เครื่องดูดฝุ่น

Semicorex Vacuum Chucks เป็นโซลูชั่นที่ออกแบบโดยวิศวกรรมที่ออกแบบมาเพื่อให้การจัดการเวเฟอร์ที่ปลอดภัยมั่นคงและมีประสิทธิภาพในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ chucks สูญญากาศเหล่านี้ส่วนใหญ่จะใช้สำหรับการถือเวเฟอร์ในระหว่างขั้นตอนการประมวลผลต่างๆทำให้มั่นใจได้ว่ามีความเสียหายน้อยที่สุดกับเวเฟอร์เสถียรภาพสูงสุดและประสิทธิภาพของกระบวนการที่เพิ่มขึ้น สุญญากาศของเรามีให้เลือกมากมายในวัสดุพื้นฐานและแผ่นเซรามิกที่หลากหลายนำเสนอโซลูชั่นที่ปรับแต่งเพื่อตอบสนองความต้องการที่หลากหลายของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอุตสาหกรรมที่มีความแม่นยำอื่น ๆ

คุณสมบัติที่สำคัญและวัสดุ

Semicorex เสนอตัวเลือกวัสดุพื้นฐานที่หลากหลายสำหรับชัคสูญญากาศช่วยให้สามารถปรับแต่งได้ตามข้อกำหนดของแอปพลิเคชันเฉพาะ:

วัสดุพื้นฐาน:

• SUS430: วัสดุฐานสแตนเลสที่รู้จักกันในเรื่องความแข็งแรงและความต้านทานการกัดกร่อนซึ่งให้ความเสถียรทางกลที่ดีเยี่ยม
• อลูมิเนียมอัลลอยด์ 6061: น้ำหนักเบา แต่แข็งแรงฐานอลูมิเนียมนี้มีความต้านทานการกัดกร่อนสูงและเหมาะสำหรับการใช้งานที่มีน้ำหนักเป็นกังวล
• อลูมินาเซรามิก (อลูมินา 99%): มีความเสถียรทางความร้อนสูงและความต้านทานการสึกหรอ มันเป็นตัวเลือกที่ยอดเยี่ยมสำหรับสภาพแวดล้อมที่มีความแม่นยำสูงซึ่งความต้านทานความร้อนเป็นสิ่งสำคัญ
• หินแกรนิต: เป็นที่รู้จักกันดีในเรื่องความแข็งแกร่งและคุณสมบัติการสั่นสะเทือนที่เหนือกว่า Granite นำเสนอความมั่นคงและความแม่นยำที่ยอดเยี่ยมในระหว่างการจัดการเวเฟอร์
• เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ (SIC): ให้ความแข็งสูงการนำความร้อนและความต้านทานต่อการกัดกร่อนทางเคมี มันเหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูงและก้าวร้าว

แผ่นเซรามิก:

Alumina (Al₂o₃): แผ่นอลูมินาเป็นที่รู้จักกันดีสำหรับคุณสมบัติฉนวนไฟฟ้าสูงความต้านทานการสึกหรอและความเสถียรของอุณหภูมิสูง เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมที่การปนเปื้อนน้อยที่สุดและประสิทธิภาพสูงมีความสำคัญ

ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SIC): แผ่นเซรามิก SIC ให้ความแข็งที่ยอดเยี่ยมการนำความร้อนสูงและความมั่นคงที่อุณหภูมิสูงทำให้เหมาะสำหรับกระบวนการจัดการเวเฟอร์ขั้นสูงในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ความแม่นยำของความเรียบและการเลือกวัสดุ

ความเรียบของพื้นผิวของชัคเป็นปัจจัยสำคัญในการสร้างความมั่นใจในการจัดการเวเฟอร์ที่เหมาะสมและผลลัพธ์กระบวนการที่ดีที่สุด การเลือกวัสดุมีผลต่อความแม่นยำของความเรียบเช่นเดียวกับน้ำหนักโดยรวมและคุณสมบัติทางความร้อนของชัคสูญญากาศ

ความแม่นยำของความเรียบ:

อลูมิเนียมอัลลอยด์ 6061: ให้ความเรียบที่ยอดเยี่ยมพร้อมความแม่นยำทำให้เป็นตัวเลือกยอดนิยมสำหรับงานการจัดการเวเฟอร์ที่ต้องการน้อยลง

SUS430: ในขณะที่ให้ความเสถียรทางกลของแข็ง SUS430 มีความแม่นยำที่ต่ำกว่าอลูมิเนียมอัลลอยด์เล็กน้อย

อลูมินาเซรามิก (อลูมินา 99%): นำเสนอความแม่นยำของความเรียบที่ดีที่สุดเนื่องจากมีความเสถียรในมิติสูงภายใต้อุณหภูมิสูงและความเครียดเชิงกล

Granite: เป็นที่รู้จักกันดีในเรื่องความมั่นคงหินแกรนิตให้ความเรียบที่แม่นยำโดยเฉพาะอย่างยิ่งในสภาพแวดล้อมที่ไวต่อการสั่นสะเทือน

Silicon Carbide Ceramic: ให้ความแม่นยำเรียบที่โดดเด่นและเหมาะสำหรับการจัดการเวเฟอร์ที่มีความแม่นยำสูงในการใช้งานที่อุณหภูมิสูง

ข้อควรพิจารณาเกี่ยวกับน้ำหนัก

น้ำหนักของชัคสูญญากาศเป็นอีกปัจจัยสำคัญโดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานที่ความสะดวกในการจัดการและการจัดการของชัคเป็นข้อพิจารณาที่สำคัญ