เรือเวเฟอร์ SiSiC

ในสภาพแวดล้อมการแข่งขันของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์ การสร้างความสมดุลระหว่างปริมาณงานกับอายุการใช้งานของส่วนประกอบเป็นสิ่งสำคัญ ของเราซีซีซี เรือเวเฟอร์ ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมให้เป็น "เครื่องมือทางอุตสาหกรรม" สำหรับการใช้งานเตาเผาที่มีอุณหภูมิสูง ด้วยการใช้กระบวนการพันธะปฏิกิริยา เราจึงสามารถส่งมอบตัวพาที่มีความแข็งแรงเชิงกลที่เหนือกว่าและต้านทานการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลันเมื่อเปรียบเทียบกับควอตซ์และเซรามิกมาตรฐานแบบดั้งเดิม

ศาสตร์แห่ง SiSiC: เหตุใดพันธะของปฏิกิริยาจึงมีความสำคัญ

แตกต่างจาก SiC เผาผนึกซึ่งเกิดจากการรวมตัวของผงแรงดันสูงเรือเวเฟอร์ SiSiC ผลิตโดยการแทรกซึมเข้าไปในพรีฟอร์มคาร์บอนที่มีรูพรุนด้วยซิลิคอนหลอมเหลว กระบวนการ "การติดปฏิกิริยา" นี้ส่งผลให้วัสดุมีการหดตัวเกือบเป็นศูนย์ในระหว่างการผลิต ช่วยให้สามารถผลิตสถาปัตยกรรมเรือขนาดใหญ่ที่ซับซ้อนพร้อมความแม่นยำด้านมิติที่น่าทึ่ง

1. ความต้านทานแรงกระแทกด้วยความร้อนที่เหนือกว่า

ความท้าทายที่สำคัญที่สุดอย่างหนึ่งในการประมวลผลเป็นชุดคือวงจร "การผลัก-ดึง" ที่รวดเร็วของเตาเผา ตัวพาควอตซ์มักจะแตกร้าวภายใต้ความเครียดจากความร้อน SiSiC มีโมดูลัสการแตกร้าว (MOR) ที่สูงขึ้นอย่างมีนัยสำคัญและมีค่าการนำความร้อนที่ดีเยี่ยม ช่วยให้เรือของเราทนทานต่อการเปลี่ยนอุณหภูมิอย่างรวดเร็วโดยไม่เสี่ยงต่อความล้มเหลวของโครงสร้าง ส่งผลให้อุปกรณ์หยุดทำงานน้อยลงโดยตรง

2. ความสามารถในการรับน้ำหนักสูงที่อุณหภูมิ

เมื่อขนาดเวเฟอร์เพิ่มขึ้นและแบตช์มีขนาดใหญ่ขึ้นเพื่อเพิ่มปริมาณงาน น้ำหนักบนตัวพาจะเพิ่มขึ้น เรือ SiSiC ของเรามีความต้านทานการคืบคลานที่ยอดเยี่ยม ในขณะที่วัสดุอื่นๆ อาจย้อยหรือบิดเบี้ยวภายใต้ภาระหนักที่อุณหภูมิ 1,250°C แต่ SiSiC จะรักษารูปทรงของมันไว้ เพื่อให้มั่นใจว่าความขนานของช่องเวเฟอร์ยังคงสมบูรณ์แบบตลอดหลายพันรอบ

3. ความเฉื่อยของสารเคมีและความสมบูรณ์ของพื้นผิว

เรือ SiSiC ของเราได้รับการออกแบบสำหรับสภาพแวดล้อมทางเคมีที่รุนแรง วัสดุนี้มีความทนทานต่อก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนที่ใช้ในกระบวนการ LPCVD และการแพร่กระจาย นอกจากนี้ พื้นผิวยังได้รับการดูแลเพื่อให้แน่ใจว่าไม่มีการโยกย้าย "ซิลิคอนอิสระ" ทำให้เกิดสภาพแวดล้อมที่เสถียรและสะอาด ซึ่งปกป้องความสมบูรณ์ทางไฟฟ้าของเวเฟอร์ของคุณ

ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค: เมทริกซ์ประสิทธิภาพ SiSiC

ปรับให้เหมาะสมสำหรับมาตรฐานการผลิตระดับโลก

เรือเวเฟอร์ SiSiC ของเราเข้ากันได้กับผู้ผลิต OEM เตาเผาชั้นนำของโลก รวมถึง TEL (Tokyo Electron), ASM และ Kokusai Electric เรานำเสนอโซลูชั่นที่ปรับแต่งเฉพาะสำหรับ:

เตากระจายแนวนอน: เรือยาวที่มีช่องร่องที่มีความแม่นยำสูงสำหรับเวเฟอร์ขนาด 150 มม. และ 200 มม.

ระบบเตาแนวตั้ง: การออกแบบที่มีมวลต่ำซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการไหลของก๊าซและความสม่ำเสมอทางความร้อน

การผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ PV เซลล์: ตัวพา SiSiC แบบพิเศษที่ออกแบบมาเพื่อการแพร่กระจาย POCl3 ปริมาณสูง โดยมีอายุการใช้งานยาวนานกว่าควอตซ์ 5-10 เท่า

ข้อมูลเชิงลึกจากผู้เชี่ยวชาญ: สำหรับกระบวนการที่มีอุณหภูมิสูงกว่า 1,380°C เราขอแนะนำกลุ่มผลิตภัณฑ์ Sintered SiC ของเรา อย่างไรก็ตาม สำหรับขั้นตอนการแพร่กระจาย ออกซิเดชัน และ LPCVD ส่วนใหญ่ SiSiC ให้อัตราส่วนประสิทธิภาพต่ออายุการใช้งานที่คุ้มค่าที่สุดในอุตสาหกรรม

ทำไมต้องเป็นพันธมิตรกับเรา?

ความเชี่ยวชาญด้านวัสดุ: เราจัดหาเฉพาะผง alpha-SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงและซิลิคอนเกรดอิเล็กทรอนิกส์สำหรับกระบวนการเชื่อมปฏิกิริยาของเรา

วิศวกรรมที่มีความแม่นยำ: ความสามารถในการเจียร CNC ของเราช่วยให้ช่องมีความคลาดเคลื่อน ±0.02 มม. ลดการสั่นและการแตกหักของแผ่นเวเฟอร์

ความยั่งยืนและ ROI: การเปลี่ยนจากควอตซ์เป็น SiSiC โดยทั่วไปแล้ว fabs จะเห็นการใช้จ่ายวัสดุสิ้นเปลืองต่อปีลดลง 40% เนื่องจากความถี่ในการเปลี่ยนลดลงอย่างมาก

เรือทุกลำที่เราจัดส่งจะมาพร้อมกับใบรับรองความสอดคล้อง (CoC) และรายงานการตรวจสอบขนาดเต็ม เพื่อให้มั่นใจว่าชุดกระบวนการของคุณพร้อมสำหรับการติดตั้งในห้องปลอดเชื้อทันที