เรือเวเฟอร์แนวตั้ง

เรือ Semicorex Vertical Wafer Boat เป็นตัวพาที่ออกแบบมาเป็นพิเศษสำหรับเวเฟอร์หลายตัวที่เพิ่มประสิทธิภาพพื้นที่ภายในห้องประมวลผลให้สูงสุด เรือเวเฟอร์แนวตั้งเหล่านี้โดยทั่วไปจะมีรูปทรงสี่เหลี่ยมหรือทรงกระบอก และเรือแต่ละลำมีช่องหรือช่องที่กลึงอย่างแม่นยำซึ่งมีระยะห่างเพื่อยึดเวเฟอร์แต่ละอันให้อยู่ในตำแหน่งตั้งตรงอย่างปลอดภัย เรือเวเฟอร์แนวตั้งสร้างจากซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ซึ่งให้ความทนทานต่ออุณหภูมิสูง สารเคมีที่มีฤทธิ์กัดกร่อน และความเครียดทางกลได้อย่างดีเยี่ยม ทำให้เหมาะสำหรับการปกป้องเวเฟอร์จากความเสียหายที่อาจเกิดขึ้น

ในระหว่างการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เวเฟอร์จะผ่านกระบวนการที่ซับซ้อนมากมาย รวมถึงการแพร่กระจาย RTP และสนามความร้อน เรือเวเฟอร์แนวตั้งมีบทบาทสำคัญในการอำนวยความสะดวกในกระบวนการเหล่านี้โดยทำหน้าที่เป็นพาหะสำหรับเวเฟอร์ ช่วยให้สามารถถ่ายโอนระหว่างอุปกรณ์และขั้นตอนต่างๆ ได้อย่างราบรื่น การวางแนวในแนวตั้งช่วยลดพื้นที่ภายในห้องประมวลผล เพิ่มประสิทธิภาพปริมาณงาน และช่วยให้สามารถจัดการเวเฟอร์จำนวนมากได้อย่างมีประสิทธิภาพ

เรือเวเฟอร์แนวตั้ง Semicorex เป็นรากฐานสำคัญของการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งเป็นโซลูชันที่แข็งแกร่งและเชื่อถือได้สำหรับการจัดการและการขนส่งเวเฟอร์อย่างปลอดภัยตลอดขั้นตอนการผลิตต่างๆ การออกแบบขั้นสูงควบคู่ไปกับคุณสมบัติพิเศษของ SiC ตอกย้ำบทบาทสำคัญในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่ล้ำสมัย