เรือเวเฟอร์

Semicorex Wafer Boat เป็นส่วนประกอบสำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะเพื่อใช้ในกระบวนการแพร่ โดยมีบทบาทสำคัญในการสร้างวงจรที่มีการบูรณาการในระดับสูง ด้วยความมุ่งมั่นอันแน่วแน่ของเราในการจัดหาผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงในราคาที่แข่งขันได้ เราพร้อมที่จะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน*

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

Semicorex Wafer Boat ได้รับการออกแบบมาเพื่อทนทานต่อสภาวะที่ไม่เอื้ออำนวยของเตาแพร่กระจาย เช่น อุณหภูมิสูง สภาพแวดล้อมที่มีการกัดกร่อน และความจำเป็นในการวางแผ่นเวเฟอร์ที่แม่นยำในระหว่างกระบวนการแพร่กระจาย

เรือเวเฟอร์ทำจากเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ ซึ่งได้รับการคัดเลือกเนื่องจากคุณสมบัติพิเศษ ซิลิคอนคาร์ไบด์มีชื่อเสียงในด้านการนำความร้อนสูง ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการกระจายอุณหภูมิที่สม่ำเสมอทั่วทั้งแผ่นเวเฟอร์ระหว่างการแพร่กระจาย ความสม่ำเสมอนี้มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการรักษาความสมบูรณ์ของเวเฟอร์และรับรองระดับการเติมที่สม่ำเสมอ ซึ่งจำเป็นต่อการทำงานของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่กำลังผลิต นอกจากนี้ จุดหลอมเหลวที่สูงและความเสถียรทางความร้อนของซิลิคอนคาร์ไบด์ยังช่วยให้ Wafer Boat ทำงานที่อุณหภูมิที่สูงขึ้นซึ่งจำเป็นในกระบวนการแพร่กระจาย ซึ่งมักจะเกิน 1,000°C โดยไม่ย่อยสลายหรือบิดเบี้ยว

ข้อได้เปรียบที่สำคัญประการหนึ่งของเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ในเรือเวเฟอร์คือทนทานต่อสารเคมีได้ดีเยี่ยม ความต้านทานนี้มีความสำคัญอย่างยิ่งในการรักษาความบริสุทธิ์ของเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ เนื่องจากการปนเปื้อนใดๆ อาจนำไปสู่ข้อบกพร่องในผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้าย ส่งผลให้ประสิทธิภาพของวงจรรวมลดลง

ความสมบูรณ์ของโครงสร้างของเรือ Wafer เป็นอีกหนึ่งปัจจัยสำคัญในการออกแบบ การออกแบบต้องให้แน่ใจว่าแผ่นเวเฟอร์ถูกยึดไว้อย่างแน่นหนา โดยมีระยะห่างที่แม่นยำเพื่อให้สัมผัสกับก๊าซที่ทำปฏิกิริยาได้อย่างสม่ำเสมอ ความแม่นยำนี้มีความสำคัญอย่างยิ่งในการบรรลุการเติมสารโด๊ปที่สม่ำเสมอบนเวเฟอร์ทั้งหมด ซึ่งส่งผลกระทบโดยตรงต่อคุณลักษณะทางไฟฟ้าของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

นอกจากคุณสมบัติทางความร้อนและทางเคมีแล้ว เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ยังมีความเสถียรของขนาดที่ดีเยี่ยม ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อความต้องการความแม่นยำสูงของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ความเสถียรนี้ช่วยให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ยังคงอยู่ในแนวเดียวกันอย่างสมบูรณ์ ช่วยให้กระจายสารเจือปนได้อย่างแม่นยำและสม่ำเสมอทั่วทั้งพื้นผิวของเวเฟอร์แต่ละอัน นำไปสู่การผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์คุณภาพสูง

เรือ Semicorex Wafer ที่ทำจากเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นส่วนประกอบสำคัญในกระบวนการแพร่กระจายเซมิคอนดักเตอร์ การนำความร้อนที่ยอดเยี่ยม ความต้านทานต่อสารเคมี ความแข็งแรงทางกล และความเสถียรของขนาด ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับสภาวะที่มีความต้องการในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การใช้งานไม่เพียงแต่เพิ่มประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือของกระบวนการแพร่กระจายเท่านั้น แต่ยังช่วยลดต้นทุนโดยรวมของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์อีกด้วย