เรือเวเฟอร์

เรือเวเฟอร์เซมิคอร์ที่ผลิตจากซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง (SIC) เป็นส่วนประกอบที่จำเป็นในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่ใช้โดยทั่วไปจะรวมถึงสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูงและมีการกัดกร่อนเช่นการแพร่กระจายออกซิเดชันและกระบวนการ LPCVD การประยุกต์ใช้เรือเวเฟอร์ SIC ได้รับการออกแบบมาเพื่อเพิ่มเสถียรภาพทางความร้อนและความต้านทานต่อสารเคมีช่วยให้การสนับสนุนการจัดตำแหน่งและการขนส่งเวเฟอร์ซิลิคอนที่ดีที่สุดในระหว่างการประมวลผลเพื่อผลผลิตที่ดีที่สุดและประสิทธิภาพของอุปกรณ์

ซิลิคอนคาร์ไบด์ได้รับการบันทึกไว้เป็นอย่างดีว่าเป็นเซรามิกนำไฟฟ้าที่มีความร้อนที่ยอดเยี่ยมแสดงความแข็งแรงเชิงกลสูงและความต้านทานการกระแทกด้วยความร้อนที่เหนือกว่าความต้านทานต่อการเกิดออกซิเดชันและการดื้อยาเชิงรุกกับสารเคมีเช่น HF และ HCL คุณสมบัติของ SIC ทำให้มันน่าสนใจเป็นพิเศษในฐานะวัสดุสำหรับเรือเวเฟอร์สำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์รุ่นต่อไปและในสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูง เรือเวเฟอร์ SIC สามารถรักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างและความเสถียรของมิติที่อุณหภูมิกระบวนการ> 1,500 ° C ลดความเสี่ยงของการแปรปรวนหรือการปนเปื้อนของเวเฟอร์ในการรักษาด้วยความร้อนที่สำคัญ

แต่ละ sicเรือเวเฟอร์ผลิตจาก SIC ที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยใช้กระบวนการสร้างเซรามิกขั้นสูงและกระบวนการเผาและสามารถปรับแต่งสำหรับช่วงขนาดของเวเฟอร์ที่กว้างขวาง (100 มม., 150 มม., 200 มม., 300 มม.) รวมถึงการกำหนดค่าซ้อนไม่ว่าจะเป็นแนวตั้งหรือแนวนอน เรือเวเฟอร์ SIC ของเรามีพื้นผิวที่ราบรื่นและความเรียบที่ยอดเยี่ยมซึ่งช่วยลดการสร้างอนุภาคและเหมาะสำหรับระบบการจัดการเวเฟอร์อัตโนมัติ

การควบคุมการปนเปื้อนและผลผลิตเป็นประเด็นที่สำคัญที่สุดสองประการใน Fabs ยุคใหม่ ความสะอาดและความน่าเชื่อถือของผู้ให้บริการ SIC ของ SIC มีผลต่อคุณภาพของผลิตภัณฑ์และประสิทธิภาพของกระบวนการที่สอดคล้องกัน  เรือเวเฟอร์ SIC มีอายุยืนยาวกว่าสำหรับการใช้งานมีข้อกำหนดการบำรุงรักษาน้อยลงและต่ำกว่า TCO ต่ำกว่าทางเลือกที่ใช้ควอตซ์หรืออลูมินา อายุยืนที่ดีขึ้นยังหมายถึงปัญหาที่น้อยลงเกี่ยวกับการไหลของอนุภาคขนาดเล็กดังนั้นอีกครั้งส่งผลกระทบต่อความสะอาดของพื้นผิวเวเฟอร์และส่งผลกระทบต่อความสะอาดในห้องที่สะอาด

Semicorex มุ่งเน้นไปที่การออกแบบและการผลิตเรือเวเฟอร์ SIC ที่ใช้วัตถุดิบที่มีความบริสุทธิ์สูงสุดเท่าที่จะเป็นไปได้รวมกับการเผาไหม้บรรยากาศการปนเปื้อนต่ำ  เราใช้ความพยายามทุกวิถีทางในการรักษาระดับความบริสุทธิ์ต่ำเพื่อรักษาความพรุนในราคาต่ำและโครงสร้างจุลภาคที่สม่ำเสมอเพื่อให้การทำงานของทีมสามารถเพลิดเพลินกับลักษณะความร้อนที่สอดคล้องกันอย่างสม่ำเสมอระยะห่างเวเฟอร์ที่แม่นยำและความต้านทานการย่อยสลายทางเคมีที่ไม่มีใครเทียบได้

Semicorex sicเรือเวเฟอร์เป็นองค์ประกอบที่จำเป็นของการประมวลผลอุณหภูมิสูงของเซมิคอนดักเตอร์ เรือเวเฟอร์ซิลิคอนที่มีความบริสุทธิ์สูงมีลักษณะวัสดุที่ไม่มีใครเทียบได้ความเป็นเลิศทางวิศวกรรมและอารมณ์ที่ปราศจากการปนเปื้อนขนาดเล็กทำให้พวกเขาเป็นตัวเลือกระดับสูงสำหรับการผลิตเวเฟอร์ประสิทธิภาพสูง Semicorex ให้ความน่าเชื่อถือและประสิทธิภาพสูงที่เป็นนวัตกรรมเพื่อสนับสนุนกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่สำคัญที่สุดของคุณ