เรือเวเฟอร์สำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์

คุณสมบัติทางเทคนิค

ดัชนี

หน่วย

ค่า

ชื่อวัสดุ

ปฏิกิริยาซินเทอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์

ซิลิคอนคาร์ไบด์เผาผนึกไร้แรงดัน

ซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่

องค์ประกอบ

อาร์บีซีซี

สสส

R-SiC

ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม

กรัม/ซม3

3

3.15 ± 0.03

2.60-2.70

ความแข็งแรงของแรงดัดงอ

MPa (kpsi)

338(49)

380(55)

80-90 (20°ซ) 90-100(1,400°ซ)

แรงอัด

MPa (kpsi)

1120(158)

3970(560)

> 600

ความแข็ง

ปุ่ม

2700

2800

/

ทำลายความดื้อรั้น

เมกะปาสคาล ม1/2

4.5

4

/

การนำความร้อน

W/m.k

95

120

23

ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน

10^-6.1/°ซ

5

4

4.7

ความร้อนจำเพาะ

จูล/กรัม 0k

0.8

0.67

/

อุณหภูมิสูงสุดในอากาศ

℃

1200

1500

1600

โมดูลัสยืดหยุ่น

เกรดเฉลี่ย

360

410

240