่า

3. เวลาใช้งานที่แตกต่างกันภายใต้ค่า PH และอุณหภูมิที่แตกต่างกัน SSiC จะนานกว่า RBSiC

คุณสมบัติของผู้ให้บริการซิลิคอนเวเฟอร์

กราไฟท์เคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูง
ทนความร้อนได้เหนือกว่าและความสม่ำเสมอทางความร้อน
เคลือบคริสตัล SiC ละเอียดเพื่อพื้นผิวเรียบ
มีความทนทานสูงต่อการทำความสะอาดด้วยสารเคมี
วัสดุได้รับการออกแบบเพื่อไม่ให้เกิดรอยแตกร้าวและการหลุดร่อน

รูปร่างที่มีจำหน่ายของเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์：

● ก้านเซรามิก / พินเซรามิก / ลูกสูบเซรามิก

● ท่อเซรามิก / บุชชิ่งเซรามิก / ปลอกเซรามิก

● แหวนเซรามิก / แหวนรองเซรามิก / ตัวเว้นระยะเซรามิก

● จานเซรามิค

● จานเซรามิก / บล็อกเซรามิก

● ลูกบอลเซรามิก

● ลูกสูบเซรามิก

● หัวฉีดเซรามิก

● ถ้วยใส่ตัวอย่างเซรามิก

● ชิ้นส่วนเซรามิกสั่งทำพิเศษอื่นๆ