วงแหวนรอบนอก Poly-Si สำหรับการแกะสลัก

โดยทั่วไปจะตั้งอยู่รอบๆฝักบัว, วงแหวนรอบนอก Poly-Si ทำหน้าที่เป็นส่วนเชื่อมต่อระหว่างวงแหวนไอเสียกับฝักบัว โดยจะทำงานร่วมกับหัวจับไฟฟ้าสถิต, หัวฝักบัว Si, วงแหวนโฟกัส Si, วงแหวนไอเสีย Si และวงแหวนป้องกัน Si สร้างสภาพแวดล้อมกระบวนการที่มั่นคงและเชื่อถือได้สำหรับการดำเนินการแกะสลักที่มีความแม่นยำสูง

ข้อดีของวงแหวนรอบนอก Semicorex poly-Si สำหรับการกัด

วงแหวนด้านนอก Semicorex poly-Si สำหรับการแกะสลักผลิตจากโพลีซิลิคอนคุณภาพสูงอย่างแม่นยำ โดยให้คุณสมบัติที่ดีเยี่ยมดังต่อไปนี้

1.ความสะอาดสูงและมีปริมาณอนุภาคต่ำ

2. ทนต่ออุณหภูมิสูงและทนต่อแรงกระแทกจากความร้อนสูง

3. ความต้านทานการกัดกร่อนที่เชื่อถือได้

4. ประสิทธิภาพทางไฟฟ้าที่โดดเด่นและความสม่ำเสมอของการนำไฟฟ้าสูง

หน้าที่ของวงแหวนรอบนอก Semicorex poly-Si สำหรับการกัด

1. ประสิทธิภาพการต่อสายดินที่มั่นคง

ใช้สำหรับการต่อสายดินและการป้องกันอิเล็กโทรด วงแหวนด้านนอก Semicorex poly-Si สำหรับการกัดสามารถหลีกเลี่ยงการสะสมคงที่รวมถึงความเสียหายของส่วนโค้ง และรับประกันการทำงานที่เสถียรของระบบอิเล็กโทรด ตอบสนองความต้องการของกระบวนการสำหรับการผลิต 3D NAND ขั้นสูงได้อย่างสมบูรณ์แบบ

2. การสนับสนุนที่เชื่อถือได้

วงแหวนรอบนอก Semicorex poly-Si สำหรับการแกะสลักทำหน้าที่เป็นส่วนประกอบสำคัญในการเชื่อมต่อวงแหวนไอเสียและฝักบัว พวกเขาให้การสนับสนุนทางกลที่เชื่อถือได้กับทั้งสองส่วนและทำให้พวกเขาอยู่ในตำแหน่งที่เหมาะสมในตำแหน่งที่เหมาะสม นอกจากนี้ การใช้วงแหวนรอบนอก Semicorex poly-Si สำหรับการกัดสามารถป้องกันการกัดเซาะของพลาสมาในห้องกัด ซึ่งรับประกันประสิทธิภาพการทำงานของการกัดได้อย่างมีประสิทธิภาพ

3. ความเข้ากันได้กับกระบวนการแกะสลัก

วงแหวนรอบนอก Poly-Si ของ Semicorex สำหรับการกัดมีปริมาณสิ่งเจือปนต่ำและความต้านทานการกัดกร่อนที่ยอดเยี่ยม ให้ความเข้ากันได้ดีเยี่ยมกับการผลิตเวเฟอร์ซิลิคอน ซึ่งช่วยลดข้อบกพร่องของเวเฟอร์ที่เกิดจากการปนเปื้อนของผลพลอยได้จากการสลักของผลิตภัณฑ์อย่างมาก และรับประกันอัตราผลตอบแทนสูงอย่างมากในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์